晶圆通用提篮装置制造方法
【专利摘要】一种晶圆通用提篮装置，包括提篮及载盘。提篮包含两侧板及两支撑架，两侧板各设有夹取部，两支撑架分置于上、下两层，两支撑架各具有两连接杆及连接于两连接杆之间的一间隔杆，连接杆的两端分别连接于两侧板。载盘的底部设有两凹沟，载盘上设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，载盘置于支撑架上，载盘底部的凹沟与支撑架的连接杆卡接配合。由此，可通过载盘的拆换，而通用于2吋、4吋或6吋等规格之晶圆匣。
【专利说明】晶圆通用提篮装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶圆通用提篮装置，尤其涉及一种用于承载2吋、4吋或6吋等规格的晶圆匣的通用提篮装置。
【背景技术】
[0002]现有应用于半导体、太阳能电池等的例如娃晶圆(silicon wafer)、娃晶基板(silicon substrate)、玻璃基板、陶瓷基板、塑胶基板、树酯基板(resin substrate)等,在制程中因为图形化或蚀刻、清洗的需要，通常需进行槽式湿制程。所述槽式湿制程，包含例如蚀刻或清洗等处理。为了提高处理晶圆、基板的速度，一般可利用晶圆提篮容纳晶圆、基板，再以该提篮移动于各制程槽或处理槽之间。
[0003]现有的提篮可用以承载放置于晶圆匣(cassette)上的晶圆(或基板)，晶圆的规格包含有2吋、4吋或6吋等，其所使用的提篮必需对应的变化，方能顺利的承载各种尺寸的晶圆匣。但是，现有的提篮不具有通用性，业者必须备有各种不同规格的提篮，方能顺利的承载不同厂家的晶圆匣，如此一来，势必导致成本的增加，造成业者极大的困扰。
[0004]综上所述，本创作人有感上述缺失可改善，乃特潜心研究并配合学理之应用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺失的实用新型。
实用新型内容
[0005]本实用新型所要解决的技术问题，在于提供一种晶圆通用提篮装置，可因应客户需求，以提篮承载客户端之不同尺寸的晶圆匣。
[0006]为了解决上述的技术问题，本实用新型提供一种晶圆通用提篮，包括:一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架各具有两连接杆及连接于所述两连接杆之间的一间隔杆，所述些连接杆的两端分别连接于所述两侧板；以及一载盘，所述载盘的底部设有两凹沟，所述载盘上设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，所述载盘放置于下层的所述支撑架上，所述载盘底部的凹沟与下层的所述支撑架的连接杆卡接配合。
[0007]根据本实用新型的一实施方式，所述两侧板各具有两纵板部及连接于所述两纵板部之间的一横板部，所述两侧板设有侧孔，所述夹取部形成于所述些纵板部的上端。
[0008]根据本实用新型的一实施方式，所述载盘的两端顶抵于所述两侧板的内缘。
[0009]根据本实用新型的一实施方式，所述承接部设于所述容置空间的四角或相对的两侧，所述载盘设有一个、两个或多个所述容置空间。
[0010]为了解决上述的技术问题，本实用新型还提供一种晶圆通用提篮，包括:一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架各具有两连接杆及连接于所述两连接杆之间的一间隔杆，所述些连接杆的两端分别连接于所述两侧板；以及两载盘，所述两载盘的底部各设有两凹沟，所述两载盘上各设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，所述两载盘分别置于所述两支撑架上，所述两载盘底部的凹沟分别与所述两支撑架的连接杆卡接配合。
[0011]根据本实用新型的一实施方式，所述两侧板各具有两纵板部及连接于所述两纵板部之间的一横板部，所述两侧板设有侧孔，所述夹取部形成于所述些纵板部的上端。
[0012]根据本实用新型的一实施方式，所述两载盘的两端顶抵于所述两侧板的内缘。
[0013]根据本实用新型的一实施方式，所述承接部设于所述容置空间的四角或相对的两侧，所述两载盘各设有一个、两个或数个所述容置空间。
[0014]为了解决上述的技术问题，本实用新型还提供一种晶圆通用提篮，包括:一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架的两端分别连接于所述两侧板；以及一载盘，用于承载晶圆匣，所述载盘放置于下层的所述支撑架上，所述载盘底部与所述支撑架之间设有卡接结构。
[0015]为了解决上述的技术问题，本实用新型还提供一种晶圆通用提篮，包括:一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架的两端分别连接于所述两侧板；以及两载盘，用于承载晶圆匣，所述两载盘分别置于所述两支撑架上，所述两载盘底部与所述两支撑架之间分别设有卡接结构。
[0016]本实用新型至少具有下列的优点:
[0017]本实用新型的晶圆通用提篮装置包括有提篮及载盘，该提篮为一通用型构造，可放置不同规格的载盘，可透过载盘的更换，承载不同厂家的晶圆匣，以具有降低成本的效果。提篮及载盘之间设有卡接结构，使载盘的拆卸替换更方便。
[0018]本实用新型的晶圆通用提篮装置可承载客户端不同规格的晶圆匣，以便湿式工作台的自动化机械夹取。
[0019]为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制者。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1为本实用新型晶圆通用提篮装置第一实施例从第一方向观测时的立体分解图。
[0021]图2为本实用新型晶圆通用提篮装置第一实施例从第二方向观测时的立体分解图。
[0022]图3为本实用新型晶圆通用提篮装置第一实施例的立体图。
[0023]图4为本实用新型晶圆通用提篮装置第一实施例承载晶圆的立体图。
[0024]图5为本实用新型晶圆通用提篮装置第二实施例从第一方向观测时的立体分解图。
[0025]图6为本实用新型晶圆通用提篮装置第二实施例从第二方向观测时的立体分解图。
[0026]图7为本实用新型晶圆通用提篮装置第二实施例的立体图。
[0027]图8为本实用新型晶圆通用提篮装置第二实施例承载晶圆的立体图。
[0028]图9为本实用新型晶圆通用提篮装置第三实施例从第一方向观测时的立体分解图。
[0029]图10为本实用新型晶圆通用提篮装置第三实施例从第二方向观测时的立体分解图。
[0030]图11为本实用新型晶圆通用提篮装置第三实施例的立体图。
[0031]图12为本实用新型晶圆通用提篮装置第三实施例承载晶圆的立体图。
[0032]符号说明
[0033]I 提篮
[0034]11 侧板
[0035]111纵板部
[0036]112横板部
[0037]113夹取部
[0038]114 侧孔
[0039]12支撑架
[0040]121连接杆
[0041]122间隔杆
[0042]2 载盘
[0043]21 凹沟
[0044]22容置空间
[0045]23承接部
[0046]24 穿孔
[0047]3晶圆匣
【具体实施方式】
[0048][第一实施例]
[0049]本实用新型提供一种晶圆通用提篮装置，可用以承载2吋、4吋或6吋等规格的晶圆匣(晶圆)。请参阅图1至图4，本实施例揭示一种晶圆通用提篮装置，其包括有一提篮I及两个载盘2，可用以承载2吋的晶圆匣。
[0050]该提篮I较佳是以耐酸碱的材质制成，例如能以全氟化烷氧基氟树脂(PFA)等材质制成，即该提篮I的材质并不限制。该提篮I为一通用型构造，包含两侧板11及两支撑架12，两侧板11间隔的设置,亦即两侧板11分置左、右两侧。该两侧板11可各具有两纵板部111及连接于两纵板部111之间的一横板部112，每一纵板部111的上端形成有一夹取部113，该夹取部113可为凸出于侧板11外缘的挂勾，或为其他的凸出结构、凹入结构等，以便于以自动化机械夹取。两侧板11可进一步设有适当的侧孔114，以便于液体的流进及流出，侧孔114设置的位置并不限制，在本实施例中侧孔114设置于侧板11的上半部及下半部。即所述侧板11、纵板部111、横板部112、夹取部113及侧孔114等形状及结构并不限制，可因应需要适当的变化。
[0051]两支撑架12间隔的设置，亦即两支撑架12分置于上、下两层。两支撑架12各具有两连接杆121及一间隔杆122，连接杆121为长条状杆体，其断面可呈方形或圆形等，连接杆121可呈水平状设置，连接杆121的两端分别连接于两侧板11，使两支撑架12的两端分别连接于两侧板11。置于上层的支撑架12的两端连接于两侧板11的中间处，置于下层的支撑架12的两端则连接于两侧板11的下端处。连接杆121的两端能利用焊接、螺接或嵌接等方式连接于两侧板11，连接杆121的两端也能利用一体成型的方式连接于两侧板11，即连接杆121连接于两侧板11的方式并不限制。
[0052]间隔杆122为长条状杆体，其断面可呈方形或圆形等，间隔杆122可呈水平状设置，间隔杆122连接于两连接杆121之间，亦即间隔杆122的两端分别连接于两连接杆121中间处，使间隔杆122位于两连接杆121之间的中间处，以便利用间隔杆122将支撑架12区隔成两个空间。间隔杆122的两端能利用焊接、螺接或嵌接等方式连接于两连接杆121，间隔杆122的两端也能利用一体成型的方式连接于两连接杆121，即间隔杆122连接于两连接杆121的方式并不限制。
[0053]载盘2可用于承载晶圆匣(晶圆)，其设置一个或两个,在本实施例中设有上、下两个载盘2，可放置于两支撑架12上。载盘2呈一方形的盘体，载盘2的底部设有两凹沟21，两凹沟21与支撑架12的两连接杆121相对应。当载盘2放置于相对应的支撑架12上时，载盘2底部的两凹沟21可与相对应的支撑架12的两连接杆121卡接配合，亦即于载盘2的底部与支撑架12之间设有卡接结构(包含凹沟21及连接杆121)，使载盘2得以定位于支撑架12上，而不会产生前、后方向的位移，且载盘2的两端可顶抵于两侧板11的内缘而定位，而不会产生左、右方向的位移。
[0054]载盘2上各设有容置空间22，在本实施例中每一载盘2上各设有四个容置空间22，载盘2的容置空间22形成矩阵排列，亦即可形成2X2的矩阵排列，该些容置空间22的四角各设有一承接部23，该些承接部23可为凸出于容置空间22内缘的板体。即载盘2上的容置空间22数量并不限制，容置空间22可设有一个、两个或多个。可将多个(如八个)承载有2吋之晶圆的晶圆匣3分别放置于该些容置空间22内，晶圆匣3的底部四边顶抵于容置空间22四侧内缘，且每一晶圆匣3的底部承接于容置空间22四角的承接部23上，由此可使晶圆匣3稳定地承载于载盘2上，且不会产生前、后及左、右方向的位移。载盘2上也可以进一部设有多个穿孔24，这些穿孔24贯穿载盘2的顶部及底部，以便于液体的排出。
[0055][第二实施例]
[0056]请参阅图5至图8，在本实施例中设有一个载盘2，可放置于下层的支撑架12上。载盘2呈一方形的盘体，载盘2的底部设有两凹沟21，两凹沟21与支撑架12的两连接杆121相对应。当载盘2放置于下层的支撑架12上时，载盘2底部的两凹沟21可与下层的支撑架12的两连接杆121卡接配合，使载盘2得以定位于支撑架12上，而不会产生前、后方向的位移，且载盘2的两端可顶抵于两侧板11的内缘而定位，而不会产生左、右方向的位移。
[0057]载盘2上设有两个容置空间22，两容置空间22分别设于载盘2的左半部及右半部，该两容置空间22的相对两侧各设有一承接部23，该些承接部23可为凸出于容置空间22内缘的板体。可将两个承载有4吋之晶圆的晶圆匣3分别放置于两容置空间22内，且每一晶圆匣3的底部承接于容置空间22两侧的承接部23上，两晶圆匣3也可以利用间隔杆122予以间隔，由此可使晶圆匣3稳定地承载于载盘2上，且不会产生前、后及左、右方向的位移。
[0058][第三实施例]
[0059]请参阅图9至图12，在本实施例中设有一个载盘2，可放置于下层的支撑架12上。载盘2呈一方形的盘体，载盘2的底部设有两凹沟21，两凹沟21与支撑架12的两连接杆121相对应。当载盘2放置于下层的支撑架12上时，载盘2底部的两凹沟21可与下层的支撑架12的两连接杆121卡接配合，使载盘2得以定位于支撑架12上，而不会产生前、后方向的位移，且载盘2的两端可顶抵于两侧板11的内缘而定位，而不会产生左、右方向的位移。
[0060]载盘2上设有两个容置空间22，两容置空间22分别设于载盘2的左半部及右半部，该两容置空间22的相对两侧各设有一承接部23，这些承接部23可为凸出于容置空间22内缘的板体。可将两个承载有6吋之晶圆的晶圆匣3分别放置于两容置空间22内，且令每一晶圆匣3的底部承接于容置空间22两侧的承接部23上，两晶圆匣3也可以利用间隔杆122予以间隔，由此可使晶圆匣3稳定地承载于载盘2上，且不会产生前、后及左、右方向的位移。
[0061]本实用新型的晶圆通用提篮装置包括有提篮及载盘，该提篮为一通用型构造，可放置不同规格的载盘，可透过载盘的更换，承载不同厂家的晶圆匣，以具有降低成本的效果。提篮及载盘之间设有连接杆与凹沟(卡接结构)卡接配合，使载盘的拆卸替换更方便。本实用新型的晶圆通用提篮装置可承载客户端不同规格的晶圆匣，以便湿式工作台(wetbench)的自动化机械夹取。
[0062]以上所述仅为本实用新型之较佳实施例，非意欲局限本实用新型的专利保护范围，故凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的等效变化，均同理皆包含于本实用新型的权利保护范围内，合予陈明。
【权利要求】
1.一种晶圆通用提篮装置，其特征在于，包括: 一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架各具有两连接杆及连接于所述两连接杆之间的一间隔杆，这些连接杆的两端分别连接于所述两侧板；以及 一载盘，所述载盘的底部设有两凹沟，所述载盘上设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，所述载盘放置于下层的所述支撑架上，所述载盘底部的凹沟与下层的所述支撑架的连接杆卡接配合。
2.如权利要求1所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于:所述两侧板各具有两纵板部及连接于所述两纵板部之间的一横板部，所述两侧板设有侧孔，所述夹取部形成于所述些纵板部的上端。
3.如权利要求1所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于:所述载盘的两端顶抵于所述两侧板的内缘。
4.如权利要求1所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于:所述承接部设于所述容置空间的四角或相对的两侧，所述载盘设有一个、两个或多个所述容置空间。
5.一种晶圆通用提篮装置，其特征在于，包括: 一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架各具有两连接杆及连接于所述两连接杆之间的一间隔杆，所述些连接杆的两端分别连接于所述两侧板；以及 两载盘，所述两载盘的底部各设有两凹沟，所述两载盘上各设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，所述两载盘分别置于所述两支撑架上，所述两载盘底部的凹沟与所述两支撑架的连接杆卡接配合。
6.如权利要求5所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于:所述两侧板各具有两纵板部及连接于所述两纵板部之间的一横板部，所述两侧板设有侧孔，所述夹取部形成于所述些纵板部的上端。
7.如权利要求5所述之晶圆通用提篮装置，其中所述两载盘的两端顶抵于所述两侧板的内缘。
8.如权利要求5所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于:所述承接部设于所述容置空间的四角或相对的两侧，所述两载盘各设有一个、两个或数个所述容置空间。
9.一种晶圆通用提篮装置，其特征在于，包括: 一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架的两端分别连接于所述两侧板；以及 一载盘，用于承载晶圆匣，所述载盘放置于下层的所述支撑架上，所述载盘底部与所述支撑架之间设有卡接结构。
10.一种晶圆通用提篮装置，其特征在于，包括: 一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架的两端分别连接于所述两侧板；以及 两载盘，用于承载晶圆匣，所述两载盘分别置于所述两支撑架上，所述两载盘底部与所述两支撑架之间分别设有卡接结构。
【文档编号】H01L21/673GK204155912SQ201420487238
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2014年8月27日 优先权日:2014年8月27日
【发明者】谢耀贤, 罗健辉, 吴进原 申请人:弘塑科技股份有限公司