半导体模块以及半导体模块的制造方法与流程

文档序号:41652249发布日期:2025-04-15 16:18阅读:31来源:国知局

本公开涉及半导体模块以及半导体模块的制造方法。


背景技术:

1、功率半导体模块所代表的半导体模块通常具备:基板,其用于安装半导体元件;树脂制的壳体,其收纳半导体元件;以及多个引线端子,其经由接合线与半导体元件电连接。例如,在专利文献1~3中,多个引线端子利用嵌入成形与壳体接合。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:日本特开2015-201611号公报

5、专利文献2:日本特开2023-31941号公报

6、专利文献3:日本特开2016-111028号公报


技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、若利用所述的嵌入成形来形成壳体,则引线端子与壳体之间的密合性较差,因此有时在壳体内在引线端子的焊盘部与壳体之间产生间隙。若存在这样的间隙,则在对引线端子的焊盘部使用超声波进行引线接合时,由于焊盘部的共振而产生超声波的传递损耗,因此存在导致引线接合的接合性降低的问题。

3、为了解决该问题,考虑在引线端子的焊盘部与壳体之间的间隙填充粘接剂的对策。但是,在专利文献1~3所记载的结构中,在制造半导体模块时,另外需要用于该对策的工序,因此导致制造工序复杂化。

4、考虑到以上的情况,本公开的一技术方案的目的在于,容易地制造可靠性优异的半导体模块。

5、用于解决问题的方案

6、为了解决以上的课题,本公开的优选的技术方案的半导体模块具备:基板,其用于安装半导体元件;框状的壳体,其包围所述基板;引线端子,其自内侧朝向外侧地贯穿所述壳体;以及接合线,其在所述壳体内将所述半导体元件与所述引线端子电连接,所述引线端子具有配置于所述壳体内的焊盘部,所述壳体具有:第1面,其与所述焊盘部接合;以及第2面,其利用粘接剂与所述基板接合,并朝向与所述第1面相反的方向,在所述壳体的内周面遍及从所述第1面到所述第2面的整个范围地设有自所述基板朝向所述焊盘部的槽。

7、本公开的优选的技术方案的半导体模块的制造方法中,该半导体模块具备:基板,其用于安装半导体元件;框状的壳体,其由树脂组合物构成,包围所述基板;引线端子,其自内侧朝向外侧地贯穿所述壳体;以及接合线,其在所述壳体内将所述半导体元件与所述引线端子电连接,其中,该半导体模块的制造方法包括:成形工序,利用嵌入成形而与包括所述引线端子的引线框一体地形成所述壳体;以及接合工序,利用粘接剂将所述基板与所述壳体接合,所述引线端子具有配置于所述壳体内的焊盘部,所述壳体具有:第1面,其与所述焊盘部接合;以及第2面,其利用所述粘接剂与所述基板接合,并朝向与所述第1面相反的方向,在所述壳体的内周面遍及从所述第1面到所述第2面的整个范围地设有自所述基板朝向所述焊盘部的槽。



技术特征:

1.一种半导体模块,其中,

2.根据权利要求1所述的半导体模块,其中,

3.根据权利要求1所述的半导体模块,其中,

4.根据权利要求1所述的半导体模块,其中,

5.根据权利要求4所述的半导体模块,其中,

6.一种半导体模块的制造方法,该半导体模块具备:

7.根据权利要求6所述的半导体模块的制造方法,其中,

8.根据权利要求7所述的半导体模块的制造方法,其中,

9.根据权利要求6所述的半导体模块的制造方法,其中,


技术总结
本发明涉及半导体模块以及半导体模块的制造方法。容易制造可靠性优异的半导体模块。半导体模块具有:基板,其用于安装半导体元件;框状的壳体,其包围基板;引线端子,其自内侧朝向外侧地贯穿壳体;以及接合线,其在壳体内将半导体元件与引线端子电连接,引线端子具有配置于壳体内的焊盘部,壳体具有:第1面,其与焊盘部接合;以及第2面,其利用粘接剂与基板接合,并朝向与第1面相反的方向,在壳体的内周面遍及从所述第1面到所述第2面的整个范围地设有自基板朝向焊盘部的槽。

技术研发人员:传田俊男
受保护的技术使用者:富士电机株式会社
技术研发日:
技术公布日:2025/4/14
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