下沉式硅片清洗篮的制作方法

文档序号:9996077阅读:455来源:国知局
下沉式硅片清洗篮的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种下沉式硅片清洗篮,属于硅片清洗领域。
【背景技术】
[0002]切割硅片是通过高速运转的钢线带动砂浆对硅料进行研磨以达到切片的要求,切割完的硅片表面附着大量的砂浆,需要经过后道清洗,以去除表面的砂浆,达到清洁表面的目的,保证正常的检验入库。目前,传统的用来盛装硅片盒的清洗篮,每篮清洗八盒,清洗的数目有限,无法满足生产需求。

【发明内容】

[0003]本实用新型所要解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供一种能容纳更多硅片盒的下沉式硅片清洗篮。
[0004]为了解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:一种下沉式硅片清洗篮,包括清洗篮本体,清洗篮本体的底面设置有左片盒平台和右片盒平台,所述的清洗篮本体上左片盒平台和右片盒平台的下方设置有下片盒平台。
[0005]进一步为了便于机械臂抓勾,所述的清洗篮本体的四周固定有吊钩。
[0006]进一步为了便于水的流入与流出,所述的清洗篮本体的底面和侧面上均开有网孔。
[0007]进一步为了便于水的流入与流出,所述的左片盒平台、右片盒平台和下片盒平台上均开有网孔。
[0008]采用了上述技术方案后,本实用新型的左片盒平台能够横向放置4盒硅片,右片盒平台能够横向放置4盒硅片,下片盒平台能够竖向放置3盒硅片,由于下片盒平台低于左片盒平台和右片盒平台所在的平面,从而降低了中间片盒的高度,保证与左、右片盒不碰撞,并且使每篮的清洗量由8盒硅片增加至11盒硅片;使用机械臂起吊吊钩,便于进行清洗;本实用新型能有效增加清洗数量,提高硅片的产出,减少人力成本与设备资源的投入。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型下沉式硅片清洗篮的立体结构示意图;
[0010]图2为本实用新型下沉式硅片清洗篮的主视图;
[0011]图3为图2的A-A剖视图;
[0012]图4为本实用新型下沉式硅片清洗篮的左视图;
[0013]图5为本实用新型下沉式硅片清洗篮的俯视图;
[0014]图中,1、清洗篮本体,2、左片盒平台,3、右片盒平台,4、下片盒平台,5、吊钩。
【具体实施方式】
[0015]为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明,
[0016]如图1?5所示,一种下沉式硅片清洗篮,包括清洗篮本体I,清洗篮本体I的底面设置有左片盒平台2和右片盒平台3,清洗篮本体I上左片盒平台2和右片盒平台3的下方设置有下片盒平台4。
[0017]如图1?2、4?5所示,清洗篮本体I的四周固定有吊钩5。
[0018]如图1?5所示,清洗篮本体I的底面和侧面上均开有网孔。
[0019]如图1?5所示,左片盒平台2、右片盒平台3和下片盒平台4上均开有网孔。
[0020]本实用新型的左片盒平台2能够横向放置4盒硅片,右片盒平台3能够横向放置4盒硅片,下片盒平台4能够竖向放置3盒硅片,由于下片盒平台4低于左片盒平台2和右片盒平台3所在的平面,从而降低了中间片盒的高度,保证与左、右片盒不碰撞,片盒间保证留有间隙,并且使每篮的清洗量由8盒硅片增加至11盒硅片;使用机械臂起吊吊钩5,便于进行清洗;本实用新型能有效增加清洗数量,提高硅片的产出,减少人力成本与设备资源的投入。
[0021]以上所述的具体实施例,对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种下沉式硅片清洗篮,包括清洗篮本体(I),清洗篮本体(I)的底面设置有左片盒平台(2)和右片盒平台(3),其特征在于:所述的清洗篮本体(I)上左片盒平台(2)和右片盒平台(3)的下方设置有下片盒平台(4)。2.根据权利要求1所述的下沉式硅片清洗篮,其特征在于:所述的清洗篮本体(I)的四周固定有吊钩(5)。3.根据权利要求1或2所述的下沉式硅片清洗篮,其特征在于:所述的清洗篮本体(I)的底面和侧面上均开有网孔。4.根据权利要求1或2所述的下沉式硅片清洗篮,其特征在于:所述的左片盒平台(2)、右片盒平台(3)和下片盒平台(4)上均开有网孔。
【专利摘要】本实用新型公开了一种下沉式硅片清洗篮,包括清洗篮本体,清洗篮本体的底面设置有左片盒平台和右片盒平台,所述的清洗篮本体上左片盒平台和右片盒平台的下方设置有下片盒平台。本实用新型能有效增加清洗数量,提高硅片的产出,减少人力成本与设备资源的投入。
【IPC分类】H01L21/673, H01L21/67, B08B13/00
【公开号】CN204905222
【申请号】CN201520669891
【发明人】林玉往, 吴宝佳
【申请人】常州有则科技有限公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年8月31日
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