一种测试设备及测试方法
【专利摘要】本发明提供一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，包括：用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。本发明还提供一种测试方法。本发明提供的测试设备及测试方法基于显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，可精确的确认定位标记的位置信息，以解决定位标记被误抓的问题。
【专利说明】
_种测试设备及测试方法
技术领域
[0001 ]本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种测试设备及测试方法。
【背景技术】
[0002]在显示器制造工艺流程中，定位标记(Mask)制作完成后会有整体尺寸精度(TP:Total Pitch)检测及关键线宽(CD)检测。上述通常基于TP⑶设备(机台)实现。在TP以及⑶检测过程中，需要建立很精准的坐标系并定位到所要量测的每个位置。
[0003]现有TP及CD的量测机台多是利用镜头拍照的方式进行Mark抓取即位置信息确定并建立坐标系。而这种通过拍照获取Mask位置信息的方式存在一定的技术缺陷，即若当前层为不透光层，则被当前层覆盖的Mark就很容易被误抓。例如若Mark制作于遮光层(LS)，而在遮光层上制备多晶硅图层(Poly)之后需要进行CD或者图层重合性(Overlay)量测时，需要通过拍照的方式获取Mask的位置形态信息，则由于多晶硅图层不透光，导致镜头给Mask拍照光线被反射回来，以至于很难确定Mask的轮廓，出现Mark被误抓的情况，导致建立的坐标系不精准，以致于不能很好地测量所要量测的位置。
【发明内容】
[0004]本发明提供一种测试设备及测试方法，解决定位标记被误抓的问题。
[0005]本发明提供方案如下:一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，包括:
[0006]用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；
[0007]用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。
[0008]进一步的，所述图层高度测量器件包括:
[0009]用于向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号的发射器；
[0010]用于接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号的接收器；
[0011]用于基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射器发射所述第一测量信号的第一时间与接收器接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值；
[0012]所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息。
[0013]进一步的，所述测量信号为光波信号、声波信号中的至少一种。
[0014]进一步的，所述测量信号为激光。
[0015]进一步的，所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；
[0016]所述位置确定器件基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。
[0017]进一步的，测试设备还包括:
[0018]用于带动所述图层高度测量器件在所述待测显示基板上方移动的移动部件，所述图层高度测量器件与所述移动部件固定连接。
[0019]进一步的，测试设备还包括:
[0020]用于承载待测显示基板的机台。
[0021 ]进一步的，测试设备还包括:
[0022]用于基于所述位置确定器件确定的定位标记位置信息构建以待测显示基板中心为原点的坐标系的坐标构建器件。
[0023]进一步的，所述测试设备为TP⑶设备。
[0024]本发明还提供一种测试方法，包括:
[0025]测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息；
[0026]基于所述高度信息确定定位标记位置信息。
[0027]进一步的，所述测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息包括:
[0028]向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号；
[0029]接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号；
[0030]基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射所述第一测量信号的第一时间与接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值。
[0031 ]进一步的，所述基于所述高度信息确定定位标记位置信息包括:
[0032]基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置?目息O
[0033]进一步的，所述基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息包括:
[0034]基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；
[0035]基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。
[0036]进一步的，所述基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息具体包括:
[0037]沿第一方向扫描确显示基板认定位标记的第一边界；
[0038]沿与所述第一方向具有夹角的第二方向扫描显示基板确认定位标记的第二边界。
[0039]进一步的，所述基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息具体包括:
[0040]根据所述第一边界获得定位标记在所述第一方向的第一中心线；
[0041]根据所述第二边界获得定位标记在所述第二方向的第二中心线；
[0042]基于所述第一中心线和所述第二中心线确定所述定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述第一中心线和所述第二中心线的交点的位置信息。
[0043]进一步的，测试方法还包括:
[0044]基于所述定位标记位置信息构建以待测显示基板中心为原点的坐标系。
[0045]从以上所述可以看出，本发明提供的测试设备及测试方法基于显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，可精确的确认定位标记的位置信息，以解决定位标记被误抓的问题。
【附图说明】
[0046]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0047]图1表示本发明实施例中确定定位标记位置信息原理示意图；
[0048]图2表示本发明实施例中测试设备结构示意图；
[0049]图3表示本发明实施例中定位标记中心点确认原理示意图。
【具体实施方式】
[0050]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0051]除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
[0052]为了解决定位标记被误抓的问题，本实施例提供一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，包括:
[0053]用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；
[0054]用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。
[0055]由于显示基板上设置Mark的位置与显示基板上未设置Mark的位置对应的膜层是不一样的，其厚度不一样，因此，图层高度测量器件和位置确定器件相配合、基于显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，采用这样的方式确认定位标记的位置信息，即使当前层为不透光层，被当前层覆盖的Mark也会被精确的检测到，避免定位标记被误抓。
[0056]所述图层高度测量器件的具体结构形式可以有多种，只要实现测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息即可，本实施例中，所述图层高度测量器件包括:
[0057]用于向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号的发射器；
[0058]用于接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号的接收器；
[0059]用于基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射器发射所述第一测量信号的第一时间与接收器接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值；
[0060]所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息。
[0061]进一步的，所述测量信号为光波信号、声波信号中的至少一种。
[0062]优选的，所述测量信号为激光。
[0063]如图1所示，定位标记制作于遮光层(LS)，而在遮光层上制备多晶硅图层(Poly)，之后需要进行CD或者图层重合性(Overlay)量测时，发射器向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号，图1中箭头表示第一测量信号，接收器接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号，信号处理器根据测量信号的传输时间，即发射器发射所述第一测量信号的第一时间与接收器接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度差值，所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息。
[0064]所述位置确定器件的具体结构形式可以有多种，只要实现定位标记位置信息的确定即可，本实施例中，所述位置确定器件包括:定位标记边界信息确定单元，用于基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；
[0065]定位标记中心点信息确定单元，用于基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。
[0066]本实施例中，为了便于快速的检测到待测显示基板上的定位标记，测试设备还包括:
[0067]用于带动所述图层高度测量器件在所述待测显示基板上方移动的移动部件，所述图层高度测量器件与所述移动部件固定连接。
[0068]进一步的，测试设备还包括:
[0069]用于承载待测显示基板的机台。
[0070]优选的，测试设备还包括:
[0071]用于基于所述位置确定器件确定的定位标记位置信息构建以待测显示基板中心为原点的坐标系的坐标构建器件。
[0072]进一步的，所述测试设备为TP⑶设备。
[0073]以下具体介绍定位标记量测的过程。
[0074]如图2所示，待测显示基板20上有四个定位标记3，将图层高度测量器件4与承载待测显示基板20的机台10绑定，利用机台10固有的机械坐标，移动部件带动图层高度测量器件4移动至待测显示基板20上的待检测的四个定位标记3中的一个定位标记区域，通过发射器发射的激光对Mark区域进行扫描。
[0075]发射器发射激光(第一测量信号)到待测显示基板20上，有一部分激光被反射回来，由于膜层厚度不同，通过接收器接收所述第一测量信号经所述待测显示基板20上定位标记3所在区域反射后生成的第二测量信号，信号处理器根据测量信号的传输时间，即发射器发射所述第一测量信号的第一时间与接收器接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值，确定待测显示基板20上定位标记3所在区域不同位置处的图层高度差值。
[0076]如图3所示，定位标记边界信息确定单元通过激光横向扫描及竖向扫描确认Mark的竖向及横向的边界(AF、BE、CH、DG边)，移动部件带动图层高度测量器件4横向移动，定位标记边界信息确定单元根据图层高度测量器件4获得的图层高度差值确定定位标记3的第一边界31(即AF、BE边)，移动部件带动图层高度测量器件4竖向移动，定位标记边界信息确定单元根据图层高度测量器件4获得的图层高度差值确定单元确定定位标记3的第二边界32(即CH、DG边)，定位标记中心点信息确定单元通过AF&BE边计算横向中心线(b线)，且位置确定器件5中的定位标记中心点信息确定单元通过CH、DG边计算竖向中心线(a线)，横向中心线与竖向中心线交点(O点)S卩SMark中心点(此中心点对应机台1机械坐标的某一值)，以此类推，定义待测显示基板20上的另外三个定位标记的中心点，坐标构建器件通过这四个定位标记各自的中心点信息建立一个以待测显示基板中心点为原点的坐标系，从而进行待测显示基板各位置准确的量测。
[0077]本发明实施例提供的测试设备通过利用显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，达到减少在定位标记(Mask)制作完成后整体尺寸精度(TP:Total Pitch)检测及关键线宽(CD)检测过程中出现误测的目的，从而解决由于误测导致的不能准确反馈产品工艺状况的问题，同时，也解决了由于误测所不能对后续产品准确做Feedback (反馈)的问题。
[0078]本发明还提供一种测试方法，包括:
[0079]测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息；
[0080]基于所述高度信息确定定位标记位置信息。
[0081 ]进一步的，所述测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息包括:
[0082]向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号；
[0083]接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号；
[0084]基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射所述第一测量信号的第一时间与接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值。
[0085]进一步的，所述基于所述高度信息确定定位标记位置信息包括:
[0086]基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置?目息O
[0087]进一步的，所述基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息包括:
[0088]基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；
[0089]基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。
[0090]进一步的，所述“基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息”具体包括:
[0091]沿第一方向扫描确显示基板认定位标记的第一边界；
[0092]沿与所述第一方向具有夹角的第二方向扫描显示基板确认定位标记的第二边界。
[0093]优选的，所述第一方向与所述第二方向之间的夹角为90度。
[0094]如图3所示，所述第一方向为图示的与显示基板的横向方向平行的方向，所述第二方向与图示的与显示基板的竖向方向相平行的方向。
[0095]进一步的，所述“基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息”具体包括:
[0096]根据所述第一边界获得定位标记在所述第一方向的第一中心线；
[0097]根据所述第二边界获得定位标记在所述第二方向的第二中心线；
[0098]基于所述第一中心线和所述第二中心线确定所述定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述第一中心线和所述第二中心线的交点的位置信息。
[0099]进一步的，测试方法还包括:
[0100]基于所述定位标记位置信息构建以待测显示基板中心为原点的坐标系。
[0101]具体的，如图3所示，定位标记边界信息确定单元通过激光横向扫描及竖向扫描确认Mark的竖向及横向的边界(AF、BE、CH、DG边)，移动部件带动图层高度测量器件4横向移动，定位标记边界信息确定单元根据图层高度测量器件4获得的图层高度差值确定定位标记3的第一边界31(即AF、BE边)，移动部件带动图层高度测量器件4竖向移动，定位标记边界信息确定单元根据图层高度测量器件4获得的图层高度差值确定单元确定定位标记3的第二边界32(即CH、DG边)，定位标记中心点信息确定单元通过AF&BE边计算横向中心线(b线)，且位置确定器件5中的定位标记中心点信息确定单元通过CH、DG边计算竖向中心线(a线)，横向中心线与竖向中心线交点(O点)S卩SMark中心点(此中心点对应机台1机械坐标的某一值)，以此类推，定义待测显示基板20上的另外三个定位标记的中心点，坐标构建器件通过这四个定位标记各自的的中心点信息建立一个以待测显示基板中心点为原点的坐标系，从而进行待测显示基板各位置准确的量测。
[0102]本发明实施例提供的测试设备通过利用显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，达到减少在定位标记(Mask)制作完成后整体尺寸精度(TP:Total Pitch)检测及关键线宽(CD)检测过程中出现误测的目的，从而解决由于误测导致的不能准确反馈产品工艺状况的问题，同时，也解决了由于误测所不能对后续产品准确做Feedback (反馈)的问题。
[0103]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，其特征在于，包括: 用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件； 用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。2.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述图层高度测量器件包括: 用于向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号的发射器； 用于接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号的接收器； 用于基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射器发射所述第一测量信号的第一时间与接收器接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值； 所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息。3.如权利要求2所述的测试设备，其特征在于，所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息； 所述位置确定器件基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。4.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，还包括: 用于带动所述图层高度测量器件在所述待测显示基板上方移动的移动部件，所述图层高度测量器件与所述移动部件固定连接； 用于承载待测显示基板的机台。5.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，还包括: 用于基于所述位置确定器件确定的定位标记位置信息构建以待测显示基板中心为原点的坐标系的坐标构建器件。6.一种测试方法，其特征在于，包括: 测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息； 基于所述高度信息确定定位标记位置信息。7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息包括: 向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号； 接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号； 基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射所述第一测量信号的第一时间与接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值。8.如权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述基于所述高度信息确定定位标记位置信息包括: 基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息。9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息包括: 基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息具体包括: 沿第一方向扫描确显示基板认定位标记的第一边界； 沿与所述第一方向具有夹角的第二方向扫描显示基板确认定位标记的第二边界。11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息具体包括: 根据所述第一边界获得定位标记在所述第一方向的第一中心线； 根据所述第二边界获得定位标记在所述第二方向的第二中心线； 基于所述第一中心线和所述第二中心线确定所述定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述第一中心线和所述第二中心线的交点的位置信息。12.如权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括: 基于所述定位标记位置信息构建以待测显示基板中心为原点的坐标系。
【文档编号】H01L23/544GK105845596SQ201610251453
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年4月21日
【发明人】王文涛, 杨璐, 徐海峰, 司晓文
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司