一种提升光伏电池转换效率的方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种提升光伏电池转换效率的方法，属于光伏技术领域。
【背景技术】
[0002] 随着现代工业化的发展，不可再生能源日益减少，能源问题越来越成为制约国际 社会经济发展的瓶颈，很多国家开始实行"阳光计划"，开发太阳能资源，为经济发展提供新 的发展动力。在国际光伏市场巨大潜力的推动下，各国的太阳能电池制造商不仅竞相投入 巨资，扩大生产，还纷纷建立研发机构，研发新的太阳能电池项目，提高产品的质量和转换 效率。
[0003] 在竞争激烈的光伏行业，提高转换效率和降低生产成本成为光伏制造商的两大核 心目标。尤其是，光伏制造商可以通过光伏产品更高的光电转换效率拓宽市场，降低成本， 为企业带来更大的利润。
【发明内容】
[0004] 本发明的目的在于提供一种提升光伏电池转换效率的方法，通过增加扩散沉积步 氧气和小氮气比例，提升光伏电池转换效率，为了扩散后方阻的均匀性不降低，同等比例地 增加小氮气和氧气的流量，提升了产品竞争力。
[0005] -种提升光伏电池转换效率的方法，使用的硅片是电阻率为0. 5~3 Ω cm的 156mmX 156mm规格的P型多晶硅片，常规酸制绒后再进行扩散，使用的扩散炉为荷兰的 TEMPRESS，具体步骤为： (1) 进入：温度815 °C，大队流量5 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力15 Pa，时间 8 min ; (2) 进桨：温度815 °C，大队流量5 slm，0 2流量0 sccm，小N 2流量0 sccm，压力15 Pa，时间 8 min ; (3) 检漏：温度815 °(：，大队流量6.5 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力-200 Pa，时间 5 min ; (4) 升温：温度815 °C，大N2流量9.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力10 Pa，时间 15 min ; (5) 前氧化：温度805 °C，大队流量12. 0 slm，0 2流量1000 sccm，小N 2流量0 sccm， 压力10 Pa，时间2 min ; (6) 沉积：温度805 °C，大N2流量12. 0 slm，0 2流量2. 0 slm，小N 2流量2. 0 slm，压力 10 Pa，时间 15 min ; (7) 后氧化：温度825 °C，大队流量12. 0 slm，0 2流量500 sccm，小N 2流量50 sccm， 压力10 Pa，时间8 min ; (8) 推进：温度845 °C，大队流量12. 0 slm，0 2流量4500 sccm，小N 2流量0 sccm，压 力 10 Pa，时间 9 min ; (9) 冷却：温度800 °C，大N2流量12.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力10 Pa，时间 1 min ; (10) 进桨：温度800 °C，大N2流量5.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力5 Pa，时间 8 min ; (11) 退出：温度800 °C，大N2流量5.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力5 Pa，时间 13 min。
[0006] 本发明的优点为：优化沉积步氧气和小氮气的比例、温度等，提升多晶硅电池的转 换效率，扩散后方阻通过四探针测试为85~105 Ω/ □，光伏转换效率可提升约〇. 1%。
【具体实施方式】
[0007] 以下所述的仅是本发明所公开的一种提升光伏电池转换效率的优选实施方式，应 当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所创造构思的前提下，还可以做 出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
[0008] 实施例： 一种提升光伏电池转换效率的方法，使用的娃片是电阻率为〇. 5~3 Ω cm的 156mmX 156mm规格的P型多晶硅片，常规酸制绒后再进行扩散，使用的扩散炉为荷兰的 TEMPRESS，具体步骤为： (1) 进入：温度815 °C，大N2流量5 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力15 Pa，时间 8 min ; (2) 进桨：温度815 °C，大N2流量5 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力15 Pa，时间 8 min ; (3) 检漏：温度815 °(：，大队流量6.5 slm，02流量0 sccm"J、N2流量0 sccm，压力-200 Pa，时间 5 min ; (4) 升温：温度815 °C，大N2流量9.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力10 Pa，时间 15 min ; (5) 前氧化：温度805。匕大队流量12.0 slm，02流量1000 sccm"j、N2流量0 sccm， 压力10 Pa，时间2 min ; (6) 沉积：温度805 °C，大N2流量12.0 slm，02流量2.0 slm，小N2流量2.0 slm，压力 10 Pa，时间 15 min ; (7) 后氧化：温度825。匕大队流量12.0 slm，02流量500 sccm"j、N2流量50 sccm， 压力10 Pa，时间8 min ; (8) 推进：温度845。匕大队流量12.0 slm，02流量4500 sccm"j、N2流量0 sccm，压 力 10 Pa，时间 9 min ; (9) 冷却：温度800 °C，大N2流量12.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力10 Pa，时间 1 min ; (10) 进桨：温度800 °C，大N2流量5.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力5 Pa，时间 8 min ; (11) 退出：温度800 °C，大N2流量5.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力5 Pa，时间 13 min。
[0009] 对比例； 传统扩散工艺的具体步骤为： (1) 进入：温度810 °C，大N2流量5 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力15 Pa，时间 8 min ; (2) 进桨：温度810 °C，大N2流量5 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力15 Pa，时间 8 min ; (3) 检漏：温度810 °(：，大队流量6.5 slm，02流量0 sccm"J、N2流量0 sccm，压力-200 Pa，时间 5 min ; (4) 升温：温度810 °C，大N2流量9.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力10 Pa，时间 15 min ; (5) 前氧化：温度800。匕大队流量12.0 slm，02流量1000 sccm"j、N2流量0 sccm， 压力10 Pa，时间2 min ; (6) 沉积：温度800。匕大队流量12.0 slm，02流量350 sccm"j、N2流量950 sccm，压 力 10 Pa，时间 15 min ; (7) 后氧化：温度820。匕大队流量12.0 slm，02流量500 sccm"j、N2流量50 sccm， 压力10 Pa，时间8 min ; (8) 推进：温度840。匕大队流量12.0 slm，02流量4500 sccm"j、N2流量0 sccm，压 力 10 Pa，时间 9 min ; (9) 冷却：温度800 °C，大N2流量12.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力10 Pa，时间 1 min ; (10) 进桨：温度800 °C，大N2流量5.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力5 Pa，时间 8 min ; (11) 退出：温度800 °C，大N2流量5.0 slm，02流量0 sccm，小N2流量0 sccm，压力5 Pa，时间 13 min。
[0010] 采用相同的硅片原料：P型多晶硅片，电阻率0.5~3 Ω _cm，各选1200片分别进行 常规的清洗制绒，分别采用本发明的实施例和对比例，后续工艺均采用常规工艺进行生产， 对比最终电性能参数。扩散后方阻均为85~105 Ω/口.
从上述数据可以看出，本发明的转换效率比传统工艺高约〇. 1%，开压、短路电流和填充 因子均有提升。
【主权项】
1.一种提升光伏电池转换效率的方法，使用的硅片是电阻率为0.5~3 Ω cm的 156mmX156mm规格的P型多晶硅片，常规酸制绒后再进行扩散，使用的扩散炉为荷兰的 TEMPRESS，其特征为：具体步骤为： (1) 进入：温度815 °C，大N2流量5slm，02流量0sccm，小N2流量0sccm，压力15 Pa，时间 8min; (2) 进桨：温度815 °C，大N2流量5slm，02流量0sccm，小N2流量0sccm，压力15 Pa，时间 8min; (3) 检漏：温度815 °(：，大队流量6.5slm，02流量0sccm"J、N2流量0sccm，压力-200Pa，时间 5min; (4) 升温：温度815 °C，大N2流量9.0slm，02流量0sccm，小N2流量0sccm，压力10Pa，时间 15min; (5) 前氧化：温度805。匕大队流量12.0slm，02流量1000sccm"j、N2流量0sccm， 压力10Pa，时间2min; (6) 沉积：温度805 °C，大N2流量12.0slm，02流量2.0slm，小N2流量2.0slm，压力 10Pa，时间 15min; (7) 后氧化：温度825。匕大队流量12.0slm，02流量500sccm"j、N2流量50sccm， 压力10Pa，时间8min; (8) 推进：温度845。匕大队流量12.0slm，02流量4500sccm"j、N2流量0sccm，压 力 10Pa，时间 9min; (9) 冷却：温度800 °C，大N2流量12.0slm，02流量0sccm，小N2流量0sccm，压力10 Pa，时间 1min; (10) 进桨：温度800 °C，大N2流量5.0slm，02流量0sccm，小N2流量0sccm，压力5Pa，时间 8min; (11) 退出：温度800 °C，大N2流量5.0slm，02流量0sccm，小N2流量0sccm，压力5Pa，时间 13min。
【专利摘要】本发明公开了一种提升光伏电池转换效率的方法，属于光伏技术领域。光伏电池的制造包括清洗、扩散、刻蚀、PECVD、丝印烧结等工序。本发明通过增加扩散沉积步氧气和小氮气比例，提升光伏电池转换效率。为了扩散后方阻的均匀性不降低，同等比例地增加小氮气和氧气的流量。扩散后方阻通过四探针测试为85~105Ω/□。通过本发明，光伏转换效率可提升约0.1%。
【IPC分类】H01L31/18
【公开号】CN105261676
【申请号】CN201510761103
【发明人】曹江伟, 蒋洋洋, 王晗, 易敏华
【申请人】江西展宇新能源股份有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年11月10日