Oled器件制造设备的制作方法
【专利摘要】OLED器件制造设备，属于有机光电子产业【技术领域】，为解决OLED中的有机材料和金属电极对水、氧敏感性和各部分单一制备的问题，该设备中过度单元通过闸板伐连通手套箱和装片单元，装片单元再通过闸板伐传入样片传递转换单元，样片传递转换单元前后左右，各有连接口，分别通过闸板伐连接到器件制备单元、磁控溅射单元和电子束单元；解决了OLED器件从玻璃样品进入，在真空状态下，直接出产成品的过程，该设备采用“团簇式”结构，不但节约了空间，而且通过传递交换室使磁控溅射单元、器件蒸发单元、电子束单元和封装单元更好的结合到了一起，真正实现了全真空无相互污染的OLED生产技术，而“团簇式”结构也利于设备检修和维护。
【专利说明】OLED器件制造设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种OLED器件制造集成化设备，属于有机光电子产业【技术领域】。
【背景技术】
[0002]目前，OLED(有机发光二极管)的效率已经达到照明要求，现在迫切需要解决寿命问题。由于OLED中的有机材料和金属电极对空气中的水、氧极度敏感，在器件制备和工作过程中，空气中的氧气和湿气很容易使有机材料的光化学和电化学稳定性变差，造成荧光淬灭，大大影响其稳定性。同时，其金属电极也很容易与空气中的水和氧反应，破坏电极的功能性，降低器件的使用寿命。因此OLED器件制造设备对保证器件稳定性和寿命就显得十分重要。OLED的制造工艺过程通常包括内耦合层和ITO导电电极的制备、ITO导电电极的等离子体处理、OLED器件的有机和金属电极的蒸镀、OLED器件的封装，目前通常的OLED器件制造设备基本还都是独立单元，在无法保证器件效率和稳定性的同时，也无法满足OLED器件生产的连续性要求和性能优化。
实用新型内容
[0003]为解决OLED中的有机材料和金属电极对水、氧敏感性和各部分单一制备的问题，本实用新型提供了可以连续的进行OLED的光提取膜和无机封装膜的电子束镀膜、ITO磁控溅射镀膜、ITO氧等离子体处理、OLED有机层和金属电极镀膜和封装手套箱的集成化设备。
[0004]本实用新型的技术方案是:
[0005]OLED器件制造设备，其特征是，该设备中过度单元通过闸板伐连通手套箱和装片单元，装片单元再通过闸板伐传入样片传递转换单元，样片传递转换单元前后左右，各有连接口，分别通过闸板伐连接到器件制备单元、磁控溅射单元和电子束单元。
[0006]清洗过的玻璃样片，通过惰性气体手套箱装入过度单元；打开闸板伐联通过度单元和装片单元，通过齿轮架穿过闸板伐传入装片单元；完成交接关闭闸板伐，然后打开闸板伐，打开样片传递转换单元内的真空机械手通过闸板伐伸入装片单元把玻璃样片拖回到样片传递转换单元中；打开闸板伐通过真空机械手将玻璃样片送入电子束单元，无机内耦合薄膜完成后，打开闸板伐通过样片传递转换单元内的真空机械手将玻璃样片送入磁控溅射单元，ITO薄膜完成后，再通过样片传递转换单元内的真空机械手穿过闸板伐将玻璃样片送入到装片单元，进行等离子体处理；之后再通过样片传递转换单元内的真空机械手穿过闸板伐将玻璃样片送入到器件制备单元，器件制备完毕后再通过样片传递转换单元内的真空机械手穿过闸板伐、闸板伐将器件送入装片单元，并通过齿轮架穿过闸板伐进入过度单元送入惰性气体手套箱进行封装。
[0007]本实用新型的有益效果是:解决了 OLED器件从玻璃样品进入，在真空状态下，直接出产成品的过程，该设备采用“团簇式”结构，不但节约了空间，而且通过传递交换室使磁控溅射单元、器件蒸发单元、电子束单元和封装单元更好的结合到了一起，真正实现了全真空无相互污染的OLED生产技术，而“团簇式”结构也利于设备检修和维护。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1:本实用新型OLED器件制造设备结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
[0010]如图1所示，本实用新型OLED器件制造设备，该设备中过度单元I通过闸板伐7连通手套箱8和装片单元2 (也是等离子体处理单元)，装片单元2再通过闸板伐7-1传入样片传递转换单元3、样片传递转换单元3前后左右，各有连接口。样片传递转换单元3分别通过闸板伐7-2连接到器件制备单元4、7-3连接到磁控溅射单元5、7-4连接到电子束单兀6。
[0011 ] 清洗过的玻璃样片，通过惰性气体手套箱8装入过度单元I。打开闸板伐7联通过度单元I和装片单元2，通过齿轮架穿过闸板伐7传入装片单元2。完成交接关闭闸板伐7，然后打开闸板伐7-1，打开样片传递转换单元3内的真空机械手通过闸板伐7-1伸入装片单元2把玻璃样片拖回到样片传递转换单元3中。打开闸板伐7-4通过真空机械手将玻璃样片送入电子束单元6，无机藕合模完成后，打开闸板伐7-3通过样片传递转换单元3内的真空机械手将玻璃样片送入磁控溅射单元5，ITO薄膜完成后，再通过样片传递转换单元3内的真空机械手穿过闸板伐7-2将玻璃样片送入到器件制备单元4，器件制备完毕后，通过样片传递转换单元3内的真空机械手穿过闸板伐7-4、闸板伐7-1送入装片单元2，通过齿轮架穿过闸板伐7进入过度单元I送入惰性气体手套箱8进行封装。封装结束后成品完成。
[0012]采用韩国DASA的DTR3-2205T型机械臂，X、Y和Z轴的最大工作移动范围分别为200mm、200mm和50mm，X和Y轴的工作移动速度在5-500mm/sec范围内连续可调，Z轴的工作移动速度在2.5-250mm/sec范围内连续可调，X、Y和Z轴的往返精度为0.01mm。
【权利要求】
1.0LED器件制造设备，其特征是，该设备中过度单元(I)通过闸板伐(7)连通手套箱(8)和装片单元(2)，装片单元(2)再通过闸板伐(7-1)传入样片传递转换单元(3)、样片传递转换单元(3)前后左右，各有连接口 ；样片传递转换单元(3)分别通过闸板伐连接到器件制备单元(4)、磁控溅射单元(5)、闸板伐(7-4)和电子束单元(6)。
2.根据权利要求1所述的OLED器件制造设备，其特征在于，清洗过的玻璃样片通过惰性气体手套箱(8)装入过度单元(I);打开闸板伐(7)联通过度单元(I)和装片单元(2)，通过齿轮架穿过闸板伐(7)将玻璃样片传入装片单元(2);完成交接后关闭闸板伐(7)，然后打开闸板伐(7-1)，打开样片传递转换单元(3)内的真空机械手通过闸板伐(7-1)伸入装片单元(2)把玻璃样片拖回到样片传递转换单元(3)中；打开闸板伐(7-4)通过真空机械手将玻璃样片送入电子束单元出)，无机内耦合薄膜完成后，打开闸板伐(7-3)通过样片传递转换单元(3)内的真空机械手将玻璃样片送入磁控溅射单元(5)，ITO薄膜完成后，再通过样片传递转换单元(3)内的真空机械手穿过闸板伐(7-2)将玻璃样片送入到装片单元(2)，进行等离子体处理；之后再通过样片传递转换单元(3)内的真空机械手穿过闸板伐将玻璃样片送入到器件制备单元(4)，器件制备完毕后再通过样片传递转换单元(3)内的真空机械手穿过闸板伐(7-4)、闸板伐(7-1)将器件送入装片单元(2)，并通过齿轮架穿过闸板伐(7)进入过度单元(I)送入惰性气体手套箱(8)进行封装。
【文档编号】H01L51/56GK203941951SQ201420243831
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2014年5月13日 优先权日:2014年5月13日
【发明者】马东阁, 钱进, 刘一鹏 申请人:中国科学院长春应用化学研究所