一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置的制作方法

本实用新型涉及领域，具体为一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置。

背景技术：

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

下电极的射频源使用高频功率电源作为激励电源，容易产生射频辐射，对传感器信号和电路信号产生干扰，且容易出现人身安全隐。

但是，现有的下电极屏蔽装置存在以下缺点：

1、现有的下电极屏蔽装置，屏蔽不完善，屏蔽效果较差。

2、现有的下电极屏蔽装置，在安装拆卸时十分不便。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，以解决上述背景技术中现有的下电极屏蔽装置，屏蔽不完善，屏蔽效果较差，现有的下电极屏蔽装置，在安装拆卸时十分不便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，包括安装板和上盖板，所述上盖板位于安装板正上方，所述安装板和上盖板表面均开设有纵向滑槽和横向滑槽，所述横向滑槽位于纵向滑槽一端，且纵向滑槽和横向滑槽之间相互连通，所述安装板和上盖板两侧均开设有插扣槽，所述插扣槽内均插扣安装有封隔板，所述纵向滑槽内滑动安装有滑扣，所述滑扣表面焊接有安装架。

优选的，所述安装架两侧表面均螺栓安装有风琴板，所述风琴板一端镶嵌有插扣条，所述插扣条插扣于封隔板内，通过安装架两侧表面螺栓安装的风琴板，便利于利用风琴板舒展性填补封隔板之间的间隙，从而起到提高屏蔽效果的功能。

优选的，所述安装板和上盖板表面均开设有贯穿孔，所述贯穿孔内镶嵌有安装套环，所述安装套环内插扣安装有一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩，所述一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩之间插扣连接，通过安装板和上盖板表面均开设的贯穿孔，便利于预留出电极射频柱的位置，同时利用一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩对电极射频柱进行包裹，从而可对电极射频柱所产生的射频辐射进行屏蔽处理。

优选的，所述安装套环内部卡扣安装有托环，所述托环抵靠于一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩一端，所述托环与安装套环内部底端镶嵌有弹簧，通过安装套环内部卡扣安装的托环可配合托环与安装套环内部底端镶嵌的弹簧，对一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩进行卡扣安装，提高了一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩的安装便捷性。

优选的，所述安装板底端卡扣安装有罩壳，通过安装板底端卡扣安装的罩壳，可对等离子体刻蚀机的射频电源匹配器进行防护与信号屏蔽。

优选的，所述安装板、上盖板、封隔板和风琴板均为镶嵌有金属网的聚四氟乙烯材料制成，通过安装板、上盖板、封隔板和风琴板内部的金属网，可利用金属网吸收消减整个装置产生的射频辐射。

本实用新型提供了一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，具备以下有益效果：

(1)本实用新型通过安装板和上盖板表面均开设的贯穿孔，便利于预留出电极射频柱的位置，同时利用一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩对电极射频柱进行包裹，从而可对电极射频柱所产生的射频辐射进行屏蔽处理，通过安装套环内部卡扣安装的托环可配合托环与安装套环内部底端镶嵌的弹簧，对一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩进行卡扣安装，提高了一号屏蔽壳罩和二号屏蔽壳罩的安装便捷性。

(2)本实用新型通过安装板底端卡扣安装的罩壳，可对等离子体刻蚀机的射频电源匹配器进行防护与信号屏蔽，通过安装架两侧表面螺栓安装的风琴板，便利于利用风琴板舒展性填补封隔板之间的间隙，从而起到提高屏蔽效果的功能。

(3)本实用新型通过安装板、上盖板、封隔板和风琴板内部的金属网，可利用金属网吸收消减整个装置产生的射频辐射。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的安装板结构俯视图；

图3为本实用新型的安装架结构示意图；

图4为本实用新型的安装套环结构示意图。

图中：1、安装板；2、上盖板；3、罩壳；4、纵向滑槽；5、横向滑槽；6、插扣槽；7、滑扣；8、安装架；9、风琴板；10、插扣条；11、贯穿孔；12、安装套环；13、一号屏蔽壳罩；14、二号屏蔽壳罩；15、托环；16、弹簧；17、封隔板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，包括安装板1和上盖板2，所述上盖板2位于安装板1正上方，所述安装板1和上盖板2表面均开设有纵向滑槽4和横向滑槽5，所述横向滑槽5位于纵向滑槽4一端，且纵向滑槽4和横向滑槽5之间相互连通，所述安装板1和上盖板2两侧均开设有插扣槽6，所述插扣槽6内均插扣安装有封隔板17，所述纵向滑槽4内滑动安装有滑扣7，所述滑扣7表面焊接有安装架8。

优选的，所述安装架8两侧表面均螺栓安装有风琴板9，所述风琴板9一端镶嵌有插扣条10，所述插扣条10插扣于封隔板17内，通过安装架8两侧表面螺栓安装的风琴板9，便利于利用风琴板9舒展性填补封隔板17之间的间隙，从而起到提高屏蔽效果的功能。

优选的，所述安装板1和上盖板2表面均开设有贯穿孔11，所述贯穿孔11内镶嵌有安装套环12，所述安装套环12内插扣安装有一号屏蔽壳罩13和二号屏蔽壳罩14，所述一号屏蔽壳罩13和二号屏蔽壳罩14之间插扣连接，通过安装板1和上盖板2表面均开设的贯穿孔11，便利于预留出电极射频柱的位置，同时利用一号屏蔽壳罩13和二号屏蔽壳罩14对电极射频柱进行包裹，从而可对电极射频柱所产生的射频辐射进行屏蔽处理。

优选的，所述安装套环12内部卡扣安装有托环15，所述托环15抵靠于一号屏蔽壳罩13和二号屏蔽壳罩14一端，所述托环15与安装套环12内部底端镶嵌有弹簧16，通过安装套环12内部卡扣安装的托环15可配合托环15与安装套环12内部底端镶嵌的弹簧16，对一号屏蔽壳罩13和二号屏蔽壳罩14进行卡扣安装，提高了一号屏蔽壳罩13和二号屏蔽壳罩14的安装便捷性。

优选的，所述安装板1底端卡扣安装有罩壳3，通过安装板1底端卡扣安装的罩壳3，可对等离子体刻蚀机的射频电源匹配器进行防护与信号屏蔽。

优选的，所述安装板1、上盖板2、封隔板17和风琴板9均为镶嵌有金属网的聚四氟乙烯材料制成，通过安装板1、上盖板2、封隔板17和风琴板9内部的金属网，可利用金属网吸收消减整个装置产生的射频辐射。

需要说明的是，一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，在工作时，将罩壳3套扣安装在等离子体刻蚀机的射频电源匹配器上，将安装板1和上盖板2固定在等离子体刻蚀机内，将一号屏蔽壳罩13和二号屏蔽壳罩14卡扣在于电极射频柱表面，再通过安装套环12内部卡扣安装的托环15可配合托环15与安装套环12内部底端镶嵌的弹簧16，对一号屏蔽壳罩13和二号屏蔽壳罩14进行卡扣安装，将封隔板17通过安装板1和上盖板2两侧开设的插扣槽6，滑扣安装于安装板1和上盖板2之间，再将安装架8通过滑扣7安装于纵向滑槽4内，推动安装架8沿着纵向滑槽4移动至横向滑槽5内，然后将安装架8两侧表面螺栓安装的风琴板9沿着横向滑槽5进行舒展，利用琴板9一端镶嵌的插扣条10与封隔板17之间进行卡扣连接，填补封隔板17之间的间隙，从而起到提高屏蔽效果的功能。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。