管式pecvd石墨舟装卸片系统用硅片上料机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，所述硅片上料机构包含有上料底板（1），所述上料底板（1）通过直线导轨水平滑移连接有上料支座（2）；所述上料支座（2）上通过直线导轨垂直滑动连接有上料托架（3），所述上料托架（3）上设置有相互平行的三组卸料定位齿板（3.1），且上料托架（3）上方设置有物料台（4），该物料台（4）上设置有供卸料定位齿板（3.1）插入的工作槽位（4.1），所述工作槽位（4.1）上用于放置装载有待加工硅片的花篮的节距为4.5mm。本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，具有提高生产效率的优点。
【专利说明】管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硅片上料机构，尤其是涉及一种用于管式PECVD中对石墨舟进行自动化高效装卸片系统上的硅片上料机构，属于太能能光伏生产设备【技术领域】。
【背景技术】
[0002]目前，在晶体硅太阳能电池生产过程中，需在硅片表面通过PECVD (PlasmaEnhancedChemical Vapor Deposit1n)设备制备一层氮化娃减反射膜，现有的管式PECVD在长膜工序完成后，需人工拉出石墨舟，从石墨舟中取出硅片装入空花篮中(即硅片卸料过程);随后空石墨舟再次进入PECVD炉体前，需重新贴装已完成二次清洗的无反射膜硅片(即硅片上料过程)；因石墨舟重、石墨舟电极片夹缝窄，所以常规的人工搬运石墨舟及人工装卸片劳动强度大，生产效率提不上，同时碎片率较高，使得生产成本高；
[0003]为此，“中国电子科技集团公司第四十八研究所”于2013年11月22日提出了专利申请号为201310592633.1的“一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片系统”，其利用机械方式进行卸料和上料，但是其硅片抓取移载机构采用六轴机械人进行，由于六轴机械人结构复杂，且国内无法自主生产六轴机械人，因此其成本高昂；且六轴机械人长时间使用后容易在空间定位上产生误差，使得在抓取过程中对硅片造成损伤；并且受制于六轴机械人的抓取方式，其一次仅能抓取20片硅片，因此其效率还是无法满足大规模生产的需求；且上述常规系统中所用的花篮节距为4.76mm的标准节距，而石墨舟舟片的间距为13.5mm,因此需要采用专门的倒片机对其节距进行整理，从而进一步影响了生产的效率。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种定位精确且生产效率高的管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构。
[0005]本实用新型的目的是这样实现的:一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，所述硅片上料机构包含有上料底板，所述上料底板通过直线导轨水平滑移连接有上料支座；所述上料支座上通过直线导轨垂直滑动连接有上料托架，所述上料托架上设置有相互平行的三组卸料定位齿板，且上料托架上方设置有物料台，该物料台上设置有供卸料定位齿板插入的工作槽位。
[0006]本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，所述工作槽位上用于放置装载有待加工硅片的花篮的节距为4.5_。
[0007]本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，所述工作槽位前后侧设置有卡位件以及夹紧气缸。
[0008]本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，所述工作槽位的左右侧均通过垫板设置有整理气缸，整理气缸的活塞杆上连接有与花篮长度方向相平行的整理条。
[0009]本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，所述整理条上设置有与硅片间距相匹配的梳齿结构。
[0010]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0011]本实用新型采用直线导轨移动配合方式替代传动的六轴机械手的全方位旋转，移动准确率更高，抓取精确更高；同时，直线移动效率也更高；并且花篮采用4.5mm的节距取代原先的标准节距，因此面对13.5mm的石墨舟，无需进行倒片机进行节距调整，使得整个系统结构更为简单、工艺更为简洁流畅；并且上料时采用3组共计3*20=60片硅片同时上料，相比于常规的20片上料，即便在同等条件下，效率也提高了三倍，且配合在节距以及移动方式上的改进，效率提闻远超二倍，极大的提闻了厂家的生广效率，提闻了其企业的市场竞争力。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构的结构示意图。
[0013]图2为本实用新型管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构的侧视图。
[0014]其中:
[0015]上料底座1、上料支座2、上料托架3、物料台4、整理气缸5、整理条6 ；
[0016]卸料定位齿板3.1;
[0017]工作槽位4.1、垫板4.2。
【具体实施方式】
[0018]参见图1和图2，本实用新型涉及的一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，所述硅片上料机构包含有上料底板1，所述上料底板I通过直线导轨水平滑移连接有上料支座2，且上料支座2的移动方向与前序工艺中的石墨舟移送机构上的石墨舟移动方向相垂直；所述上料支座2上通过直线导轨垂直滑动连接有上料托架3，所述上料托架3上设置有相互平行的三组卸料定位齿板3.1，且上料托架3上方设置有物料台4，该物料台4上设置有供卸料定位齿板3.1插入的工作槽位4.1，工作槽位4.1上用于放置装载有待加工硅片的花篮(所述花篮节距为4.5mm，此时每隔三片取一片即可实现13.5mm的节距，省去了倒片机构以及该道工序，从而大大提供了生产效率)，且工作槽位4.1前后侧设置有卡位件以及夹紧气缸，用于对花篮进行定位和夹紧，该工作槽位4.1的左右侧均通过垫板4.2设置有整理气缸5，整理气缸5的活塞杆上连接有与花篮长度方向相平行的整理条6，所述整理条6上设置有与硅片间距相匹配的梳齿结构；
[0019]具体的讲，上述上料底板I与上料支座2的水平滑移连接，上料支座2与上料托架3的垂直滑动连接，均通过由电机带动的丝杆驱动方式提供动力；
[0020]另外:需要注意的是，上述【具体实施方式】仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，其特征在于:所述硅片上料机构包含有上料底板(I )，所述上料底板(I)通过直线导轨水平滑移连接有上料支座(2);所述上料支座(2 )上通过直线导轨垂直滑动连接有上料托架(3 )，所述上料托架(3 )上设置有相互平行的三组卸料定位齿板(3.1)，且上料托架(3)上方设置有物料台(4)，该物料台(4)上设置有供卸料定位齿板(3.1)插入的工作槽位(4.1)。
2.如权利要求1所述一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，其特征在于:所述工作槽位(4.1)上用于放置装载有待加工硅片的花篮的节距为4.5mm。
3.如权利要求1或2所述一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，其特征在于:所述工作槽位(4.1)前后侧设置有卡位件以及夹紧气缸。
4.如权利要求1或2所述一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，其特征在于:所述工作槽位(4.1)的左右侧均通过垫板(4.2)设置有整理气缸(5)，整理气缸(5)的活塞杆上连接有与花篮长度方向相平行的整理条(6 )。
5.如权利要求4所述一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构，其特征在于:所述整理条(6)上设置有与硅片间距相匹配的梳齿结构。
【文档编号】H01L21/677GK204243016SQ201420645153
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2014年11月3日 优先权日:2014年11月3日
【发明者】李长英, 陈 光, 高玉良 申请人:江阴方艾机器人有限公司