一种束流检测及分析装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体器件制造控制系统，即注入机，特别地，涉及一种用于离子注入机束流检测及分析装置。
【背景技术】
[0002]随着半导体工艺的发展，束流的精确检测及分析对于离子注入系统愈发重要，对注入产品的质量和离子注入机的产业化有着很大的影响。如果离子注入机引出束流能量很低时，特别是大束流、传输路径长的场合，由于空间电荷效应的影响，离子束发散严重，其传输效率极低，使得最后到达注入晶片的束流小，束品质差，不能满足注入工艺要求；束流的精确检测及分析的控制对于超低能大束流离子束的传输有着特殊的意义。
[0003]束流检测的精准度是最终得到高品质产品的基础，目前对于离子源引出束流测量和分析要求已成为产业发展的迫切需求。
【发明内容】
[0004]本发明公开了一种束流检测及分析装置，可用于离子注入机系统；其针对现有束流检测、分析、获得精准束流值，即使对于超低能束流的传输、引出电极或传输装置位置有所偏离、传输路径过长的情况所产生的束流精准测量及分析问题，都能够很好的解决，而不会对最终离子注入的产品质量产生影响。
[0005]本发明通过以下技术方案实现:
[0006]1.一种束流检测及分析装置，包括:法拉第传动机构⑴、接束法拉第杯(2)、光栏运动机构(3)、分析光栏(4)、水冷却模块(5)，其特征在于:调节装置上下对称布置在束流通道⑴两侧。
[0007]2.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，法拉第传动机构(I)包括一个气缸及一个真空焊接波纹管，保证其平稳的运行。
[0008]3.如权利要求1所述的一种束流检测及分析装置，接束法拉第杯(2)中装置永久磁体，其特征在于保障接束法拉第杯(2)在检测到束流精确值的同时还能起到对束流的聚焦作用。
[0009]4.如权利要求1所述的一种束流检测及分析装置，光栏运动机构(3)由一电机及两个传动块组成，其特征在于可控制光栏双向运动的距离大小。
[0010]5.如权利要求1所述的一种束流检测及分析装置，分析光栏(4)能限制束流的宽度，起到分析束流的作用，其特征在于:分析光栏(4)可双向同时等距离调节光栏的宽度。
[0011]6.如权利要求1所述的一种束流检测及分析装置，其特征在于:水冷却模块(5)可通过外围供水来转换到此束流检测及分析装置上，保障其装置的冷却及稳定性。
[0012]本发明具有如下显著优点:
[0013]1.结构简单，易于加工制造。
[0014]2.功能可靠，稳定性好。
[0015]3.易于控制，不需经常维护和更换。
【附图说明】
[0016]图1检测及分析装置总结构图
[0017]图2分析光栏及运动机构结构图
[0018]图3法拉第接束杯及传动机构结构图
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图1、附图2和附图3对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
[0020]参见图1、图2和图3，一种束流均匀性调节装置分四部分，法拉第传动机构(I)、接束法拉第杯(2)、光栏运动机构(3)、分析光栏(4)、水冷却模块(5)。其中法拉第传动机构
(I)负责接束法拉第杯(2)的平稳运动。
[0021]光栏运动机构(3)来负责调节分析光栏(4)双向运动的距离大小。水冷却模块
(5)来冷却整个系统在接束时的温度。
[0022]在该实施方式中，法拉第传动机构(I)由一个气缸和一个真空焊接波纹管主要部件构成，气缸为驱动部件，来驱动真空焊接波纹管，真空焊接波纹管带动接束法拉第杯(2)进行运动，采用真空焊接波纹管是为了更好地保障接束法拉第杯(2)在真空中的平稳运动。
[0023]在该实施方式中，光栏运动机构(3)由一个电机和两个传动块组成，电机运转经由传动块带动分析光栏(4)双向运动，在传动块上安装位置传感器来保障分析光栏(4)双向运动位置的精确性。
[0024]在该实施方式中，接束法拉第杯(2)中带有永久磁铁，磁铁两端对称安装，在保障接束法拉第杯(2)能接到束流进行精确测量的同时，还起到对数流的聚焦作用。
[0025]在该实施方式中，对短电极(7)和长电极⑶起到安装定位作用的电极腔体(2)、电极盖板(3)的形式可替代的，能起到定位的作用即可。
[0026]在该实施方式中，分析光栏(4)可双方向调节，并且可通过位置传感器进行运动位置的计算，起到了对通过束流的限制和分析作用。
[0027]本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
【主权项】
1.一种束流检测及分析装置，包括:法拉第传动机构(I)、接束法拉第杯(2)、光栏运动机构(3)、分析光栏(4)、水冷却模块(5)，其特征在于:调节装置上下对称布置在束流通道(I)两侧。
2.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，法拉第传动机构(I)包括一个气缸及一个真空焊接波纹管，保证其平稳的运行。
3.如权利要求1所述的一种束流检测及分析装置，接束法拉第杯(2)中装置永久磁体，其特征在于保障接束法拉第杯(2)在检测到束流精确值的同时还能起到对束流的聚焦作用。
4.如权利要求1所述的一种束流检测及分析装置，光栏运动机构(3)由一电机及两个传动块组成，其特征在于可控制光栏双向运动的距离大小。
5.如权利要求1所述的一种束流检测及分析装置，分析光栏(4)能限制束流的宽度，起到分析束流的作用，其特征在于:分析光栏(4)可双向同时等距离调节光栏的宽度。
6.如权利要求1所述的一种束流检测及分析装置，其特征在于:水冷却模块(5)可通过外围供水来转换到此束流检测及分析装置上，保障其装置的冷却及稳定性。
【专利摘要】本发明公开了一种束流检测及分析装置，包括：法拉第传动机构(1)、接束法拉第杯(2)、光栏运动机构(3)、分析光栏(4)、水冷却模块(5)，其中法拉第传动机构(1)负责接束法拉第杯(2)的快速平缓运动；光栏运动机构(3)引导分析光栏(4)的双方向等距运动；水冷却模块(5)冷却整个流检测及分析装置。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
【IPC分类】H01J37-244
【公开号】CN104576272
【申请号】CN201310507655
【发明人】李幸夫
【申请人】北京中科信电子装备有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年10月24日