一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极的制作方法
【专利摘要】一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足等离子体长度微调的要求，操作难度大的问题。本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括放电电极、主放电电极、锁紧螺母、压圈和接线端子，预放电电极为圆筒形结构，主放电电极的一端为圆锥体，中部为一号圆柱体，另一端为二号圆柱体，接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中，二号圆柱体的一个底面为其一端的端面，其另一端设置在圆筒形结构内，两者螺纹连接，并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。
【专利说明】
一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极
技术领域
[0001]本发明涉及一种毛细管放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。
【背景技术】
[0002]在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，呈Z箍缩状态的等离子体的长度决定了其自身的阻抗特性，呈Z箍缩状态的等离子体的长度等于设置在毛细管两端的两个电极的间距；
[0003]主放电电源脉冲压缩的第三级向毛细管放电、释放能量的效率，与主放电电源脉冲压缩的第三级和毛细管中等离子体的阻抗特性匹配程度成正比，因此在装置联调时，常常需要微调等离子体的长度，以使其阻抗特性与主放电电源脉冲压缩的第三级的阻抗特性更加匹配；
[0004]现有微调等离子体长度的方法为更换不同长度的毛细管，但是现有毛细管的长度有固定的规格，很难满足微调的要求，而且更换毛细管的操作难度较大。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是为了解决在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足等离子体长度微调的要求，操作难度大的问题，从而提出了一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极。
[0006]本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括预放电电极1、主放电电极2、锁紧螺母3、压圈4和接线端子5;
[0007]预放电电极I是高20毫米、外径为10毫米、内径为5.56毫米的圆筒形结构，该圆筒形结构的一端的内表面上设置有长9毫米、尺寸为M6X0.5的螺纹，其一端的外表面上设置有长3毫米、尺寸为Ml O X 0.75的螺纹；
[0008]主放电电极2的一端为圆锥体6，中部为一号圆柱体7，另一端为二号圆柱体8，圆锥体6、一号圆柱体7和二号圆柱体8同轴且固定设置，圆锥体6的高为4.3毫米，底面直径为5毫米，一号圆柱体7的高为12.7毫米，底面直径为5毫米，二号圆柱体8的高度为19.5毫米，底面直径为6毫米，在二号圆柱体8的侧面上设置有长19.5毫米，尺寸为M6 X0.5的螺纹，在二号圆柱体8的一个底面上设置有深5.5毫米、内径为3毫米的凹孔9;
[0009]锁紧螺母3的厚度为5.5毫米，其一端的内表面上设置有长3毫米、尺寸为MlO X
0.75的螺纹，其另一端的内表面上设置有长2毫米的M6螺纹；
[0010]压圈4的厚度为5毫米，其一端的内表面上设置有长2毫米、尺寸为M6X0.5的螺纹，其另一端上设置有深2毫米、直径为3.2毫米的通孔；
[0011]接线端子5的一端为高4毫米、直径为3毫米的三号圆柱体10，中部为高1.5毫米、直径为5毫米的四号圆柱体11，另一端为高7毫米、直径3毫米的五号圆柱体12，所述的三号圆柱体10、四号圆柱体11和五号圆柱体12同轴且固定设置；
[0012]二号圆柱体8与圆筒形结构螺纹连接，锁紧螺母3同时与二号圆柱体8和圆筒形结构螺纹连接，压圈4通过与二号圆柱体8的一端螺纹连接，使三号圆柱体10固定设置在凹孔9中；
[0013]五号圆柱体12通过导线与所述极紫外光刻光源的脉冲电源的输出端连接。
[0014]当需要调整放置在毛细管一端的主放电电极与放置在毛细管另一端的电极的间距时，先断电，拧下压圈4，取出接线端子5，拧下锁紧螺母3，通过旋转主放电电极2，使其与预放电电极的相对位置发生改变，从而调整主放电电极2与放置在毛细管另一端的电极的间距，在调整完毕以后，先通过锁紧螺母3将预放电电极I与主放电电极2固定，再将安装接线端子5安装在凹孔9中，并用压圈4固定。
[0015]本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，通过改变主放电电极与预放电电极的相对位置，不仅能够实现对毛细管中等离子体长度的微调，提高能量转移的效率，优化极紫外光的输出，而且操作简单。
【附图说明】
[0016]图1是实施方式一所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极的整体装配图；
[0017]图2是实施方式一中预放电电极的结构示意图；
[0018]图3是实施方式一中主放电电极的结构示意图；
[0019]图4是实施方式一中锁紧螺母的结构示意图；
[0020]图5是实施方式一中压圈的结构不意图；
[0021 ]图6是实施方式一中接线端子的结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]【具体实施方式】一:结合图1至图6说明本实施方式，本实施方式所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括预放电电极1、主放电电极2、锁紧螺母3、压圈4和接线端子5;
[0023]预放电电极I是高20毫米、外径为10毫米、内径为5.56毫米的圆筒形结构，该圆筒形结构的一端的内表面上设置有长9毫米、尺寸为M6X0.5的螺纹，其一端的外表面上设置有长3毫米、尺寸为Ml O X 0.75的螺纹；
[0024]主放电电极2的一端为圆锥体6，中部为一号圆柱体7，另一端为二号圆柱体8，圆锥体6、一号圆柱体7和二号圆柱体8同轴且固定设置，圆锥体6的高为4.3毫米，底面直径为5毫米，一号圆柱体7的高为12.7毫米，底面直径为5毫米，二号圆柱体8的高度为19.5毫米，底面直径为6毫米，在二号圆柱体8的侧面上设置有长19.5毫米，尺寸为M6 X0.5的螺纹，在二号圆柱体8的一个底面上设置有深5.5毫米、内径为3毫米的凹孔9;
[0025]锁紧螺母3的厚度为5.5毫米，其一端的内表面上设置有长3毫米、尺寸为MlO X
0.75的螺纹，其另一端的内表面上设置有长2毫米的M6螺纹；
[0026]压圈4的厚度为5毫米，其一端的内表面上设置有长2毫米、尺寸为M6X 0.5的螺纹，其另一端上设置有深2毫米、直径为3.2毫米的通孔；
[0027]接线端子5的一端为高4毫米、直径为3毫米的三号圆柱体10，中部为高1.5毫米、直径为5毫米的四号圆柱体11，另一端为高7毫米、直径3毫米的五号圆柱体12，所述的三号圆柱体10、四号圆柱体11和五号圆柱体12同轴且固定设置；
[0028]二号圆柱体8与圆筒形结构螺纹连接，锁紧螺母3同时与二号圆柱体8和圆筒形结构螺纹连接，压圈4通过与二号圆柱体8的一端螺纹连接，使三号圆柱体10固定设置在凹孔9中；
[0029]五号圆柱体12通过导线与所述极紫外光刻光源的脉冲电源的输出端连接。
[0030]【具体实施方式】二:本实施方式是对实施方式一所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极的进一步限定，五号圆柱体12与导线焊接。
【主权项】
1.一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，其特征在于，该放电电极包括预放电电极(I)、主放电电极(2)、锁紧螺母(3)、压圈(4)和接线端子(5); 预放电电极(I)是高20毫米、外径为10毫米、内径为5.56毫米的圆筒形结构，该圆筒形结构的一端的内表面上设置有长9毫米、尺寸为M6X0.5的螺纹，其一端的外表面上设置有长3毫米、尺寸为Ml O X 0.75的螺纹； 主放电电极(2)的一端为圆锥体(6)，中部为一号圆柱体(7)，另一端为二号圆柱体(8)，圆锥体(6)、一号圆柱体(7)和二号圆柱体(8)同轴且固定设置，圆锥体(6)的高为4.3毫米，底面直径为5毫米，一号圆柱体(7)的高为12.7毫米，底面直径为5毫米，二号圆柱体(8)的高度为19.5毫米，底面直径为6毫米，在二号圆柱体(8)的侧面上设置有长19.5毫米，尺寸为M6X0.5的螺纹，在二号圆柱体(8)的一个底面上设置有深5.5毫米、内径为3毫米的凹孔(9); 锁紧螺母(3)的厚度为5.5毫米，其一端的内表面上设置有长3毫米、尺寸为M10X0.75的螺纹，其另一端的内表面上设置有长2毫米的M6螺纹； 压圈(4)的厚度为5毫米，其一端的内表面上设置有长2毫米、尺寸为M6X0.5的螺纹，其另一端上设置有深2毫米、直径为3.2毫米的通孔； 接线端子(5)的一端为高4毫米、直径为3毫米的三号圆柱体(10)，中部为高1.5毫米、直径为5毫米的四号圆柱体(11)，另一端为高7毫米、直径3毫米的五号圆柱体(12)，所述的三号圆柱体(10)、四号圆柱体(11)和五号圆柱体(12)同轴且固定设置； 二号圆柱体(8)与圆筒形结构螺纹连接，锁紧螺母(3)同时与二号圆柱体(8)和圆筒形结构螺纹连接，压圈(4)通过与二号圆柱体(8)的一端螺纹连接，使三号圆柱体(10)固定设置在凹孔(9)中； 五号圆柱体(12)通过导线与所述极紫外光刻光源的脉冲电源的输出端连接。2.根据权利要求1所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，其特征在于，五号圆柱体(12)与导线焊接。
【文档编号】H01J61/06GK105895497SQ201610378862
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年5月31日
【发明人】徐强, 赵永蓬, 王骐
【申请人】哈尔滨工业大学