一种制备hit太阳能电池的载板和加热装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制备领域，尤其涉及一种制备HIT太阳能电池的载板和加热装置。
【背景技术】
[0002]HIT太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，相对传统单/多晶硅电池，有更高的发电效率，更好的稳定性和更低的成本。其PN结制备工序是采用板式PECVD制成，在PECVD制程中用到一种工装夹具-载板。如图1A所示，常规的载板200A，是在一整块金属板或非金属版200 (如:CFC板)上开槽201，如图1B所示，当硅片300放在槽201中时，硅片300下表面和槽201表面直接接触，槽201表面会对硅片造成污染，严重影响电池的性能。
[0003]因此，设计一种特定的载板，对于提高HIT太阳能电池的质量，提高光电转换效率及生产良率，降低生产成本有着重大意义和应用前景。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种制备HIT太阳能电池的载板和加热装置，其提高HIT太阳能电池的生产质量，提高光电转换效率。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用以下设计方案，
[0006]—种制备HIT太阳能电池的载板，其包括载板主体，所述载板主体上设有至少一个凹槽，所述凹槽用于承载硅片，所述凹槽内还设有多个凸起，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起支撑。
[0007]优选的，所述凹槽上方的四周侧壁还设有台阶形边槽，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起和台阶形边槽支撑。
[0008]优选的，所述载板可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0009]—种制备HIT太阳能电池的加热装置，其包括载板、加热板，所述载板放置在加热板上，所述载板包括载板主体，所述载板主体上设有至少一个凹槽，所述凹槽用于承载硅片，所述凹槽内还设有多个凸起，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起支撑。
[0010]优选的，所述凹槽上方的四周侧壁还设有台阶形边槽，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起和台阶形边槽支撑。
[0011]优选的，所述载板可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0012]本实用新型采用以上设计方案，通过在载板的凹槽内设计多个凸起，硅片放置在凹槽内，并由多个凸起支撑，最大限度的减小硅片和载板的接触面积，减小对硅片造成污染，从而提高HIT太阳能电池的质量，提高光电转换效率及生产良率。
【附图说明】
[0013]图1A为传统载板不意图；
[0014]图1B为传统载板放置硅片后的剖视图；
[0015]图2A为本实用新型载板示意图；
[0016]图2B为本实用新型载板放置硅片后的剖视图；
[0017]图2C为本实用新型加热装置放置硅片后的剖视图。
【具体实施方式】
[0018]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0019]如图2A、图2B所示，本实用新型公开了一种制备HIT太阳能电池的载板500A，其包括载板主体500，所述载板主体500上设有多个凹槽501，所述凹槽501用于承载硅片300，所述凹槽501内还设有多个凸起502。凹槽501上方的四周侧壁还设有台阶形边槽503，所述硅片300放置凹槽501内并由多个凸起502和台阶形边槽503支撑。所述载板500A可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡LB ^ 10
[0020]如图2C所示，本实用新型还公开了一种制备HIT太阳能电池的加热装置，其包括载板500A、加热板400，载板放置在加热板400上，所述载板500A包括载板主体500，所述载板主体500上设有多个凹槽501，所述凹槽501用于承载硅片300，所述凹槽501内还设有多个凸起502。凹槽501上方的四周侧壁还设有台阶形边槽503，所述硅片300放置凹槽501内并由多个凸起502和台阶形边槽503支撑。
[0021]本实用新型通过在载板500A的凹槽501内设计多个凸起502，硅片300放置在凹槽501内，并由多个凸起502支撑，最大限度的减小硅片300和载板500A的接触面积，减小对硅片造成污染，从而提高HIT太阳能电池的质量，提高光电转换效率及生产良率。
[0022]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种制备HIT太阳能电池的载板，其特征在于:包括载板主体，所述载板主体上设有至少一个凹槽，所述凹槽用于承载硅片，所述凹槽内还设有多个凸起，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起支撑。2.根据权利要求1所述的制备HIT太阳能电池的载板，其特征在于:所述凹槽上方的四周侧壁还设有台阶形边槽，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起和台阶形边槽支撑。3.根据权利要求1所述的制备HIT太阳能电池的载板，其特征在于:所述载板可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡LB ^ 104.一种制备HIT太阳能电池的加热装置，其特征在于:包括载板、加热板，所述载板放置在加热板上，所述载板包括载板主体，所述载板主体上设有至少一个凹槽，所述凹槽用于承载硅片，所述凹槽内还设有多个凸起，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起支撑。5.根据权利要求4所述的制备HIT太阳能电池的加热装置，其特征在于:所述凹槽上方的四周侧壁还设有台阶形边槽，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起和台阶形边槽支撑。6.根据权利要求4所述的制备HIT太阳能电池的加热装置，其特征在于:所述载板可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
【专利摘要】本实用新型公开了一种制备HIT太阳能电池的载板和加热装置，其中所述载板包括载板主体，所述载板主体上设有至少一个凹槽，所述凹槽用于承载硅片，所述凹槽内还设有多个凸起，所述硅片放置凹槽内并由多个凸起支撑，所述加热装置包括载板和加热板。本实用新型通过在载板的凹槽内设计多个凸起，硅片放置在凹槽内，并由多个凸起支撑，最大限度的减小硅片和载板的接触面积，减小对硅片造成污染，从而提高HIT太阳能电池的质量，提高光电转换效率及生产良率。
【IPC分类】H01L21/687, H01L21/67, H01L31/18
【公开号】CN204834574
【申请号】CN201520490997
【发明人】杨与胜, 王树林, 倪鹏玉, 庄辉虎
【申请人】钧石(中国)能源有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年7月9日