基板承载装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型总体来说涉及光电显示技术领域，具体而言，涉及一种用于支撑基板的基板承载装置。
【背景技术】
[0002]在光电显示技术领域，经常需要制作具有阵列图形的基板，例如OLED基板。通常在阵列图形制作的各个制程中，基板需要固定于一固定装置上。
[0003]传统的基板承载装置包括一基座，待加工的基板直接放置于基座的顶面。由于基板放置在基座上之后需矫正位置，因此基板上经常产生划伤而影响基板质量。
[0004]为减小基板在矫正过程中与基座之间的摩擦，在基座上固定有支撑柱，支撑柱略高于基座的顶面，基板支撑在多个支撑柱上。使用这种具有支撑柱的基座承载基板，在矫正基板时，虽然能一定程度上减小基板的划伤，但仍不够理想，支撑柱仍然会划伤或刮伤基板。
[0005]在所述【背景技术】部分公开的上述信息仅用于加强对本实用新型的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型公开一种能减轻基板划伤的基板承载装置。
[0007]本实用新型的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本实用新型的实践而习得。
[0008]根据本实用新型的一个方面，一种基板承载装置，包括基座、多个支柱和多个滚珠。基座具有一顶面和一底面，基座内设有多个安装通孔；所述多个支柱能分别安装于所述基座的所述多个安装通孔内；多个滚珠分别可转动地设于所述多个支柱的顶部，所述滚珠凸出所述基座顶面，并且所述多个滚珠的顶端在同一平面上。
[0009]根据本实用新型的一实施方式，所述滚珠凸出所述基座顶面2-3_。
[0010]根据本实用新型的一实施方式，所述支柱为圆柱形，通过螺纹配合安装于所述基座。
[0011]根据本实用新型的一实施方式，所述支柱的顶面为球面形凹部，所述滚珠放置于所述凹部。
[0012]根据本实用新型的一实施方式，还包括设置于所述支柱顶部的凹槽，所述凹槽的顶端面低于所述基座的顶面或者与所述顶面平齐，且具有容置所述滚珠的凹部。
[0013]根据本实用新型的一实施方式，所述凹槽与所述支柱为一体结构。
[0014]根据本实用新型的一实施方式，所述凹槽具有弹性，且所述凹槽的凹部直径小于所述滚珠12mm。
[0015]根据本实用新型的一实施方式，所述支柱为圆柱形，通过螺纹配合安装于所述基座。
[0016]根据本实用新型的一实施方式，所述凹槽的外径大于所述支柱的直径，所述基座内的安装通孔为上大下小的阶梯孔，所述凹槽容置于所述阶梯孔的较大部分内，所述支柱通过螺纹配合安装于所述阶梯孔的较小部分内。
[0017]根据本实用新型的一实施方式，所述支柱的下端部向下延伸出所述基座的底面，所述基板承载装置还包括多个锁紧件，每一个锁紧件设置于一个所述支柱的下端部。
[0018]根据本实用新型的一实施方式，所述滚珠和/或所述凹槽材质为聚苯并咪唑材质。
[0019]由上述技术方案可知，本实用新型的基板承载装置的优点和积极效果在于:
[0020]本实用新型中，多个支柱的顶部分别设有可转动的滚珠，滚珠凸出基座顶面，且多个滚珠的顶端在同一平面上，所述基板可以支撑于多个滚珠上。在矫正基板位置过程中，滚珠可以转动，基板与基座之间的摩擦为滚动摩擦。与传统技术中基板与基座之间的滑动摩擦相比，本实用新型中，基板与基座之间摩擦力大为减小，因此能有效降低基板划伤或刮伤的风险，提高基板图形质量。
【附图说明】
[0021]通过参照附图详细描述其示例实施方式，本实用新型的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
[0022]图1示出根据本实用新型一示例实施方式的基板承载装置的剖视结构示意图。
[0023]图2是图1的俯视图。
[0024]图3示出根据本实用新型另一示例实施方式的基板承载装置的剖视结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。
[0026]基板承载装置实施方式I
[0027]参见图1和图2。本实用新型一示例实施方式的基板承载装置，包括基座1、多个支柱2和多个滚珠3。
[0028]基座1，可以是一石英板，具有一顶面和一底面。基座I内设有多个安装通孔，本实施方式中示出3个安装通孔，在其他实施方式中，安装通孔数目不以3个为限，可以更多。并且根据需要多个安装通孔可以布置成不同的形状。安装通孔可以是螺纹孔。
[0029]多个支柱2能分别安装于基座I的多个安装通孔内。支柱2可以为圆柱形，通过螺纹配合安装于基座I。支柱2的顶面为球面形凹部。
[0030]在另一实施方式中，基板承载装置还可包括多个锁紧件如锁紧螺母5。多个支柱2的下端部延伸出基座I的下表面，多个锁紧螺母5分别通过螺纹配合连接于多个支柱2的下端部，以将支柱2锁紧于基座I。
[0031]多个滚珠3分别可转动地设于多个支柱2的顶部，例如多个滚珠3分别放置于支柱2顶端的球面形凹部。滚珠3凸出基座I顶面，并且多个滚珠3的顶端面在同一平面上，从而基板100可以由多个滚珠3支撑。滚珠3凸出基座I顶面的高度可以是2-3_，一方面可以避免基板100直接接触基座1，另一方面在基板100与基座I之间维持一间隙，来自于基座I下方的底座加热装置的热流能在该间隙内流动，从而使基板100能被均匀加热，有利于提高基板上图案的质量。
[0032]滚珠3的材质可以是聚苯并咪唑(PBI)材质。PBI是当今最高级别的工程塑料。PBI材质的滚珠3耐高温，长期工作温度可达310°C，瞬时耐受温度可达760V ；PBI材质的滚珠3耐腐蚀在酸碱环境中仍保持稳定特性；并且具有高强度、高硬度；其高纯度灰分可控制在2ppm以下。
[0033]基板承载装置实施方式2
[0034]参见图3。本实用新型另一示例实施方式的基板承载装置，包括基座1、多个支柱2和多个滚珠3，其与第一实施方式的不同之处在于:
[0035]该实施方式中，基板承载装置还包括凹槽4，凹槽4设置于支柱2顶部，其顶部具有容置滚珠3的凹部。
[0036]凹槽4与支柱2可以为一体结构，也可以是相互独立的结构再固定连接在一起。凹槽4材质可以为PBI材质。当将支柱2安装于基座I内时，凹槽4的顶端面低于基座I的顶面或者与顶面平齐。
[0037]在另一实施方式中，凹槽4具有弹性，且凹槽4的凹部直径略小于滚珠3，例如凹槽4的凹部直径小于滚珠3直径l-2mm。这样，滚珠3在凹槽4凹部内的安装更加牢固，即使将基座I翻转180°，滚珠3也不会掉落。
[0038]在另一实施方式中，基座I内的安装通孔为上大下小的阶梯孔，凹槽4的外径大于支柱2的直径，凹槽4容置于阶梯孔的较大部分内，支柱2为圆柱形，具有外螺纹，通过螺纹配合安装于基座I的阶梯孔的较小部分内。
[0039]以上具体地示出和描述了本实用新型的示例性实施方式。应该理解，本实用新型不限于所公开的实施方式，相反，本实用新型意图涵盖包含在所附权利要求的精神和范围内的各种修改和等效布置。
【主权项】
1.一种基板承载装置，其特征在于，包括: 基座(I)，具有一顶面和一底面，基座(I)内设有多个安装通孔； 多个支柱(2)，所述多个支柱(2)能分别安装于所述基座(I)的所述多个安装通孔内； 多个滚珠(3)，分别可转动地设于所述多个支柱(2)的顶部，所述滚珠(3)凸出所述基座(I)顶面，并且所述多个滚珠(3)的顶端在同一平面上。
2.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述滚珠(3)凸出所述基座(I)顶面 2-3mm0
3.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述支柱(2)为圆柱形，通过螺纹配合安装于所述基座(I)。
4.如权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于，所述支柱(2)的顶面为球面形凹部，所述滚珠(3)放置于所述凹部。
5.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，还包括设置于所述支柱(2)顶部的凹槽(4)，所述凹槽(4)的顶端面低于所述基座(I)的顶面或者与所述顶面平齐，且具有容置所述滚珠(3)的凹部。
6.如权利要求5所述的基板承载装置，其特征在于，所述凹槽(4)与所述支柱(2)为一体结构。
7.如权利要求5所述的基板承载装置，其特征在于，所述凹槽(4)具有弹性，且所述凹槽(4)的凹部直径小于所述滚珠(3)l-2mm。
8.如权利要求5所述的基板承载装置，其特征在于，所述支柱(2)为圆柱形，通过螺纹配合安装于所述基座(I)。
9.如权利要求8所述的基板承载装置，其特征在于，所述凹槽(4)的外径大于所述支柱(2)的直径，所述基座(I)内的安装通孔为上大下小的阶梯孔，所述凹槽(4)容置于所述阶梯孔的较大部分内，所述支柱(2)通过螺纹配合安装于所述阶梯孔的较小部分内。
10.如权利要求1-9任一项所述的基板承载装置，其特征在于，所述支柱(2)的下端部向下延伸出所述基座的底面，所述基板承载装置还包括: 多个锁紧件，分别设置于所述多个所述支柱(2)的下端部。
11.如权利要求5-9任一项所述的基板承载装置，其特征在于，所述滚珠(3)和/或所述凹槽(4)材质为聚苯并咪唑材质。
【专利摘要】本实用新型公开一种基板承载装置，包括基座、多个支柱和多个滚珠。基座具有一顶面和一底面，基座内设有多个安装通孔；多个支柱能分别安装于基座的多个安装通孔内；多个滚珠分别可转动地设于多个支柱的顶部，滚珠凸出基座顶面，并且多个滚珠的顶端在同一平面上。本实用新型中，多个支柱的顶部分别设有可转动的滚珠，滚珠凸出基座顶面，且多个滚珠的顶端面在同一平面上，基板可以支撑于多个滚珠上。在矫正基板位置过程中，滚珠可以转动，基板与基座之间的摩擦为滚动摩擦。与传统技术中基板与基座之间的滑动摩擦相比，本实用新型中，基板与基座之间摩擦力大为减小，因此能有效降低基板划伤或刮伤的风险，提高基板图形质量。
【IPC分类】H01L21-687
【公开号】CN204558440
【申请号】CN201520181218
【发明人】郭世佳
【申请人】上海和辉光电有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年3月27日