一种多晶硅片单面制绒系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能硅片制绒领域，具体涉及一种多晶硅片单面制绒系统。
【背景技术】
[0002]在太阳能电池的生产环节中，制绒是一个非常关键的工序。多晶硅片的制绒是利用酸性腐蚀液对硅片表面进行刻蚀，该反应为各向同性反应，会在多晶硅片表面形成粒状的腐蚀坑，这些腐蚀坑有助于入射光在其表面多次反射，增加了入射进硅片的几率，从而降低了反射率，提高太阳能电池的光电转换效率。目前多晶制绒的设备分为链式和槽式两种，链式占据80%以上的份额。无论采用哪种设备，在制绒时硅片两面都需要浸没在药液中，在制绒完成后，硅片的正反两面都会被刻蚀形成绒面。正面的绒面有利于光线吸收，是有益的。但背面的绒面并没有益处。一方面，背面的绒面减少了背反射，使得长波段的光线更少地反射回硅片内部进行二次吸收，从而降低光电转换效率；另一方面，背面的绒面会使得硅片的减薄提高约4个微米，这既增加了药液的反应消耗，提高了生产成本，又使得硅片厚度变薄，碎片率会随之上升。
【发明内容】
[0003]本实用新型目的在于提供一种多晶硅片的单面制绒系统，该系统克服了现有双面制绒装置的不足，更加适合应用于电池片的工业化生产中。
[0004]为实现上述发明目的，本实用新型采取的技术方案为:
[0005]一种多晶硅片单面制绒系统，所述系统包括滚轮、喷淋器、硅片探测器、循环控温系统、槽体及药液，所述喷淋器位于所述滚轮的上方。
[0006]作为优选，所述喷淋器的前端和后端至少各设置一个硅片探测器。
[0007]作为优选，所述滚轮与所述槽体中的药液没有直接接触。
[0008]由于采用了上述技术方案，与现有设备相比，本实用新型的有益效果包括:
[0009]本实用新型相比传统的双面制绒装置，硅片不是浸没在药液中进行制绒，而是将药液通过喷淋器喷洒在硅片上表面，而硅片的下表面不与药液接触，从而仅对硅片的上表面进行单面制绒。这样一方面减少了药液的消耗，降低了生产成本；另一方面减少了硅片的去损量，提高了制绒后硅片的厚度，从而降低了制绒工序的碎片率。
【附图说明】
[0010]下面结合附图对本实用新型进一步说明。
[0011]图1是本实用新型实施例的系统结构示意图；
[0012]附图标记:1-滚轮，2-喷淋器，3-硅片探测器，4-循环控温系统，5-槽体，6_药液，
7-娃片。
【具体实施方式】
[0013]下面结合实例对本实用新型进行详细的说明。
[0014]具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
[0015]实施例:
[0016]如图1所示，多晶硅片单面制绒系统包括滚轮1、喷淋器2、硅片探测器3、循环控温系统4、槽体5及药液6。喷淋器2设置在滚轮1的上方，用于对硅片上表面喷洒药液。滚轮的材质为不锈钢内芯外部包裹PVDF ;槽体材质为PVDF ;硅片探测器4为耐酸光电开关。
[0017]本系统在使用时，硅片随滚轮的滚动向前移动，当硅片探测器探测到硅片进入槽体范围时，喷淋器开始工作，向硅片上表面喷淋药液直至其离开槽体。药液只对硅片的上表面进行腐蚀制绒。多余的药液会排入槽体中重复使用，循环控温系统从槽体中抽取药液，达到工艺温度后将药液栗送至喷淋器。槽体中药液的高度始终低于滚轮，从而保证滚轮不会将药液带至硅片下表面。
【主权项】
1.一种多晶硅片单面制绒系统，所述系统包括滚轮(1)、喷淋器(2)、硅片探测器(3)、循环控温系统(4)、槽体(5 )及药液(6 )，其特征在于，所述喷淋器(2 )位于所述滚轮(1)的上方。2.如权利要求1所述的多晶硅片单面制绒系统，其特征在于:所述喷淋器(2)的前端和后端至少各设置一个硅片探测器(3 )。3.如权利要求1所述的多晶硅片单面制绒系统，其特征在于:所述滚轮(1)与所述槽体(5)中的药液(6)没有直接接触。
【专利摘要】本实用新型提供了一种多晶硅片单面制绒系统，包括滚轮、喷淋器、传感器、循环控温系统、槽体及药液。本实用新型结构合理，构造简单，可以实现多晶硅片的单面制绒。相比传统的双面制绒装置，本实用新型装置仅对硅片的上表面进行制绒，一方面减少了药液的消耗，降低了生产成本；另一方面减少了硅片的去损量，提高了制绒后硅片的厚度，从而降低了制绒工序的碎片率。
【IPC分类】C30B33/10, H01L31/18
【公开号】CN205016550
【申请号】CN201520788310
【发明人】季根华, 刘锋, 李翔
【申请人】苏州旭环光伏科技有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年10月14日