一种硅片推片装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硅片推片装置，属于太阳能光伏设备技术领域。
【背景技术】
[0002]21世纪以来，全球能源消费急剧攀升，传统化石能源日益枯竭，能源问题和环境问题逐渐成为全球关注的两大重点问题。迫于可持续发展的压力，各主要国家纷纷将太阳能光伏产业列入可再生能源开发利用的重点。伴随着我国成为世界第二经济体，2013年10月，中国10月石油进口量达到每日630万桶，超过美国的每日624万桶，首次取代美国成为全球最大石油净进口国。2013年，中国石油和天然气的对外依存度分别达到58.1%和31.6%，中国已成为全球第三大天然气消费国。传统化石能源已越来越难以满足我国国民经济的旺盛需求。在过去的20年中全球大约有75%左右的人为二氧化碳排放量来源于化石燃料燃烧。因此，不管是从低碳环保的能源发展角度，还是顺应我国产业结构升级与转型压力，我国必须加快发展新能源产业。
[0003]太阳能属于清洁可再生能源。根据欧盟委员会提出的“欧洲可再生能源技术战略计划”，到2020年，太阳能将占欧盟电力需求的15%。2010年，美国能源部制定规划，计划到2030年，太阳能占总能源消费量的10%?15%。从世界范围内的太阳能和潮汐能合计净发电量看，中国为30亿千瓦时，德国为190亿干瓦时，意大利为107亿干瓦时，西班牙为91亿千瓦时，日本为38亿千瓦时。未来我国水电增长空间有限，核能存在不安全因素。化石能源受节能减排约束成本将上升，太阳能光伏发电的市场前景广阔。
[0004]在晶体硅片加工过程中，需要用硅片承载盘进行转运。硅片承载盘包括一截面为矩形的壳体，壳体的一对侧壁上设有多个娃片插槽，娃片在转运时即插设在娃片插槽内，当硅片转运到目的地使用时，需要将硅片从硅片承载盘取出。因此，有必要设计一种硅片推片
目.ο
【发明内容】
[0005]本实用新型提供供一种硅片推片装置。
[0006]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种硅片推片装置，包括推送机构和承载盒输送机构；所述推送机构包括一推送机构支架、推杆和推杆固定部；所述推送机构支架的顶部设有一主动皮带轮和一从动皮带轮，所述主动皮带轮和从动皮带轮上套设有闭环的皮带，所述主动皮带轮的转轴与一驱动马达的输出轴驱动连接；所述推杆一端固定在推杆固定部上，另一端为自由端，所述推杆固定部与皮带固接；所述推送机构支架的顶部沿主动皮带轮和从动皮带轮连线的方向设有推杆固定部导轨，所述推杆固定部滑动支撑于所述推杆固定部导轨上；所述承载盒输送机构包括水平设置的负载承载盒输送带、水平设置的硅片输送带和升降平台；所述负载承载盒输送带和硅片输送带成夹角设置，所述升降平台位于所述负载承载盒输送带和硅片输送带的夹角处；所述升降平台作用有竖向移动驱动装置。
[0007]优选的技术方案为:所述负载承载盒输送带设置在一安装架上，该安装架水平滑动设置在安装架导轨上，所述安装架作用有安装架水平移动驱动缸，所述安装架导轨朝向所述升降平台方向设置。
[0008]优选的技术方案为:所述安装架在位于负载承载盒输送带的下方设有空载承载盒输送带。
[0009]优选的技术方案为:所述推送机构支架的顶部设有导板，该导板开设有导孔，所述推杆插设在所述导孔内。
[0010]优选的技术方案为:所述推杆的自由端的端部设有推片凹部。
[0011]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
[0012]本实用新型的推送机构和承载盒输送机构联合，实现在承载盒内取出硅片，具有操作方便的优点。
【附图说明】
[0013]附图1为硅片推片装置用承载盒输送机构示意图。
[0014]附图2为硅片推片装置用承载盒输送机构侧视示意图。
[0015]附图3为硅片推片装置用承载盒输送机构立体示意图一。
[0016]附图4为硅片推片装置用承载盒输送机构立体示意图二。
[0017]附图5为硅片推片装置用推送机构示意图。
[0018]附图6为硅片推片装置用推送机构立体示意图。
[0019]以上附图中，1、推送机构支架；2、推杆；3、推杆固定部；4、主动皮带轮；5、从动皮带轮；6、皮带；7、驱动马达；8、推杆固定部导轨；9、导板；10、推片凹部；11、负载承载盒输送带；12、硅片输送带；13、升降平台；14、承载盒；15、安装架；16、安装架导轨；17、安装架水平移动驱动缸；18、空载承载盒输送带；19、竖向移动驱动装置；20、推送机构。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0021]须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
[0022]实施例:一种硅片推片装置
[0023]参见附图1?附图6所示，一种硅片推片装置，包括推送机构20和承载盒输送机构。
[0024]参见附图5?附图6所示，所述推送机构20包括一推送机构支架1、推杆2和推杆固定部3 ;所述推送机构支架I的顶部设有一主动皮带轮4和一从动皮带轮5，所述主动皮带轮4和从动皮带轮5上套设有闭环的皮带6，所述主动皮带轮4的转轴与驱动马达7的输出轴驱动连接；所述推杆2 —端固定在推杆固定部3上，另一端为自由端，所述推杆固定部3与皮带6固接；所述推送机构支架I的顶部沿主动皮带轮4和从动皮带轮5连线的方向设有推杆固定部导轨8，所述推杆固定部3滑动支撑于所述推杆固定部导轨8上。所述推送机构支架I的顶部设有导板9，该导板9开设有导孔，所述推杆2插设在所述导孔内。所述推杆2的自由端的端部设有推片凹部10。
[0025]参见附图1?4所示，承载盒输送机构包括水平设置的负载承载盒输送带11、水平设置的硅片输送带12和升降平台13 ;所述负载承载盒输送带11和硅片输送带12成夹角设置，所述升降平台13位于所述负载承载盒输送带11和硅片输送带12的夹角处。所述升降平台作用有竖向移动驱动装置19。本实施例中，竖向移动驱动装置19采用的是伺服电机，在其它实施方式中也可采用齿轮齿条机构或者驱动缸。
[0026]所述负载承载盒输送带11设置在安装架15上，该安装架15水平滑动设置在安装架导轨16上，所述安装架15作用有安装架水平移动驱动缸17，所述安装架导轨16朝向所述升降平台13方向设置。本实施例中的安装架水平移动驱动缸17可以采用液压油缸，安装架水平移动驱动缸17的缸体固定设置，活塞杆与安装架15固定连接，所述安装架导轨16朝向所述升降平台13方向设置的目的是，安装架15带动负载承载盒输送带11在安装架水平移动驱动缸17的驱动下向升降平台13移动，或者背离升降平台13移动。所述安装架15在位于负载承载盒输送带11的下方设有空载承载盒输送带18。
[0027]操作方法:负载承载盒输送带11将负载有硅片的承载盒14向升降平台13移动，竖向移动驱动装置19动作，使升降平台13与负载承载盒输送带11保持水平，承载盒14会被送至升降平台13上，然后推送机构20将承载盒14的硅片推出至硅片输送带12上，竖向移动驱动装置19动作，使升降平台13带动承载盒14往上移动一定距离，使推送机构20的推杆推出承载盒14的硅片，循环往复以将承载盒14内的硅片清空。当承载盒14内的硅片被清空后，竖向移动驱动装置19动作动作，使升降平台13带动空载的承载盒14下移，承载盒14移至空载承载盒输送带18，被空载承载盒输送带18送出。安装架水平移动驱动缸17的作用是相对调整安装架15与升降平台13之间的距离。推送机构20的操作方法具体为:驱动马达7正转时，驱动主动皮带轮4转动，主动皮带轮4的转动带动皮带6转动，皮带6的转动带动固定在皮带6上的推杆固定部3沿着推杆固定部导轨8移动，从而带动推杆2在导板9的导孔的限位下移动，当推杆2的自由端的端部的推片凹部10接触晶体硅片的端部时，将晶体硅片从硅片承载盘推出。驱动马达7反转时，推杆2归位以进行下一次推片操作。
[0028]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种硅片推片装置，其特征在于:包括推送机构和承载盒输送机构；所述推送机构包括一推送机构支架、推杆和推杆固定部；所述推送机构支架的顶部设有一主动皮带轮和一从动皮带轮，所述主动皮带轮和从动皮带轮上套设有闭环的皮带，所述主动皮带轮的转轴与一驱动马达的输出轴驱动连接；所述推杆一端固定在推杆固定部上，另一端为自由端，所述推杆固定部与皮带固接；所述推送机构支架的顶部沿主动皮带轮和从动皮带轮连线的方向设有推杆固定部导轨，所述推杆固定部滑动支撑于所述推杆固定部导轨上；所述承载盒输送机构包括水平设置的负载承载盒输送带、水平设置的硅片输送带和升降平台；所述负载承载盒输送带和硅片输送带成夹角设置，所述升降平台位于所述负载承载盒输送带和硅片输送带的夹角处；所述升降平台作用有竖向移动驱动装置。
2.根据权利要求1所述的硅片推片装置，其特征在于:所述负载承载盒输送带设置在一安装架上，该安装架水平滑动设置在安装架导轨上，所述安装架作用有安装架水平移动驱动缸，所述安装架导轨朝向所述升降平台方向设置。
3.根据权利要求2所述的硅片推片装置，其特征在于:所述安装架在位于负载承载盒输送带的下方设有空载承载盒输送带。
4.根据权利要求1所述的硅片推片装置，其特征在于:所述推送机构支架的顶部设有导板，该导板开设有导孔，所述推杆插设在所述导孔内。
5.根据权利要求1所述的硅片推片装置，其特征在于:所述推杆的自由端的端部设有推片凹部。
【专利摘要】一种硅片推片装置，包括推送机构和承载盒输送机构；所述推送机构包括一推送机构支架、推杆和推杆固定部；所述承载盒输送机构包括水平设置的负载承载盒输送带、水平设置的硅片输送带和升降平台；所述负载承载盒输送带和硅片输送带成夹角设置，所述升降平台位于所述负载承载盒输送带和硅片输送带的夹角处；所述升降平台作用有竖向移动驱动装置。本实用新型的推送机构和承载盒输送机构联合，实现在承载盒内取出硅片，具有操作方便的优点。
【IPC分类】H01L21-677, H01L31-18
【公开号】CN204289414
【申请号】CN201420868874
【发明人】邱文良
【申请人】苏州格林电子设备有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月31日