一种具有导电氧化锌铝薄膜的oled器件及其蒸镀装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，包括金属阴极层、电子传输层、有机发光层、空穴注入层、半透明阳极层、基板、抗反射层、氧化锌铝薄膜层一、氧化锌铝薄膜层二和阻挡涂层，基板上为阻挡涂层，阻挡涂层上设置至少一层氧化锌铝薄膜层二，氧化锌铝薄膜层二上为半透明阳极层，半透明阳极层上为空穴注入层，空穴注入层上为有机发光层，有机发光层上为电子传输层，电子传输层上为金属阴极层，金属阴极层上设置至少一层氧化锌铝薄膜层一，氧化锌铝薄膜层一上为抗反射层；本实用新型还涉及一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的蒸镀装置；本产品可制成超薄、质轻、抗震的可弯曲显示器。
【专利说明】—种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件及其蒸镀装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于电子制造领域，涉及一种二极管显示技术，特别是一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件及其蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]OLED是以有机电至发光材料技术为基础的新一代平面显示技术，该技术起源于欧美，但实现大规模产业化的国家或地区主要集中在东亚，如日本、韩国、中国大陆和台湾地区等。
[0003]全球OLED产业还处于产业化初期，涉足OLED产业的企业产品主要是小尺寸无源OLED器件，真正对LCD (液晶)构成威胁的有源OLED器件，实现量产的只有少数几家公司，中国虽具有一定的OLED产业基础，但产业链尚不完善，尤其是上游产品竞争力不强。
[0004]目前国内的OLED产业，因为技术不成熟，导致产品的良率低，成本较高，因此在价格方面，暂无法与日本、韩国和欧洲企业形成有效竞争，而且市面上的OLED产品，由于生产制造过程中运用了稀有金属，且在在产业化进程及OLED技术开发方面与世界上先进国家和地区相比差距甚远，导致国内的OLED产品价格偏高，且制成的显示屏在分辨率，抗震性能、耐低温、发光效率等方面也不如日本、韩国和欧洲的产品。
实用新型内容
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是，为克服现有技术的缺点，提供一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件及其蒸镀装置，本实用新型制成的显示器具有超薄、质轻、抗震的特点，且运动画面不拖影，低温特性好，工艺简单、成本低廉，同时发光效率更高，而且能够在不同材质的基板上制造，做成能弯曲的柔软显示器。
[0006]为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，包括金属阴极层、电子传输层、有机发光层、空穴注入层、半透明阳极层和基板，还包括抗反射层、氧化锌铝薄膜层一、氧化锌铝薄膜层二和阻挡涂层，基板上为阻挡涂层，阻挡涂层上设置至少一层氧化锌铝薄膜层二，氧化锌铝薄膜层二上为半透明阳极层，半透明阳极层上为空穴注入层，空穴注入层上为有机发光层，有机发光层上为电子传输层，电子传输层上为金属阴极层，金属阴极层上设置至少一层氧化锌铝薄膜层一，氧化锌铝薄膜层一上为抗反射层。
[0007]本实用新型还提供一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，包括抗反射层、氧化锌铝薄膜层一、金属阴极层、电子传输层、有机发光层、空穴注入层、氧化锌铝薄膜层二、阻挡涂层和基板，基板上为阻挡涂层，阻挡涂层上设置至少一层氧化锌铝薄膜层二，氧化锌铝薄膜层二上为空穴注入层，空穴注入层上为有机发光层，有机发光层上为电子传输层，电子传输层上为金属阴极层，金属阴极层上设置至少一层氧化锌铝薄膜层一，氧化锌铝薄膜层一上为抗反射层。
[0008]本实用新型选用氧化锌铝薄膜，可设于半透明阳极层与阻挡涂层之间，亦可代替氧化铟锡，作为阳极层设于空穴注入层与阻挡涂层之间，氧化锌铝不仅具有不输于氧化铟锡的光电性能，而且锌和铝的储量丰富、价格便宜，且氧化锌铝制作成本低，绿色环保，同时氧化锌铝化学性能稳定，在化学或潮湿环境下不易腐蚀。
[0009]本实用新型进一步限定的技术方案是:
[0010]本实用新型还提供了一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的蒸镀装置，包括衬底、真空室、蒸镀物质和真空泵，还包括加热电阻和蒸发池，蒸发池为一面开口的立方体或圆柱体结构，加热电阻均匀分布在蒸发池的其他非开口面的侧壁中，衬底设置于真空室上部，且位于真空室上部中间位置的衬底平行于真空室上壁朝下设置，位于真空室上部边缘位置的衬底倾斜向下设置，蒸镀物质盛放于蒸发池中，真空室底部至少设置一个真空泵。
[0011]真空室上部边缘位置的衬底与水平方向的倾斜角度A为5-45度。
[0012]本实用新型涉及的蒸镀装置，在真空室上部中间位置设置的衬底平行于真空室上壁朝下，边缘位置设置的衬底倾斜向下，使得蒸镀气体除了射向竖直方向，周围以伞状扩散开的蒸镀气体亦能够充分利用，在一定程度上减少了浪费；且在设计蒸发池时，在蒸发池的底部和四壁都安装加热电阻，提高了蒸镀物质的加热效率，且受热均匀。
[0013]本实用新型的有益效果是:
[0014]本实用新型的器件制成的显示器，厚度可小至1_，且重量也更轻；整个器件为全固态机构，没有液体物质，抗震性能更好，不怕摔；不存在可视角度问题，即使在很大的视角下观看，画面仍然不失真；响应时间短，运动画面不拖影；低温特性好，可在零下40度正常显示；制造工艺简单，成本更低；发光效率更高，能耗低；能够在不同材质的基板上制造，可以做成能弯曲的柔软显示器。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的方案一结构示意图；
[0016]图2为本实用新型具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的方案二结构示意图；
[0017]图3为本实用新型具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的蒸镀装置的结构示意图；
[0018]其中，1-抗反射层、2-氧化锌招薄膜层一、3-金属阴极层、4-电子传输层、5-有机发光层、6-空穴注入层、7-半透明阳极层、8-氧化锌铝薄膜层二、9-阻挡涂层、10-基板、11-衬底、12-真空室、13-蒸镀气体、14-加热电阻、15-蒸发池、16-蒸镀物质、17-真空泵。
【具体实施方式】
[0019]以下通过具体实施例对本发明的【具体实施方式】作进一步详细的说明。
[0020]实施例1
[0021]本实施例提供一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，结构如图1所示，包括金属阴极层3、电子传输层4、有机发光层5、空穴注入层6、半透明阳极层7和基板10，还包括抗反射层1、氧化锌铝薄膜层一 2、氧化锌铝薄膜层二 8和阻挡涂层9，其中，抗反射层I为非晶碳化娃合金；阴极层2为镁银合金；电子传输层4为萤光染料化合物Znq ;有机发光层5为DPVB ;空穴注入层6为芳香胺萤光化合物TPD ;阳极层7为铟锡氧化物；阻挡涂层8为非晶碳化硅；衬底9为石英基板。
[0022]基板10上为阻挡涂层9，阻挡涂层9上设置一层氧化锌铝薄膜层二 8，氧化锌铝薄膜层二 8上为半透明阳极层7，半透明阳极层7上为空穴注入层6，空穴注入层6上为有机发光层5,有机发光层5上为电子传输层4,电子传输层4上为金属阴极层3,金属阴极层3上设置一层氧化锌铝薄膜层一 2，氧化锌铝薄膜层一 2上为抗反射层I。
[0023]当器件工作时，半透明阳极层7和金属阴极层3分别作为器件的阳极和阴极，在一定直流电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层4和空穴注入层6，然后，电子和空穴分别经过电子传输层4和空穴注入层6迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，后者经过辐射弛豫而发出可见光。
[0024]实施例2
[0025]本实施例提供一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，结构如图2所示，包括抗反射层1、氧化锌招薄膜层一 2、金属阴极层3、电子传输层4、有机发光层5、空穴注入层6、氧化锌铝薄膜层二 8、阻挡涂层9和基板10，其中，抗反射层I为非晶碳化硅合金；阴极层2为镁银合金；电子传输层4为萤光染料化合物BBOT ;有机发光层5为DPVB ;空穴注入层6为芳香胺萤光化合物Alq ;阳极层7为铟锡氧化物；阻挡涂层8为二氧化硅；衬底9为玻璃基板。
[0026]基板10上为阻挡涂层9，阻挡涂层9上设置一层氧化锌铝薄膜层二 8，氧化锌铝薄膜层二 8上为空穴注入层6,空穴注入层6上为有机发光层5,有机发光层5上为电子传输层4，电子传输层4上为金属阴极层3，金属阴极层3上设置一层氧化锌铝薄膜层一 2，氧化锌铝薄膜层一 2上为抗反射层I。
[0027]当器件工作时，氧化锌铝薄膜层二 8和金属阴极层3分别作为器件的阳极和阴极，在一定直流电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层4和空穴注入层6，然后，电子和空穴分别经过电子传输层4和空穴注入层6迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，后者经过辐射弛豫而发出可见光。
[0028]实施例3
[0029]本实施例提供一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的的蒸镀装置，结构如图3所示，包括衬底11、真空室12、蒸镀气体13、加热电阻14、蒸发池15、蒸镀物质16和真空泵17，蒸发池15为一面开口的立方体或圆柱体结构，加热电阻14均匀分布在蒸发池15的其他非开口面的侧壁中，衬底11设置于真空室12上部，且位于真空室12上部中间位置的衬底11平行于真空室12上壁朝下设置，位于真空室12上部边缘位置的衬底11倾斜向下设置，蒸镀物质16盛放于蒸发池15中，真空室12底部设置一个真空泵17。
[0030]位于真空室12上部边缘位置的衬底11与水平方向的倾斜角度A为25度。
[0031]当蒸镀装置工作时，首先真空泵17先将真空室12中的空气抽出，然后接通加热电阻14的电源，加热电阻14发热，蒸发池15内的蒸镀物质16被加热至高温，蒸镀物质16变为蒸镀气体13射向真空室12的腔室中，并附着在衬底11上。
[0032]以上实施例仅为说明本实用新型的技术思想，不能以此限定本实用新型的保护范围，凡是按照本实用新型提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本实用新型保护范围之内。
【权利要求】
1.一种具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，包括金属阴极层(3)、电子传输层(4)、有机发光层(5)、空穴注入层(6)、半透明阳极层(7)和基板(10)，其特征在于，还包括抗反射层(I)、氧化锌铝薄膜层一(2)、氧化锌铝薄膜层二(8)和阻挡涂层(9)，所述基板(10)上为阻挡涂层(9)，阻挡涂层(9)上设置至少一层氧化锌铝薄膜层二(8)，氧化锌铝薄膜层二(8)上为半透明阳极层(7)，半透明阳极层(7)上为空穴注入层￠)，空穴注入层(6)上为有机发光层(5),有机发光层(5)上为电子传输层(4),电子传输层(4)上为金属阴极层(3),金属阴极层(3)上设置至少一层氧化锌铝薄膜层一(2)，氧化锌铝薄膜层一(2)上为抗反射层⑴。
2.根据权利要求1所述的具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件，其特征在于，包括抗反射层(I)、氧化锌招薄膜层一(2)、金属阴极层(3)、电子传输层(4)、有机发光层(5)、空穴注入层出)、氧化锌铝薄膜层二(8)、阻挡涂层(9)和基板(10)，所述基板(10)上为阻挡涂层(9)，阻挡涂层(9)上设置至少一层氧化锌铝薄膜层二(8)，氧化锌铝薄膜层二(8)上为空穴注入层(6),空穴注入层(6)上为有机发光层(5),有机发光层(5)上为电子传输层(4),电子传输层(4)上为金属阴极层(3)，金属阴极层(3)上设置至少一层氧化锌铝薄膜层一(2)，氧化锌铝薄膜层一(2)上为抗反射层(I)。
3.基于权利要求1或2所述的具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的蒸镀装置，包括衬底(11)、真空室(12)、蒸镀物质(16)和真空泵(17)，其特征在于，还包括加热电阻(14)和蒸发池(15)，所述蒸发池(15)为一面开口的立方体或圆柱体结构，所述加热电阻(14)均匀分布在所述蒸发池(15)的其他非开口面的侧壁中，所述衬底(11)设置于真空室(12)上部，且位于真空室(12)上部中间位置的衬底(11)平行于真空室(12)上壁朝下设置，位于真空室(12)上部边缘位置的衬底(11)倾斜向下设置，蒸镀物质(16)盛放于蒸发池(15)中，所述真空室(12)底部至少设置一个真空泵(17)。
4.根据权利要求3所述的具有导电氧化锌铝薄膜的OLED器件的蒸镀装置，其特征在于，所述位于真空室(12)上部边缘位置的衬底(11)与水平方向的倾斜角度A为5-45度。
【文档编号】H01L51/52GK203932120SQ201420319754
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2014年6月16日 优先权日:2014年6月16日
【发明者】任茂胜, 刘腾蛟, 范江峰 申请人:江苏生美工业技术集团有限公司