一种扫描电镜样品台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，尤其适用于测试薄片型样品。
【背景技术】
[0002]现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。其中，样品台是扫描电镜设备的核心部件，其一般为铝制的圆形平台。在样品表面测试时，以薄片型样品为例，通常通过导电胶将样品粘贴于样品台面上做观察。而要对样品做截面测试，需要在样品台的四周贴上导电胶，再将样品贴于平台侧边上。
[0003]目前的扫描电镜在测试过程中，样品台可以通过连轴马达实现一定角度的旋转。以日立S4800型号为例，样品台可以最大倾斜30度左右。然而，在测试过程中，样品有掉落损坏机器的风险；尤其是当电子枪与样品台的工作距离较近时，大角度旋转有损坏仪器的风险。而在实际工作中，测试人员又希望能得到更大角度的视野范围，这种矛盾一直困扰着本领域的测试人员以及扫描电镜生产商。
[0004]此外，由于测试时需要使用导电胶，而实际上，多数导体、部分半导体与样品台(铝制)接触时，它们之间的接触电阻已经足够小了，导电性已经可以满足观察需求，完全可以直接观察而无需使用导电胶增加导电性；因此现有技术中使用导电胶存在浪费现象。
【发明内容】
[0005]本实用新型的发明目的是提供一种扫描电镜样品台。
[0006]为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是:一种扫描电镜样品台，所述样品台上设有水平放置样片的平面平台和至少2个用于夹持样片的弹性夹持机构；
[0007]所述弹性夹持机构与样品台之间具有倾斜角度，且各自的倾斜角度不同。
[0008]上文中，所述平面平台是用来水平放置样片的，以便扫描电镜对样品进行平面测试；弹性夹持机构是用来夹持样片的，并使样片与样品台之间形成倾斜，以便扫描电镜对样品做截面测试。当然，弹性夹持机构的尺寸应当大于待测样片的尺寸，以便将样品放入弹性夹持机构之中。
[0009]所述弹性夹持机构都是用来装载薄片式的样品，比如硅片、电池片、金属片等。
[0010]上述技术方案中，所述样品台上设有卡口，卡口内设有配合的卡舌，卡舌弹性连接于卡口内，构成所述弹性夹持机构。
[0011]优选的，所述卡舌的顶端设有缓冲片。这是为了更好的固定待测样品，防止样品被夹碎。
[0012]优选的，所述弹性夹持机构有6个，形成2列，每列弹性夹持机构的3个卡舌均套设于一拉杆上，卡舌与拉杆之间设有弹簧，构成弹性连接结构。
[0013]优选的，所述6个弹性夹持机构与样品台之间的倾斜角度分别为15°、30°、45。、65。、75。和 90。。
[0014]在测试过程中，可以180°转动样品台，即可实现对样品165°、150°、135°、115。、105。的测量。
[0015]优选的，所述样品台为正方形结构，边长为20~30 mm，厚度为15~20 mm。
[0016]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
[0017]1、本实用新型设计了一种新的扫描电镜样品台，通过在样品台上设置水平放置样片的平面平台和弹性夹持机构，实现了对样品的平面和斜面观察及检测；尤其适用于薄片型样品的截面和前表面检测；
[0018]2、本实用新型在样品台上设置多个不同倾斜角度的弹性夹持机构，实现了多角度观察，方便观察更多的测试细节；
[0019]3、本实用新型采用弹性夹持机构夹持样片，不仅固定牢固可靠，避免了样品掉落而损坏仪器的风险，而且还节省了导电胶耗材，节省了制样成本；
[0020]4、本实用新型的结构简单，成本较低，适于推广应用。
【附图说明】
[0021]图1是本实用新型实施例一的立体图。
[0022]图2是本实用新型实施例一中样品台去除卡舌后的立体图。
[0023]图3是本实用新型实施例一中卡舌和拉杆的组装立体图。
[0024]其中:1、样品台；2、拉杆；4、卡口 ；5、卡舌；6、平面平台。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步描述。
[0026]实施例一:
[0027]参见图1~3所示，一种扫描电镜样品台，所述样品台I上设有水平放置样片的平面平台6和6个用于夹持样片的弹性夹持机构；
[0028]所述弹性夹持机构与样品台之间具有倾斜角度，且各自的倾斜角度不同。
[0029]所述样品台上设有卡口 4，卡口内设有配合的卡舌5，卡舌弹性连接于卡口内，构成所述弹性夹持机构。
[0030]所述弹性夹持机构有6个，形成2列，每列弹性夹持机构的3个卡舌均套设于一拉杆2上，卡舌与拉杆之间设有弹簧，构成弹性连接结构。
[0031]拉杆一端带有光滑的大头螺母，这样可以为作业人员提供着力点轻松分开卡口 ；一端带有固定螺丝，保证弹簧装置位置固定。
[0032]所述6个弹性夹持机构与样品台之间的倾斜角度分别为15°、30°、45°、65°、75。和 90。ο
[0033]所述样品台为正方形结构，边长为25 mm，厚度为15 mm。
【主权项】
1.一种扫描电镜样品台，其特征在于:所述样品台(I)上设有水平放置样片的平面平台(6)和至少2个用于夹持样片的弹性夹持机构； 所述弹性夹持机构与样品台之间具有倾斜角度，且各自的倾斜角度不同。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于:所述样品台上设有卡口(4)，卡口内设有配合的卡舌(5)，卡舌弹性连接于卡口内，构成所述弹性夹持机构。
3.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台，其特征在于:所述卡舌的顶端设有缓冲片。
4.根据权利要求1或2所述的扫描电镜样品台，其特征在于:所述弹性夹持机构有6个，形成2列，每列弹性夹持机构的3个卡舌均套设于一拉杆(2)上，卡舌与拉杆之间设有弹簧，构成弹性连接结构。
5.根据权利要求4所述的扫描电镜样品台，其特征在于:所述6个弹性夹持机构与样品台之间的倾斜角度分别为15°、30°、45°、65°、75°和90°。
6.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于:所述样品台为正方形结构，边长为20~30 _，厚度为15~20 _。
【专利摘要】本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，所述样品台上设有水平放置样片的平面平台和至少2个用于夹持样片的弹性夹持机构；所述弹性夹持机构与样品台之间具有倾斜角度，且各自的倾斜角度不同。本实用新型通过在样品台上设置水平放置样片的平面平台和弹性夹持机构，实现了对样品的平面和斜面观察及检测；尤其适用于薄片型样品的截面和前表面检测。
【IPC分类】H01J37-20
【公开号】CN204464231
【申请号】CN201520201041
【发明人】高明, 王栩生, 邢国强
【申请人】苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年4月3日