一种芯片专用清洗治具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种芯片专用清洗治具。治具包括底板和侧板，所述侧板包括平行的第一侧板和第二侧板、与第一侧板垂直的第三侧板和第四侧板，其特征在于，所述底板上设置有多个横板和多个竖板，所述横板与第一侧板平行，所述竖板与第三侧板平行，所述横板的两侧均连接有多个与横板垂直的限位板，第一侧板和第二侧板朝里的一侧也连接有与第一侧板垂直的限位板。本实用新型的治具对芯片清洗的效果好且损伤小，一次可清洗多个芯片，限位板对芯片起限位作用，在清洗时，芯片不会随着清洗液流动而与治具侧板或者芯片互相之间发生摩擦，减少对芯片的损害，限位板之间的间隔可以充分让清洗液接触芯片。
【专利说明】一种芯片专用清洗治具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种清洗装置，尤其涉及一种芯片专用清洗治具。
【背景技术】
[0002]芯片清洗是每一个芯片制备过程中必不可少的过程，其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低，使得元件获得良好而稳定的特性，以及使制程具有良好的再现性。
[0003]申请号为201310311113.9的《一种LED芯片清洗提篮》公开了一种LED芯片清洗提篮。清洗提篮包括:抓取板、调整板、调整螺钉、前后板、固定板，前后板与两个固定板组成提篮主体，前后板与固定底部设有调整板，调整板一端通过圆轴固定在前后板上，另一端通过调整螺钉连接在固定板上，调整板角度通过调整螺钉，其倾斜角度可在0° -6°之间任意调节；前后板上端设有抓取板，用于抓取提篮。该提篮清洗效果好，但容易对芯片表面造成磨损。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，而提供一种芯片专用清洗治具。
[0005]本实用新型是通过以下技术方案来完成的:
[0006]一种芯片专用清洗治具，包括底板和侧板，所述侧板包括平行的第一侧板和第二侧板、与第一侧板垂直的第三侧板和第四侧板，所述底板上设置有多个横板和多个竖板，所述横板与第一侧板平行，所述竖板与第三侧板平行，所述横板的两侧均连接有多个与横板垂直的限位板，第一侧板和第二侧板朝里的一侧也连接有与第一侧板垂直的限位板。
[0007]所述的一种芯片专用清洗治具，所述底板有多个，互相平行设置，所述第三侧板和第四侧板上开有多个相对的凹槽，可同时放置多个底板。
[0008]所述的一种芯片专用清洗治具，所述限位板的上端为斜面。
[0009]所述的一种芯片专用清洗治具，所述一个横板上的多个限位板之间的间隔相等。
[0010]所述的一种芯片专用清洗治具，所述不同横板上的限位板的长度相等。
[0011]所述的一种芯片专用清洗治具，所述竖板上开有网格状通孔。
[0012]本实用新型所达到的有益效果:本实用新型的治具对芯片清洗的效果好且损伤小，一次可清洗多个芯片，限位板对芯片起限位作用，在清洗时，芯片不会随着清洗液流动而与治具侧板或者芯片互相之间发生摩擦，减少对芯片的损害，限位板之间的间隔可以充分让清洗液接触芯片。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的俯视图。
[0014]图2为图1的AA向剖视图。
[0015]图中:1、底板,21、第一侧板，22、第二侧板，23、第三侧版，24、第四侧板，3、横板，4、竖板，5、限位板，6、网格状通孔。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0017]如图所示，本实用新型的一种芯片专用清洗治具，包括底板1和侧板，所述侧板包括平行的第一侧板21和第二侧板22、与第一侧板21垂直的第三侧板23和第四侧板24，所述底板1上设置有多个横板3和多个竖板4，所述横板3与第一侧板21平行，所述竖板4与第三侧板23平行，所述横板3的两侧均连接有多个与横板2垂直的限位板5，第一侧板21和第二侧板22朝里的一侧也连接有与第一侧板21垂直的限位板5。所述限位板5的上端为斜面。所述一个横板3上的多个限位板5之间的间隔相等。所述不同横板3上的限位板5的长度相等。所述竖板4上开有网格状通孔6。
[0018]限位板5上端为斜面方便取放芯片；竖版4上的网格状通孔6，可以充分让清洗液进入治具，多个限位板5之间的间隔相等，限位板5的长度相等，方便制作。
[0019]图1和2所示的为只有一层底板的治具的示意图，但是底板1可以有多个，多个底板互相平行设置，在第三侧板23和第四侧板24上开有多个相对的凹槽(未示出)，则可同时放置多个底板1。底板1为多个即可增加一次清洗芯片的量，由于底板1可放置在第三侧板23和第四侧板24上开有多个相对的凹槽(未示出)上，则根据清洗的数量选择底板1的多少；
[0020]本实用新型的治具在使用时，将芯片置于横板3上的限位板5之间，限位板对芯片起一个限位作用，即可将治具置于超声波清洗机中进行清洗。
[0021]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种芯片专用清洗治具，包括底板和侧板，所述侧板包括平行的第一侧板和第二侧板、与第一侧板垂直的第三侧板和第四侧板，其特征在于，所述底板上设置有多个横板和多个竖板，所述横板与第一侧板平行，所述竖板与第三侧板平行，所述横板的两侧均连接有多个与横板垂直的限位板，第一侧板和第二侧板朝里的一侧也连接有与第一侧板垂直的限位板。
2.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述底板有多个，互相平行设置，所述第三侧板和第四侧板上开有多个相对的凹槽，可同时放置多个底板。
3.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述限位板的上端为斜面。
4.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述一个横板上的多个限位板之间的间隔相等。
5.根据权利要求1或4所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述不同横板上的限位板的长度相等。
6.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述竖板上开有网格状通孔。
【文档编号】H01L21/68GK204220588SQ201420570477
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2014年9月30日
【发明者】周天毫 申请人:苏州速腾电子科技有限公司