石墨舟固定硅片用销钉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及石墨舟配件领域，特别涉及一种石墨舟固定硅片用销钉。
【背景技术】
[0002]石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体，在进行镀膜时，将插有未镀膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空镀膜设备腔体内且利用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
[0003]而在硅片镀膜生产中，需要使用穿过石墨舟的销钉将硅片固定在石墨舟中，由于销钉经常与硅片接触，其是易损部件，对于半导体和太阳能石墨舟来说，使用磨损后需要更换销钉是比较困难的，并且容易损害石墨舟舟体。目前有中国专利授权公告号〇附010080818(授权公告日2010.5.19)公开的一种硅片生产中使用的石墨舟，该专利附图4中的固定件即为现有常用的固定硅片用的销钉，这种销钉虽然在更换上相对传统的销钉更简便，但是还是需要更换，增加劳动强度，降低工作效率。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种无需更换且提高使用寿命的石墨舟固定硅片用销钉，以解决上述问题。
[0005]本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
[0006]石墨舟固定硅片用销钉，包括与石墨舟的销钉孔过盈配合的中部圆柱段，所述中部圆柱段的两端分别设置有用于承托硅片的承托段，其特征在于，所述承托段的外端面设置有调节槽。
[0007]在本实用新型的一个优选实施例中，所述承托段为与所述中部圆柱段同轴设置且外径小于所述中部圆柱段外径的小圆柱段，所述小圆柱段的内侧外周面设置有用以供硅片插入固定的楔形槽。
[0008]在本实用新型的一个优选实施例中，所述小圆柱段的外端面外周处理为圆角结构。
[0009]在本实用新型的一个优选实施例中，所述承托段为与所述中部圆柱段同轴设置且外径小于所述中部圆柱段外径的小棱柱段。
[0010]在本实用新型的一个优选实施例中，所述小棱柱段的外端面外周处理为圆角结构。
[0011 ]在本实用新型的一个优选实施例中，所述调节槽为腰形槽。
[0012]在本实用新型的一个优选实施例中，所述调节槽贯穿所述中部圆柱段和承托段。
[0013]在本实用新型的一个优选实施例中，所述中部圆柱段的两端面外周处理为45°倒角结构。
[0014]由于采用了如上的技术方案，当承托段与硅片的接触部位出现较大的磨损且影响正常工作时，利用一调节件插入调节槽，旋转调节件，使得中部圆柱段和承托段转过一定的角度，此时承托段与硅片的接触部位为无损部位，可以正常工作。当使用时间久了，承托段与硅片的接触部位再次出现较大的磨损且影响正常工作时，重复上述调节步骤即可，短期内无需更换销钉，直到承托段的外周面均无法正常使用时才需更换销钉，简化了销钉的更换工作，且提高了销钉的使用寿命。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本实用新型的实施例1的主视图。
[0017]图2是图1的侧视图。
[0018]图3是本实用新型的实施例2的主视图。
[0019]图4是图3的侧视图。
【具体实施方式】
[0020]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面进一步阐述本实用新型。
[0021]实施例1
[0022]参见图1和图2所示的石墨舟固定硅片用销钉，包括与石墨舟的销钉孔过盈配合的中部圆柱段100，为了方便中部圆柱段100插入石墨舟的销钉孔，中部圆柱段100的两端面110外周处理为45°倒角结构111。中部圆柱段100的两端分别一体成型有用于承托硅片的承托段200，承托段200的外端面设置有调节槽300，调节槽300为腰形孔，调节槽300也可贯穿中部圆柱段100和承托段200。
[0023]本实施例中的承托段200为与中部圆柱段100同轴设置且外径小于中部圆柱段外径的小圆柱段210，小圆柱段210的内侧外周面设置有用以供硅片插入固定的楔形槽211。小圆柱段210的外端面212外周处理为圆角结构213。
[0024]实施例2
[0025]参见图3和图4所示的石墨舟固定硅片用销钉，本实施例的石墨舟固定硅片用销钉与实施例1的石墨舟固定硅片用销钉结构大致相似，其区别在于，承托段200为与中部圆柱段100同轴设置且外径小于中部圆柱段外径的小棱柱段210a。小棱柱段210a为六棱柱段，当然也可以为八棱柱段。小棱柱段210a的外端面212a外周处理为圆角结构213a。
[0026]上述两个实施例的工作原理一样:
[0027]当承托段200与硅片的接触部位出现较大的磨损且影响正常工作时，利用一调节件插入调节槽300，旋转调节件，使得中部圆柱段100和承托段200转过一定的角度，此时承托段200与硅片的接触部位为无损部位，可以正常工作。当使用时间久了，承托段200与硅片的接触部位再次出现较大的磨损且影响正常工作时，重复上述调节步骤即可，短期内无需更换销钉，直到承托段200的外周面均无法正常使用时才需更换销钉，简化了销钉的更换工作，且提高了销钉的使用寿命。
[0028]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.石墨舟固定硅片用销钉，包括与石墨舟的销钉孔过盈配合的中部圆柱段，所述中部圆柱段的两端分别设置有用于承托硅片的承托段，其特征在于，所述承托段的外端面设置有调节槽。2.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述承托段为与所述中部圆柱段同轴设置且外径小于所述中部圆柱段外径的小圆柱段，所述小圆柱段的内侧外周面设置有用以供硅片插入固定的楔形槽。3.如权利要求2所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述小圆柱段的外端面外周处理为圆角结构。4.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述承托段为与所述中部圆柱段同轴设置且外径小于所述中部圆柱段外径的小棱柱段。5.如权利要求4所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述小棱柱段的外端面外周处理为圆角结构。6.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述调节槽为腰形槽。7.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述调节槽贯穿所述中部圆柱段和承托段。8.如权利要求1所述的石墨舟固定硅片用销钉，其特征在于，所述中部圆柱段的两端面外周处理为45°倒角结构。
【专利摘要】本实用新型公开了一种石墨舟固定硅片用销钉，包括与石墨舟的销钉孔过盈配合的中部圆柱段，所述中部圆柱段的两端分别设置有用于承托硅片的承托段，所述承托段的外端面设置有调节槽。当承托段与硅片的接触部位出现较大的磨损且影响正常工作时，利用一调节件插入调节槽，旋转调节件，使得中部圆柱段和承托段转过一定的角度，此时承托段与硅片的接触部位为无损部位，可以正常工作。当使用时间久了，承托段与硅片的接触部位再次出现较大的磨损且影响正常工作时，重复上述调节步骤即可，短期内无需更换销钉，直到承托段的外周面均无法正常使用时才需更换销钉，简化了销钉的更换工作，且提高了销钉的使用寿命。
【IPC分类】H01L21/687, C23C16/458
【公开号】CN205211725
【申请号】CN201521033842
【发明人】张孟彤, 顾爱平
【申请人】上海弘枫实业有限公司
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年12月11日