电熔丝结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种电恪丝(Electrical Fuse，E-fuse)结构。
【背景技术】
[0002]在集成电路中，熔丝(Fuse)是指阻值可以发生大幅度改变的连接线，或者是可以熔断的连接线。最初，熔丝是冗余连接集成电路中的冗余电路，一旦检测发现集成电路具有缺陷，就利用熔丝修复或者取代有缺陷的电路。熔丝除了可以运用在冗余电路中外，还可以应用在例如自建内测技术、自修复技术、一次编程芯片、片上系统等。熔丝一般分为激光熔丝结构和电熔丝(Electrical Fuse，E-fuse)结构，随着半导体技术的发展，目前电熔丝结构已经成为了主流。
[0003]如图1所示，一般情况下，现有技术中的电熔丝结构包括熔断部分I及与熔断部分I两端相连接的两个电极2，熔断部分I可以是金属(例如铝、铜等)或者硅制成。当瞬间流过的电流较大时，或者局部温度过高时，电熔丝的熔断部分I就会熔断。在熔断部分I的两侧还设置有多个空置金属图形3，这些空置金属图形3用于确保熔断部分I有着设定的最小宽度。
[0004]但是，正如图1所示，熔断部分有着一定的长度，这就导致了熔断位置难以精确定位，从而影响了电熔丝结构的可靠性。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种电熔丝结构，能够精确控制熔断位置，提高可靠性。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种电熔丝结构，包括两个相对设置的第一金属块，一熔断部分连接两个第一金属块相向的一端，所述第一金属块的宽度大于熔断部分的宽度；两个相对设置的第二金属块，所述两个第二金属块分列于所述熔断部分两侧。
[0007]可选的，对于所述的电熔丝结构，所述熔断部分的长度大于等于0.2 μ m，所述熔断部分的宽度大于等于0.045 μ m。
[0008]可选的，对于所述的电熔丝结构，所述第一金属块的宽度与熔断部分的宽度的比大于等于1.1o
[0009]可选的，对于所述的电熔丝结构，所述第二金属块距离所述熔断部分的距离大于等于 0.07 μ m。
[0010]可选的，对于所述的电恪丝结构，所述第二金属块的宽度大于等于0.045 μπι且小于等于0.09 μ m，所述第二金属块的长度大于等于0.2 μ m。
[0011]可选的，对于所述的电熔丝结构，所述第二金属块的宽度与熔断部分的宽度的比小于等于2。
[0012]可选的，对于所述的电熔丝结构，所述电熔丝结构还包括两个第三金属块，所述第三金属块分别设置于两个第一金属块相背离的一端。
[0013]可选的，对于所述的电熔丝结构，所述第三金属块的宽度大于第一金属块的宽度。
[0014]可选的，对于所述的电熔丝结构，所述两个第二金属块中心连线经过所述熔断部分的中心。
[0015]可选的，对于所述的电熔丝结构，所述电熔丝结构还包括第四金属块，所述第四金属块分列于所属第一金属块的两侧。
[0016]本实用新型提供的电熔丝结构，包括两个相对设置的第一金属块，一熔断部分连接两个第一金属块相向的一端，两个相对设置的第二金属块，所述两个第二金属块分列于所述熔断部分两侧。在本实用新型的电熔丝结构中，由于两个第二金属块分列于所述熔断部分两侧，那么在经过OPC处理后，能够确保电熔丝的熔断部分位于两个第二金属块之间的部分具有了最小的宽度，成为最容易熔断的地方，从而保证了电熔丝在精确位置的熔断，提高了电熔丝的可靠性。
【附图说明】
[0017]图1为现有技术中的电熔丝结构的示意图；
[0018]图2为本实用新型中的电熔丝结构的示意图。
【具体实施方式】
[0019]下面将结合示意图对本实用新型的电熔丝结构进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0020]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0021]发明人认为，现有技术中存在的电熔丝结构存在着熔断位置不确定的缺陷，这会影响电熔丝结构的可靠性。而造成这一因素的主要原因是熔断部分在长度方向上比较均匀。因此，发明人大胆设想将现有结构中的空置金属图形3去除，并在这一位置引入新的图形，而且该图形在OPC过程后能够制约熔断部分有着最小的宽度，从而成为熔断的地方，也就实现了熔断位置的精确定位。
[0022]基于此，本实用新型提供一种电熔丝结构，请参考图2，包括两个相对设置的第一金属块22，一恪断部分21连接两个第一金属块22相向的一端，所述第一金属块22的宽度W2大于熔断部分21的宽度Wl ;两个相对设置的第二金属块23，所述两个第二金属块23分列于所述熔断部分21两侧。
[0023]所述两个第一金属块22、熔断部分21可以选择相同材质，例如都是金属铜等。所述第一金属块22、熔断部分21以及第二金属块23可以为同时形成。
[0024]由于第一金属块22的宽度W2大于熔断部分21的宽度W1，并且由于在熔断部分21的两侧还设置有两个第二金属块23，那么在经过OPC处理后，熔断部分21处于两个第二金属块23之间的部分将有着最小的宽度，从而成为熔断位置。较佳的，所述两个第二金属块23中心连线经过所述熔断部分21的中心。如此可以使得在经过OPC处理后，熔断部分21的中心位置的宽度最小，成为电流最密集的区域，也就最容易被熔断。
[0025]进一步的，所述第一金属块22的宽度W2与熔断部分21的宽度Wl的比大于等于1.1o而且使得所述第二金属块23的宽度W3与熔断部分21的宽度Wl的比小于等于2。
[0026]为了使制得的电熔丝结构有着较佳的性能，本实用新型对例如第一金属块22、熔断部分21、第二金属块23的长度、宽度以及间距进行了限定。优选的，这些长度、宽度以及间距按照对应工艺中的最小设计规则(Min Design Rule)进行。也就是说，根据不同工艺节点，上述长度、宽度以及间距可调。
[0027]以28nm的工艺节点为例，本实用新型的电熔丝结构，满足如下尺寸规格:
[0028]所述熔断部分21的长度LI大于等于0.2 μ m，所述熔断部分21的宽度Wl大于等于 0.045 μ m。
[0029]所述第二金属块23距离所述熔断部分21的距离D大于等于0.07 μ m。
[0030]所述第二金属块23的宽度W3大于等于0.045 μ m且小于等于0.09 μ m，所述第二金属块23的长度L3大于等于0.2 μ m。
[0031 ] 请继续参考图2，所述电熔丝结构还包括两个第三金属块25，所述第三金属块25分别设置于两个第一金属块22相背离的一端。所述第三金属块的宽度大于第一金属块的宽度。所述第三金属块25可以与其他结构相连接，以使得电熔丝结构的功能得以实现。
[0032]进一步的，所述电熔丝结构还可以包括第四金属块24，所述第四金属块24分列于所属第一金属块22的两侧。所述第四金属块24距离第一金属块22的距离大于等于第二金属块23距离熔断部分21的距离D。
[0033]对于其他工艺节点的电熔丝结构，在上述针对28nm工艺节点进行举例说明的情况下，本领域技术人员当能够直接的获得相关尺寸规格，本实用新型在此不进行一一详述。
[0034]综上所述，本实用新型提供的电熔丝结构，包括两个相对设置的第一金属块，一熔断部分连接两个第一金属块相向的一端，两个相对设置的第二金属块，所述两个第二金属块分列于所述熔断部分两侧。在本实用新型的电熔丝结构中，由于两个第二金属块分列于所述熔断部分两侧，那么在经过OPC处理后，能够确保电熔丝的熔断部分位于两个第二金属块之间的部分具有了最小的宽度，成为最容易熔断的地方，从而保证了电熔丝在精确位置的熔断，提高了电熔丝的可靠性。
[0035]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种电熔丝结构，其特征在于，包括两个相对设置的第一金属块，一熔断部分连接两个第一金属块相向的一端，所述第一金属块的宽度大于熔断部分的宽度；两个相对设置的第二金属块，所述两个第二金属块分列于所述熔断部分两侧。
2.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述熔断部分的长度大于等于0.2 μ m，所述熔断部分的宽度大于等于0.045 μ m。
3.如权利要求2所述的电熔丝结构，其特征在于，所述第一金属块的宽度与熔断部分的宽度的比大于等于1.1o
4.如权利要求2所述的电熔丝结构，其特征在于，所述第二金属块距离所述熔断部分的距离大于等于0.07 μ m0
5.如权利要求4所述的电熔丝结构，其特征在于，所述第二金属块的宽度大于等于0.045 μ m且小于等于0.09 μ m，所述第二金属块的长度大于等于0.2 μ m。
6.如权利要求5所述的电熔丝结构，其特征在于，所述第二金属块的宽度与熔断部分的宽度的比小于等于2。
7.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述电熔丝结构还包括两个第三金属块，所述第三金属块分别设置于两个第一金属块相背离的一端。
8.如权利要求7所述的电熔丝结构，其特征在于，所述第三金属块的宽度大于第一金属块的宽度。
9.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述两个第二金属块中心连线经过所述熔断部分的中心。
10.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述电熔丝结构还包括第四金属块，所述第四金属块分列于所属第一金属块的两侧。
【专利摘要】本实用新型揭示了一种电熔丝结构。包括两个相对设置的第一金属块，一熔断部分连接两个第一金属块相向的一端，两个相对设置的第二金属块，所述两个第二金属块分列于所述熔断部分两侧。在本实用新型的电熔丝结构中，由于两个第二金属块分列于所述熔断部分两侧，在经过OPC处理后，能够确保电熔丝的熔断部分位于两个第二金属块之间的部分具有了最小的宽度，成为最容易熔断的地方，从而保证了电熔丝在精确位置的熔断，提高了电熔丝的可靠性。
【IPC分类】H01L23-525
【公开号】CN204361091
【申请号】CN201520111365
【发明人】倪百兵
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2015年2月15日