固晶机及其真空吸取支架的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种固晶机及其真空吸取支架，其中支架包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴。相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。
【专利说明】固晶机及其真空吸取支架
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体生产设备，尤其是指一种固晶机及其真空吸取支架。【背景技术】
[0002]现有固晶机取片装置大多配备有真空吸盘，真空吸盘固定在底板上，取片时移动至物料上通过抽真空而将物料吸附从而实现搬运上料。而传统固晶机的真空吸盘结构简单，其整体由软胶材料制成，在材料中间设置一个抽气孔，从而当软性真空吸盘接触到物料后，通过抽气孔抽气借由软性材料变形将物料吸住。但这同时也带来一个问题，就是应为真空吸盘自身柔软形状可变，其吸附物料的表面高低有差别，因此对取片的稳定性及可靠性都有影响。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于克服了上述缺陷，提供一种可稳定可靠吸附物料的固晶机及其真空吸取支架
[0004]本实用新型的目的是这样实现的:一种固晶机真空吸取支架，它包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴；
[0005]上述结构中，所述固定板及吸片板间还设有密封圈；所述密封圈与吸片板上的吸气腔外尺寸相适配；
[0006]上述结构中，所述固定板与吸片板对应设置有螺孔；
[0007]上述结构中，所述吸片板外表面设有与所需吸取物料外尺寸相适配的吸片槽；
[0008]上述结构中，所述吸片板由硬质材料制成；
[0009]上述结构中，所述吸片板的吸气腔表面积小于吸片槽；吸片板于吸片槽一侧外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通；
[0010]上述结构中，所述吸片板外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通；
[0011]上述结构中，所述吸片板中设有多个吸气通道，吸气通道与吸片板外表面相通。
[0012]本实用新型还涉及一种固晶机，它包括如上所述的固晶机真空吸取支架。
[0013]相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]下面结合附图详述本实用新型的具体结构
[0015]图1为本实用新型的真空吸取支架结构爆炸图；[0016]图2为本实用新型的真空吸取支架结构示意图。
[0017]1-吸气嘴;2_固定板;3_密封圈;4_吸片板;5_物料；21~通孔;22、42_螺孔；41-吸气腔；43_吸气通道；44_吸片槽。
【具体实施方式】
[0018]为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
[0019]请参阅图1以及图2，本实用新型涉及一种固晶机真空吸取支架，它包括吸气嘴1、固定板2及吸片板4。所述固定板2与吸片板4层叠设置，于吸片板4中贯穿厚度方向开设有的吸气腔41，所述固定板2对应吸片板4吸气腔41处开设与吸气腔41相联通的通孔21，固定板2的外侧对应通孔21设置有吸气嘴1，由此工作时，将吸气泵连接在吸气嘴I上，即可透过固定板2直接对吸片板4内的吸气腔41进行抽真空吸附作业。而固定板2在吸片板4 一侧起到密封作用，吸片板4的另一侧则可直接吸附物料5。相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。
[0020]在一实施例中，所述固定板2及吸片板4间还设有密封圈3。密封圈3与吸片板4上的吸气腔41外尺寸相适配。通过添加密封圈3可改善固定板2盖在吸片板4 一侧两者的结合紧密型，进一步保证工作过程中吸片板4中的吸气腔41的密闭程度。
[0021 ] 在一实施例中，所述固定板2上设置有螺孔22，而对应的在吸片板4上也设置有螺孔42，从而两者可通过螺栓贯穿各自的螺孔22、42后形成快捷方便安装的紧密连接。
[0022]在一实施例中，所述吸片板4外表面设有与所需吸取物料5外尺寸相适配的吸片槽44。吸片槽44的设置一来可以在吸附物料5时提供一个初步的定位，二来也方便吸片板4上的吸气腔、吸气孔的设置。
[0023]在一实施例中，至少的，上述吸片板4由硬质材料制成，从而可以确保其下吸附物料5的表面的平整度，在叫好吸附结构下进一步提高吸取物料5过程的稳定性。
[0024]在一具备吸片槽44实施例中，进一步的，吸片板4的吸气腔41表面积小于吸片槽44，即如图1、2所示。此时，吸片板4在吸片槽44 一侧的外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道43与吸气腔41相联通，此处的吸气通道最佳为开通在吸片板4中的密闭通道。由此可在使用较小吸力情况下，使得流体通过小路径下加速的原理从而经由吸气孔对物料5进行良好的吸附。
[0025]在另一实施例中，不考虑吸片板4是否设置吸片槽，为了使得吸片板整体可以工作，再起外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通。同样此处吸气通道最佳为开通在吸片板4中的密闭通道。
[0026]类似的，上述方案还可采用在吸片板中设有多个吸气通道，而吸气通道与吸片板外表面相通的结构来实现。
[0027]本实用新型还涉及一种固晶机，它包括如上所述的固晶机真空吸取支架。通过采用上述真空吸取支架，直接形成吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附，相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，可更好的确保固晶机工作过程中吸附物料的可靠性。
[0028]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的【技术领域】，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种固晶机真空吸取支架，其特征在于:它包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴。
2.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于:所述固定板及吸片板间还设有密封圈；所述密封圈与吸片板上的吸气腔外尺寸相适配。
3.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于:所述固定板与吸片板对应设置有螺孔。
4.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于:所述吸片板由硬质材料制成。
5.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于:所述吸片板外表面设有与所需吸取物料外尺寸相适配的吸片槽。
6.如权利要求5所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于:所述吸片板的吸气腔表面积小于吸片槽；吸片板于吸片槽一侧外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通。
7.如权利要求1-5任意一项所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于:所述吸片板外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通。
8.如权利要求1-5任意一项所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于:所述吸片板中设有多个吸气通道，吸气通道与吸片板外表面相通。
9.一种固晶机,其特征在于:它包括如权利要求1-7任意一项所述的固晶机真空吸取支架。
【文档编号】H01L21/683GK203746812SQ201420098847
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年3月5日 优先权日:2014年3月5日
【发明者】梁国康, 梁国城, 唐军成, 卢炳昌 申请人:先进光电器材（深圳）有限公司