用于极微焦点x射线管的多级聚焦阴极电子枪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电子枪，尤其涉及一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪。
【背景技术】
[0002]目前，国内生产的X射线管均为大焦点X射线管，其最小焦点可做到0.3mmX0.3mm ;普遍用于医疗卫生和大功率工艺探伤，安检等领域。随着科技领域的不断发展，出现了表面贴装(即SMT)技术。使用SMT技术可使电子产品缩小体积40?60%、减轻重量60?80%。但随之而来的便是传统的检测手段，普通焦点X光机等已不能满足现有生产产品的质量及可靠性的要求，尤其是对元器件内部的缺陷无法查明。这样就出现了新的检测手段，微焦点X射线机，这种设备的核心器件是微焦点X射线管，这种光管焦点的大小又取决于阴极电子枪(即光管的阴极组件)，要想做出小焦点的X射线管，就必须要极细的电子流，目前国内还没有焦点< 300 μπι的X射线管。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其能够产生极微焦点，以解决现有技术中普通焦点X光机存在的上述问题。
[0004]为达此目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0005]—种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其包括芯柱、热子、热子支撑座、第一级栅、第二级栅和第三级栅，其中，所述芯柱上设置有若干根电极，所述芯柱上的部分电极与所述热子支撑座相连接，所述热子安装于所述热子支撑座上，所述热子与所述芯柱上的电极连接，所述第一级栅与所述热子支撑座相连接，所述第二级栅与所述第一级栅连接，所述第三级栅与所述第二级栅连接。
[0006]特别地，所述芯柱由玻璃制成，其上设置有i^一个电极，其中三个电极与所述热子支撑座相连接。
[0007]特别地，所述热子为旁热式钡钨阴极。
[0008]特别地，所述热子上的两个电极与所述芯柱上的两个电极连接。
[0009]特别地，所述热子支撑座与所述第一级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
[0010]特别地，所述第二级栅与所述第一级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
[0011]特别地，所述第三级栅与所述第二级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
[0012]特别地，所述热子支撑座、所述第一级栅、第二级栅和第三级栅采用纯钼金属加工制作。
[0013]本实用新型的有益效果为，与现有技术相比用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪在100KV的高压电场作用下，热电子流的在18mm行程处的汇聚焦点可达到5μηι，使焦点5 μπι管电压为100KV的X射线管成为可能。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型【具体实施方式】I提供的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪的立体结构示意图。
[0015]图中:
[0016]1、玻璃芯柱；2、热子；3、热子支撑座；4、第一级栅；5、第二级栅；6、第三级栅。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图并通过【具体实施方式】来进一步说明本实用新型的技术方案。
[0018]请参阅图1所示，图1是本实用新型【具体实施方式】I提供的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪的立体结构示意图。
[0019]本实施例中，一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪包括玻璃芯柱1、热子2、热子支撑座3、第一级栅4、第二级栅5和第三级栅6，所述玻璃芯柱I上设置有十一根电极，所述玻璃芯柱I上的三个电极与所述热子支撑座3相连接，所述热子2为芳热式钡钨阴极，安装于所述热子支撑座3上，所述热子2上的两个电极与所述玻璃芯柱I上的两个电极连接。所述热子支撑座3与所述第一级栅4采用金属化陶瓷连接并绝缘，所述第二级栅5与所述第一级栅4采用金属化陶瓷连接并绝缘，所述第三级栅6与所述第二级栅5采用金属化陶瓷连接并绝缘。
[0020]所述热子支撑座3、所述第一级栅4、第二级栅5和第三级栅6采用纯钼金属加工制作。
[0021]上述多级聚焦阴极电子枪的热子2点亮，发射电子，第一级栅4加负电压汇聚电子，第二级栅5加1500V高压加速电子并控制管流，第三级栅6汇聚电子流并在100KV的高压电场作用下，热电子流在18mm行程处的汇聚焦点可达到5μπι，使焦点5μπι管电压为100KV的X射线管成为可能。
[0022]以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述事例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其包括芯柱、热子、热子支撑座、第一级栅、第二级栅和第三级栅，其特征在于，所述芯柱上设置有若干根电极，所述芯柱上的部分电极与所述热子支撑座相连接，所述热子安装于所述热子支撑座上，所述热子与所述芯柱上的电极连接，所述第一级栅与所述热子支撑座相连接，所述第二级栅与所述第一级栅连接，所述第三级栅与所述第二级栅连接。2.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其特征在于，所述芯柱由玻璃制成，其上设置有十一个电极，其中三个电极与所述热子支撑座相连接。3.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其特征在于，所述热子为旁热式钡钨阴极。4.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其特征在于，所述热子上的两个电极与所述芯柱上的两个电极连接。5.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其特征在于，所述热子支撑座与所述第一级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。6.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其特征在于，所述第二级栅与所述第一级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。7.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其特征在于，所述第三级栅与所述第二级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。8.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其特征在于，所述热子支撑座、所述第一级栅、第二级栅和第三级栅采用纯钼金属加工制作。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其包括芯柱、热子、热子支撑座、第一级栅、第二级栅和第三级栅，其中，所述芯柱上设置有若干根电极，所述芯柱上的部分电极与所述热子支撑座相连接，所述热子安装于所述热子支撑座上，所述热子与所述芯柱上的电极连接，所述第一级栅与所述热子支撑座相连接，所述第二级栅与所述第一级栅连接，所述第三级栅与所述第二级栅连接。上述多级聚焦阴极电子枪的热子点亮，发射电子，第一级栅加负电压汇聚电子，第二级栅加1500V高压加速电子并控制管流，第三级栅汇聚电子流并在100KV的高压电场作用下，热电子流在18mm行程处的汇聚焦点可达到5μm，使焦点5μm管电压为100KV的X射线管成为可能。
【IPC分类】H01J37/063, H01J37/065
【公开号】CN204885080
【申请号】CN201520421572
【发明人】刘骏, 吴爱军, 王刘成
【申请人】无锡日联科技股份有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年6月17日