扩散舟的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种扩散舟，尤其涉及一种在扩散时，晶片与扩散气流平行的扩散舟。
【背景技术】
[0002]目前使用气态/液态源扩散的产品，需单槽插于扩散舟插槽中作业，由于晶片为与气流垂直放置，扩散时由于晶片阻碍气流流动，可能造成扩散均匀度差的问题出现。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，并使扩散源扩散均匀的扩散舟。
[0004]本实用新型的技术方案是:包括底板和一对侧板，所述一对侧板相互平行，设于所述底板的两边，并垂直于所述底板；
[0005]所述底板上均匀设有若干相互平行的插槽，所述插槽与所述侧板的夹角为-45?
45。。
[0006]所述侧板上设有导流板，所述导流板垂直于所述插槽和所述底板。
[0007]还包括前端板和后端板，所述前端板和后端板分别设于一对侧板的两端，所述前端板和后端板为均流板。
[0008]所述前端板和后端板上分别设有一个圆弧形的舟头，所述舟头上设有拉孔。
[0009]所述插槽平行于所述侧板。
[0010]本实用新型的有益效果是:晶片立放且与侧板成-45?45°的夹角，气态或液态源扩散时，晶片排列有一定间隔，流过晶片之间的气流为层流，在晶片表面附近形成稳定的附面层，不存在涡流，扩散源在源-硅界面均匀分布，扩散均匀性好。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的主视图，
[0012]图2是图1的俯视图，
[0013]图3是图1的左视图；
[0014]图中1是底板，2是侧板，3是前端板，4是后端板，5是插槽，6是晶片，7是舟头，8是拉孔，9是导流板。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型作具体说明。
[0016]如图1-3所示，本实用新型包括底板1和一对侧板2，所述一对侧板2相互平行，设于所述底板1的两边，并垂直于所述底板1;
[0017]所述底板15匀设有若干相互平行的插槽，所述插槽5所述侧板2夹角为-45?45°。工作时，所述插槽5内插有晶片6。
[0018]所述侧板3上设有导流板9，所述导流板9垂直于所述插槽5和所述底板1，工作时，气流流动到导流板9，经导流板9反射后进入到晶片之间，这样，扩散效果会更好。
[0019]本实用新型还包括前端3板和后端板4，所述前端板3和后端板4分别设于一对侧板2的两端，所述前端板3和后端板4为均流板，起到均匀分配气流的作用。
[0020]所述前端板3和后端板4上分别设有一个圆弧形的舟头7，所述舟头7上设有拉孔8，方便拉动整个扩散舟。
[0021]本实用新型的优选方式为，所述插槽5平行于所述侧板2，这样，气态或液态扩散源在扩散时，无阻碍，在晶片附近形成稳定的附面层，不存在涡流，扩散均匀性好。
[0022]气态或液态源扩散时，先通过均流板均流，然后进入舟体，晶片排列有一定间隔，流过晶片之间的气流为层流，在晶片表面附近形成稳定的附面层，不存在涡流，扩散源在源-硅界面均匀分布，扩散均匀性好。
【主权项】
1.扩散舟，其特征在于，包括底板和一对侧板，所述一对侧板相互平行，设于所述底板的两边，并垂直于所述底板； 所述底板上均匀设有若干相互平行的插槽，所述插槽与所述侧板的夹角为-45?45°。2.根据权利要求1所述的扩散舟，其特征在于，所述侧板上设有导流板，所述导流板垂直于所述插槽和所述底板。3.根据权利要求1所述的扩散舟，其特征在于，还包括前端板和后端板，所述前端板和后端板分别设于一对侧板的两端，所述前端板和后端板为均流板。4.根据权利要求3所述的扩散舟，其特征在于，所述前端板和后端板上分别设有一个圆弧形的舟头，所述舟头上设有拉孔。5.根据权利要求1所述的扩散舟，其特征在于，所述插槽平行于所述侧板。
【专利摘要】扩散舟。涉及一种扩散舟，尤其涉及一种在扩散时，晶片与扩散气流平行的扩散舟。结构简单，并使扩散源扩散均匀。所述一对侧板相互平行，设于所述底板的两边，并垂直于所述底板；所述底板上均匀设有若干相互平行的插槽，所述插槽与所述侧板的夹角为-45~45°；所述侧板上设有导流板，所述导流板垂直于所述插槽和所述底板；所述前端板和后端板分别设于一对侧板的两端，所述前端板和后端板为均流板。气态或液态源扩散时，晶片排列有一定间隔，流过晶片之间的气流为层流，在晶片表面附近形成稳定的附面层，不存在涡流，扩散源在源-硅界面均匀分布，扩散均匀性好。
【IPC分类】H01L21/228, H01L21/223, H01L21/673
【公开号】CN205092228
【申请号】CN201520901681
【发明人】游佩武, 裘立强, 王毅
【申请人】扬州杰利半导体有限公司
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2015年11月12日