一种管式pecvd石墨舟结构的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型属于光伏电池设计领域，具体设及一种管式阳CVD石墨舟结构。
【背景技术】
[0002] 近年来，太阳光伏产业发展迅速，很多国家开始逐渐开发太阳能资源，寻求经济发 展的新动力，在众多材料的太阳能电池中，晶体娃电池工艺和材料发展逐渐成熟，而且考虑 到自然环境和对人体健康的影响，晶体娃太阳电池正向着更加环保的方向迈进，可W预料 晶体娃太阳电池今后仍是太阳能电池研究的主流方向，现在制约太阳能电池发展的关键问 题还是降低成本和提高转换效率。
[0003] 现阶段，背纯化电池由于其制备流程与现阶段标准高度兼容，而广受业内关注，背 纯化电池由于其前后两面纯化，大幅降低表面复合，从而提高电池转化效率，由于双面纯化 要求电池两面都需锻介质膜，而现阶段管式PECVD作为当前最为成熟的锻膜方式被广泛应 用于太阳能电池锻膜，管式PECVD装卸娃片是通过真空吸笔将娃片吸住，然后贴在石墨舟 片去卡在卡点，受管式PECVD本身结构的限制，两次锻膜需要经过四次装卸，也就是说娃片 表面需要与石墨舟接触四次，使得娃片表面出现擦伤划痕的几率大大增加，而且装卸石墨 舟的人员的手法和熟练度要求极高，然而装卸过程中对娃片表面造成的不同程度损伤，不 仅对电池外观造成致命的影响，从而大大降低产线的良品率，而且影响其纯化性能，降低成 品的电池效率。
[0004] 故，需要一种新的技术方案W解决上述问题。 【实用新型内容】
[0005] 实用新型目的：针对上述现有技术存在的问题和不足，本实用新型的目的是提供 一种管式PECVD石墨舟结构，减少锻膜装卸电池片过程中对娃片表面的摩擦损伤，提高双 面锻膜过程的良品率。
[0006] 技术方案：本实用新型公开了一种管式PECVD石墨舟结构，包括舟片，所述舟片包 括若干缕空区域，缕空区域周围设有用于卡住娃片的勾点且该缕空区域的内部边缘面为光 滑面，锻膜过程中，娃片紧贴舟片卡在该缕空区域上，本实用新型将缕空区域的内部边缘面 打磨抛光形成光滑面，当操作人员在装卸娃片中，有效降低了娃片与舟片的摩擦系数，达到 避免娃片损伤的目的。
[0007] 作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的舟片与舟片之间包括陶瓷杆、 舟片隔块和电极隔块。
[0008] 作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的舟片上沿为圆柱体曲面，在装 卸娃片过程中，娃片先与舟片的上沿接触，将舟片上沿做成圆柱体曲面，通过减少舟片的粗 糖棱线，从而较大程度的减少对娃片的损伤，从而提高产品良率和太阳能电池效率。
[0009] 作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的缕空区域的内部边缘为圆形倒 角结构，避免娃片在卡入勾点过程中对娃片的摩擦及划伤。
[0010] 作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的缕空区域为圆角矩形状。
[0011] 作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的勾点数目为3个。
[0012] 作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述勾点分别位于所述缕空区域的= 个方向上，更加稳定的卡住娃片。
[0013] 有益效果：本实用新型与现有技术相比，具有W下优点：
[0014] 1、本实用新型采用圆形倒角结构的缕空区域的内部边缘配合圆柱体曲面的舟片 上沿，较大程度上减少了娃片装卸过程中棱边对娃片的摩擦从而降低损伤程度。
[0015] 2、本实用新型提高了双面太阳能电池和背纯化太阳能电池锻膜的良率和电池片 背表面和纯化膜的质量，具有良好的经济效益。
[0016] 说明书附图
[0017] 图1为本实用新型的结构示意图；
[0018] 图2为本实用新型的舟片结构图；
[0019] 图3为本实用新型的舟片上沿示意图；
[0020] 图4为本实用新型的缕空区域的内部边缘示意图；
[0021] 1-舟片、11-缕空区域、12-勾点、111-内部边缘面。
【具体实施方式】
[0022] W下结合具体的实施例对本实用新型进行详细说明，但同时说明本实用新型的 保护范围并不局限于本实施例的具体范围，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术 人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范 围。
[0023] 需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有说明，"多个"的含义是两个或两 个W上；术语"上"、"下"、"左"、"右"、"内"、"外"、"前端"、"后端"、"头部"、"尾部"等指示的 方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化 描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、W特定的方位构造和操 作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语"第一"、"第二"、"第等仅用于描 述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。 实施例
[0024] 如图1所示，本实施例的一种管式PECVD石墨舟结构，包括舟片1，舟片1与舟片1 之间包括陶瓷杆、舟片隔块和电极隔块。
[00巧]参照图2、图3和图4,，舟片1包括若干圆角矩形状的缕空区域11，缕空区域11 的=个方向上各分别设有用于卡住娃片的=个勾点12,缕空区域11的内部边缘面111为呈 圆形倒角的光滑面且舟片1上沿为圆柱体曲面，在装拆娃片过程中，圆形倒角结构的缕空 区域的内部边缘配合圆柱体曲面的舟片上沿，通过减少舟片的粗糖棱线，从而较大程度的 减少对娃片的损伤。 阳0%] 将同一管式PECVD锻膜机台由同一人先后使用现有的石墨舟和本实施例的石墨 舟装卸娃片，并观察娃片表面损伤情况，对比结果如下表所示：
[0027] 对比结果
[0028] 阳029] 另外，在双面电池锻膜不良片分析发现，大部分电池片的外观不良属于双面氮化 娃膜划伤，而本实施例的石墨舟对避免电池片减反纯化膜划伤效果显著。
[0030] 本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将 本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易 见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的 普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
【主权项】
1. 一种管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：包括舟片，所述舟片包括若干镂空区域， 所述镂空区域周围设有用于卡住硅片的勾点且该镂空区域的内部边缘面为光滑面。2. 根据权利要求1所述的一种管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述舟片与舟片 之间包括陶瓷杆、舟片隔块和电极隔块。3. 根据权利要求1或2所述的一种管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述舟片上 沿为圆柱体曲面。4. 根据权利要求1所述的一种管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述镂空区域的 内部边缘为圆形倒角结构。5. 根据权利要求1所述的一种管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述镂空区域为 圆角矩形状。6. 根据权利要求1所述的一种管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述勾点数目为3 个。7. 根据权利要求6所述的一种管式PECVD石墨舟结构，其特征在于：所述勾点分别位 于所述镂空区域的不同方向上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种管式PECVD石墨舟结构，包括舟片，所述舟片包括若干镂空区域，镂空区域周围设有用于卡住硅片的勾点且该镂空区域的内部边缘面为光滑面，镀膜过程中，硅片紧贴舟片卡在该镂空区域上，本实用新型将镂空区域的内部边缘面打磨抛光形成光滑面，当操作人员在装卸硅片中，有效降低了硅片与舟片的摩擦系数，达到避免硅片损伤的目的。
【IPC分类】H01L21/673, H01L31/18
【公开号】CN204857684
【申请号】CN201520513292
【发明人】黄石明, 孙海平, 夏正月, 张斌
【申请人】奥特斯维能源（太仓）有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月16日