专利名称：用于半导体芯片封装的带有预模制底盘的引线框的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于半导体芯片封装的带预模制底盘的引线框，特别涉及一种用于半导体芯片封装的带预模制底盘的改进引线框，能够防止模制体与其上设置半导体芯片封装中的半导体芯片的底盘间发生剥离和龟裂。
参见
图1，引线框，一种用于制造半导体芯片封装的金属结构，一般包括引线框1a两侧上的导轨10，用于支撑引线框1a自身以及在制造期间自动传递引线框1a时引导引线框1a；和其中心处的底盘11，用于贴装半导体芯片5。另外，引线框1a还包括内引线2，每根皆由金属丝12电连接到作为半导体芯片5的外连端的键合焊盘；和内引线2外的外引线13。阻拦条14设置在内引线2和外引线13之间，用于支撑内引线2和外引线13，在EMC(环氧树脂模制化合物)模制后的修整时阻拦条14被去掉。底盘11由支撑条4a支撑，并由此连接到引线框1a的主体上，内引线2和底盘11之间存在着间隙。
然而，上述常规引线框1a中，包封半导体芯片5和底盘11的模制体8是EMC制成的，而占据引线框1a最大面积的底盘11是与其它部件相同的铜合金制的，因两者间性质不同造成两者之间的热膨胀系数彼此不同。为此，封装工艺、完成封装后的老化、可靠性试验的热处理、或安装封装后封装工作期间，存在着出现因剪应力造成的底盘11的底与模制体8间紧密粘结分离的剥离现象的可能性，剪切应力是因两者间热膨胀系数不同引起的。另外，如果湿汽渗透到此剥离之间，封装的模制体8便会发生龟裂，这会引起许多问题，例如，生产成品率下降，在将封装安装在电路板上后使用该封装期间封装失效，导致要替换封装。
因此，本发明旨在提供一种用于半导体芯片封装的带有预模制底盘的引线框，基本上能克服现有技术的局限和缺点造成的几个问题。
本发明的其它特点和优点如说明书所述，部分可从说明书中显现，或可以实施本发明获知。特别是书面说明和权利要求书及附图中指出的结构将会实现和获得本发明的目的和优点。
为了实现这些和其它优点，根据本发明的目的，正如所概述和概要说明的那样，用于半导体芯片封装的带有预模制底盘的引线框包括设置于引线框的内引线内部区域中的EMC预模制底盘，该底盘与从引线框的支撑部件延伸的支撑条相连，用于在其上安装半导体芯片。
应该明白，上述的概括说明和以下的详细说明皆是例证性和说明性的，旨在对所申请的发明作进一步地说明。
各附图可以用于更深入的地理解发明，它们与说明书结合构成说明书的一部分，用于展示发明的实施例，并与说明书一起解释发明的原理。
各附图中图1是常规引线框的平面图；图2是常规半导体芯片封装的纵剖图；图3a是根据本发明第一实施例的引线框的平面图；图3b是根据本发明第一实施例的引线框的平面图，展示了形成于其上的预模制底盘；图4是具有应用于其中的本发明引线框的半导体芯片封装的纵剖图；图5是根据本发明第二实施例的引线框的平面图；图6是根据本发明第三实施例的引线框的平面图；图7是根据本发明第四实施例的引线框的平面图；图8是根据本发明第五实施例的引线框的平面图。
下面结合示于附图中的实例对本发明的优选实施例作详细说明。
图3a是根据本发明第一实施例的引线框的平面图，图3b是根据本发明第一实施例的引线框的平面图，展示了形成于其上的预模制底盘，图4是具有应用于其中的本发明引线框的半导体芯片封装的纵剖图。
参见3a、3b和4，根据本发明第一实施例的引线框包括从引线框1的支撑部件延伸的支撑条4，该支撑条4设置于引线框1的内引线2的内部区域；形成于支撑条4上的EMC预制底盘6，用于安装半导体芯片5。预模制底盘支撑片7a设置于每根从引线框1的支撑部件3延伸的支撑条4前端，用于支撑预模制底盘6。预模制底盘支撑片7a垂直于支撑条4的轴形成。
下面说明上述本发明引线框的功能。
与一般引线框一样，本发明的引线框也是在预先分开制造完后被引入封装步骤，但不是半导体芯片5设置于其上的结构。即，预模制底盘支撑片7a只位于每根从引线框1的支撑部件3延伸的支撑条4的前端，用于在此后的步骤中形成预模制底盘6时支撑该预模制底盘6。因此，在通过预模制底盘6形成步骤形成了用于在其上安装半导体芯片5的预模制底盘后，且在进行封装工艺中的芯片贴装步骤之前，先进行以下步骤，如芯片贴装和引线键合。所以，为了进行将本发明的引线框应用于封装工艺，作为形成EMC预模制底盘6的步骤的模制步骤是本发明的主题，该步骤应该包括在引线框制造工艺中，或芯片贴装步骤之前的封装工艺中。
这样，因为本发明的半导体芯片封装工艺应用具有预先形成于其中的模制底盘6的引线框，该工艺的以下步骤与一般封装工艺步骤顺序相同，所以，该半导体芯片封装工艺的有益之处在于，半导体芯片封装工艺步骤和封装制造设备无需随引线框材料和制造工艺的变化而变化。因此，如果包封设置于模制底盘6上的半导体芯片5的模制步骤在完成了封装工艺中的一步芯片贴装和引线键合后进行，其中芯片贴装步骤将半导体芯片贴装于模制底盘6上，引线键合步骤用金属丝12电连接半导体芯片上的键合焊盘与内引线，则本发明的引线框1易于应用与预模制底盘6相同的EMC材料模制该封装。结果，如图4中虚线所示，由于具有设置于其上的半导体芯片5的预制底盘6与模制体8紧密附着在一起，且因它们由具有相同性质的同一材料制成，它们的热膨胀系数相同，因而可以消除半导体芯片封装工艺期间或老化和可靠性试验工艺期间发生的热失配，本发明的引线框可以防止由因合金底盘11与包封半导体芯片5的模制体8的热膨胀系数不同造成的剪切应力引起的底盘11和模制体8之间发生剥离。
图5是根据本发明第二实施例的引线框的平面图，示出了一种环形预模制底盘支撑片7b，该片位于每根支撑条4的前端，用于支撑预模制底盘6，其中支撑条4从引线框1的支撑部件3延伸。
图6是根据本发明第三实施例的引线框的平面图，示出一种Y形、树结构的预模制底盘支撑片7C，该片位于每根支撑条4的前端，用于在支撑预模制底盘6时提供更宽的面积，其中支撑条4从引线框1的支撑部件3延伸。
图7是根据本发明第四实施例的引线框的平面图，示出了一种连接条9，用于连接一对支撑条4的前端，其中支撑条4从引线框1的支撑部件3延伸。
图8是根据本发明第五实施例的引线框的平面图，示出了一种矩形连接环9，用于连接所有支撑条4的前端，其中支撑条4从引线框1的支撑部件3延伸。
容易了解到，对于位于引线框1的支撑条4前端的预模制支撑片，当然可以不拘泥于上述任一种几何形状和结构而改变其几何形状和结构。另外，显然可以将本发明的带有预模制底盘6的引线框1应用于所有需要用于在其上设置半导体芯片的底盘的半导体芯片封装。
如上所述，本发明的引线框改进了半导体芯片封装中引线框1的结构，容易消除半导体芯片的封装中半导体芯片5与EMC间的剥离和龟裂。即，由于避免了半导体芯片封装期间或封装完成后的老化和可靠性试验期间发生的热失配，可以防止底盘11的底部和EMC间界面处发生剥离，所以，本发明的引线框可以提高半导体芯片封装的生产成品率和可靠性。
显然，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明精神或范围的情况下，可以对本发明制造半导体器件的方法做出各种改型和变化。但是，本发明将覆盖这些会落入权利要求书及其等同的范围内的改型和变化。
权利要求
1.一种用于半导体芯片封装的带预模制底盘的引线框，该引线框包括设置于引线框的内引线内部区域的环氧树脂模制化合物预模制底盘，该预模制底盘与从引线框的支撑部件延伸的支撑条相连，用于在其上安装半导体芯片。
2.如权利要求1的引线框，其中，每根从引线框的支撑部件延伸的支撑条的前端具有预模制底盘支撑片，用于在支撑模制底盘时提供更大的面积。
3.如权利要求2的引线框，其中，预模制底盘支撑片垂直于支撑条的轴形成。
4.如权利要求2的引线框，其中，预模制底盘支撑片为Y形树结构。
5.如权利要求2的引线框，其中，预模制底盘支撑片为环形。
6.如权利要求1的引线框，还包括连接条，用于连接一对从引线框的支撑部件延伸的支撑条前端。
7.如权利要求1的引线框，还包括矩形连接环，用于连接从引线框的支撑部件延伸的支撑条前端。
全文摘要
一种用于半导体芯片封装的带有预模制底盘的改进引线框,可以防止模制体与其上安装有半导体芯片封装中的半导体芯片的底盘之间发生剥离和龟裂,该引线框包括:设置于引线框的内引线内部区域的EMC预模制底盘,该预模制底盘与从引线框的支撑部件延伸的支撑条相连,用于在其上安装半导体芯片。
文档编号H01L23/28GK1186339SQ9712044
公开日1998年7月1日 申请日期1997年10月15日 优先权日1996年12月27日
发明者李秉德 申请人:Lg半导体株式会社