技术总结
本发明公开了一种超高精度平面气浮工件台，包括平台，所述平台上侧面设置两个导轨，每一个所述导轨的外侧均固定有竖向电机，每一个所述导轨上均滑动设置有竖向气浮滑块，所述竖向气浮滑块与所述竖向电机连接；两个所述竖向气浮滑块之间固定设置有横梁，所述横梁呈正放的U型结构，所述横梁的U型槽内设置有所述横向电机，所述横梁上还滑动设置有工件台组件。本发明通过将两个竖向导轨与竖向气浮滑块之间设置成大小不一的间隙，避免卡死现象，通过磁条和钢铁条实现磁预载，与竖向气浮滑块处的气浮力相应，保持气浮滑块的稳定性，无摩擦、并且采用双轴驱动，提高工作准确率和效率。
技术研发人员：许云飞
受保护的技术使用者：无锡地心科技有限公司
技术研发日：2019.10.28
技术公布日：2020.01.24