一种单片晶圆盒的制作方法

本实用新型涉及晶圆盒领域，特别是涉及一种单片晶圆盒。

背景技术：

晶圆片作为半导体领域相关产品制作的原材料，在实际生产过程中，晶圆片盒起到承载保护的作用。但在晶圆片盒的运输过程中，往往会应震动使放置在晶圆片盒内的晶圆片发生一定程度的损坏。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种单片晶圆盒，方便保存和运输。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种单片晶圆盒，包括：盒体和盒盖，所述盒体和盒盖之间活动连接，所述盒体和盒盖均呈拱形结构，所述盒体内设置有晶圆放置区，所述晶圆放置区周边设置有限位弧边，所述限位弧边上均匀分布有多个开口，所述盒体内部4个角处设置有取件区，所述盒盖内表面设置有多个与所述开口对应的减震定位片，所述盒盖外表面设置有多个限位槽，所述盒体外表面设置有多个与所述限位槽对应的限位条。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述盒盖内表面环形设置有多个安装块。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述减震定位片包括：安装套和定位片，所述定位片倾斜设置，所述定位片与安装套的一端固定连接。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述安装块外围套设有安装套。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述盒体的一端设置有第一搭扣，所述盒盖的一端设置有与第一搭扣对应的第二搭扣。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述第一搭扣两侧设置有翻边。

本实用新型的有益效果是：本实用新型指出的一种单片晶圆盒，通过设置减震定位片，在盒体和盒盖合上时，减震定位片与晶圆片接触，对其进行减震定位，方便保存和运输。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1是本实用新型一种单片晶圆盒一较佳实施例的结构示意图；

图2是本实用新型一种单片晶圆盒闭合时的结构示意图；

图3是减震定位片的结构示意图；

图4是本实用新型一种单片晶圆盒内放置晶圆片的结构示意图。

具体实施方式

下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型实施例包括：

一种单片晶圆盒，包括：盒体1和盒盖2，所述盒体1和盒盖2之间通过铰链3活动连接，所述盒体1和盒盖2均呈拱形结构，所述盒体1内设置有晶圆放置区4，所述晶圆放置区4周边设置有限位弧边5，所述限位弧边5上均匀分布有多个开口6。

所述盒体1内部4个角处设置有取件区7，取件区7向内凹陷，方便晶圆片8的拿取。

所述盒盖2内表面设置有多个减震定位片9，所述减震定位片9包括：安装套91和定位片92，所述定位片92倾斜设置，所述定位片92与开口6对应。

所述定位片92与安装套91的一端固定连接，所述盒盖2内表面环形设置有多个安装块10，所述安装块10外围套设有安装套91，在盒体1和盒盖2闭合时，定位片92与晶圆片8接触，由于所述定位片92倾斜设置且具有一定的柔性，对晶圆片8起到良好减震效果。

所述盒盖2外表面设置有多个限位槽11，所述盒体1外表面设置有多个与所述限位槽11对应的限位条12，通过限位槽11与限位条12相配合，可方便多个单片晶圆盒的叠放。

所述盒体1的一端设置有第一搭扣13，所述盒盖2的一端设置有与第一搭扣13对应的第二搭扣14。所述第二搭扣14能够与所述第一搭扣13相配合，当所述第一搭扣13与所述第二搭扣14扣合时，所述盒盖2与盒体1闭合，当所述第一搭扣13和所述第二搭扣14解开时，所述盒盖2与盒体1能够打开。

所述第一搭扣13两侧设置有翻边15，当盒盖2与盒体1闭合需要打开时，一只手放在翻边15上，另一只手板动第二搭扣14，方便使力，有效快速使盒盖2与盒体1打开。

综上所述，本实用新型指出的一种单片晶圆盒，通过设置减震定位片，在盒体和盒盖合上时，减震定位片与晶圆片接触，对其进行减震定位，方便保存和运输。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：

1.一种单片晶圆盒，包括：盒体和盒盖，所述盒体和盒盖之间活动连接，其特征在于，所述盒体和盒盖均呈拱形结构，所述盒体内设置有晶圆放置区，所述晶圆放置区周边设置有限位弧边，所述限位弧边上均匀分布有多个开口，所述盒体内部4个角处设置有取件区，所述盒盖内表面设置有多个与所述开口对应的减震定位片，所述盒盖外表面设置有多个限位槽，所述盒体外表面设置有多个与所述限位槽对应的限位条。

2.根据权利要求1所述的单片晶圆盒，其特征在于，所述盒盖内表面环形设置有多个安装块。

3.根据权利要求1所述的单片晶圆盒，其特征在于，所述减震定位片包括：安装套和定位片，所述定位片倾斜设置，所述定位片与安装套的一端固定连接。

4.根据权利要求2所述的单片晶圆盒，其特征在于，所述安装块外围套设有安装套。

5.根据权利要求1所述的单片晶圆盒，其特征在于，所述盒体的一端设置有第一搭扣，所述盒盖的一端设置有与第一搭扣对应的第二搭扣。

6.根据权利要求5所述的单片晶圆盒，其特征在于，所述第一搭扣两侧设置有翻边。

技术总结
本实用新型公开了一种单片晶圆盒，包括：盒体和盒盖，所述盒体和盒盖之间活动连接，所述盒体和盒盖均呈拱形结构，所述盒体内设置有晶圆放置区，所述晶圆放置区周边设置有限位弧边，所述限位弧边上均匀分布有多个开口，所述盒体内部4个角处设置有取件区，所述盒盖内表面设置有多个与所述开口对应的减震定位片，所述盒盖外表面设置有多个限位槽，所述盒体外表面设置有多个与所述限位槽对应的限位条。通过上述方式，本实用新型提供的单片晶圆盒，通过设置减震定位片，在盒体和盒盖合上时，减震定位片与晶圆片接触，对其进行减震定位，方便保存和运输。

技术研发人员：何施亮
受保护的技术使用者：常熟市荣达电子有限责任公司
技术研发日：2019.07.30
技术公布日：2020.04.10