划片机吸盘圆周平整度调整装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种机械圆周平整度调整技术领域，具体地说是一种机械结构与机械传动于一体的，搭载在划片机吸盘内的划片机吸盘圆周平整度调整装置。该发明调节精度在0.003mm以内，它适用于划片机平台的吸盘平整度的微调过程，也可用于其它同类设备的调整过程。
【背景技术】
[0002]砂轮划片机是加工各种半导体等圆晶基片及其他类似基片的专用切割设备，它是半导体生产过程中一个重要的装备，主要用于半导体芯片、热敏电阻、B超换能头、太阳能电池等产品的加工。砂轮划片机是利用微细颗粒金刚石粉末制成的厚度最小为0.02mm的薄片砂轮刀，在0.1?400m/s的切割线速度下，使砂轮刀片沿被切件的分割线切进。有的只切进硅片厚度的一半，然后再采用人工掰断的方法分开，也有采用切透整个硅片厚度的方法分开。在工控机控制下的X、Y、Z、Θ四个方向微电机的精密驱动下，通过X、Y、Z向的往复运动以及Θ向的转动，按照预设的尺寸将大晶园分割，从而得到单个的小管芯。切割过程中需要通过冷却液来带走砂轮和工件间接触区的摩擦热、清理砂轮、冲走磨肩和润滑磨削部位。划片工作时，砂轮刀片外沿相对于工作平台的高度，是一个很重要的定位指标。如果这个指标的误差过大，会影响划片的加工质量，不但会降低生产效率，还会增加制造成本和操作人员的劳动强度。
[0003]目前，国内、外的划片机吸盘圆周平整度的调整一般使用以下方式:一种是在吸盘下方放置一个圆环形固定座，既起到固定也起到调节作用。在调整圆周平整度时，通过测量吸盘转动时的外圈跳动量，测试出高度超标的方位，通过研磨该方位下的圆环形固定座，起到减小高度的作用。然后再将圆环形固定座安装固定好，重新测量跳动量，如果吸盘外圆的跳动量符合要求，则停止调试过程。如果跳动量不符合要求，则按照测量的位置继续研磨工序，直到跳动量符合要求。这样的调节方式原理简单，易操作，但是对操作人员的经验要求较高。如果圆环形固定座磨掉的部分过大，则此圆环报废。
[0004]以上就是吸盘圆周跳动量的调整方式，都是将吸盘圆周跳动调节装置预先安装固定好，然后将吸盘放置平稳，测量吸盘转动时的圆周跳动量，根据显示结果调节相应区域，获得符合条件的圆周跳动量。这样的调节方式是利用研磨掉固定座上多余的部分，使得吸盘的相对水平度达到理想标准，这样的调节方法，虽然原理简单，但对于操作人员的要求过高，一旦研磨过量，零部件就不能继续使用，而且研磨后的圆环形固定座没有互换性，不能被其他机器上的零部件所代替而且在维修拆装过后需要重新调节，费时费力。在每次研磨后也无法保证重新安装位置与原位置的准确度，精度不高。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种机械结构与机械传动于一体的，搭载在划片机吸盘内的划片机吸盘圆周平整度调整装置。它结构设计合理，解决了现有技术中存在的操作人员要求高、调节精度低、磨损易报废、调节耗费时间长等缺陷。
[0006]本实用新型的目的是这样实现的:一种划片机吸盘圆周平整度调整装置，它包括有调节底座，调节平台，内衬钢板，其特征在于:所述的内衬钢板设置在圆形调节平台与调节底座之间，在内衬钢板与调节底座之间均匀分布有三个沿径向滑动的顶块，每个顶块依次通过弹簧、滑块与设置在圆形调节平台外侧的精密螺纹副相连接;顶块与所对应设置的内衬钢板斜面相贴合，内衬钢板斜面的倾斜角度为3-8°。
[0007]本实用新型与内衬钢板斜面相贴合的顶块倾斜角度与内衬钢板斜面的倾斜角度相对应。
[0008]内衬钢板及调节底座通过垂直设置的紧固销钉相连接。
[0009]在圆形调节底座上对称设置有三个沿径向分布的滑槽，即每个滑槽之间的夹角为120°，顶块设置在滑槽内。
[0010]其主要技术特点:本实用新型将改变原有的圆周平整度的调节方式，利用三个圆周等分均布顶块，顶块外侧布置有精密螺纹副，通过调节精密螺纹副，可以使滑块前后滑动，当顶块在调节底座的滑槽内滑动时，顶块的3-8°斜面与内衬钢板的3-8°斜面相结合，在顶块向前或向后滑动时，可以在一定程度的顶起内衬钢板连带这上方的调节平台，使得调节平台能够在一个方向上微量翘起，根据三点确定一个平面，结合三个顶块联合使用，可以起到调节圆周平整度的作用。本实用新型相比以前的调节方式，更加简便快捷，容易操作等特点。
[0011]该装置操作容易、调节方便，不仅能实现划片机吸盘圆周跳动量的调整固定，对划片机的切割作业提供可靠的质量保障，还能降低维修成本，明显提升了划片机的工作效率和减少操作人员的劳动强度。
【附图说明】
[0012]以下结合附图对本实用新型作进一步描述。
[0013]图1是本实用新型的结构示意简图。
[0014]图中主要部件序号说明:I为精密螺纹副，2为滑块，3为弹簧，4为顶块，5为圆形调节平台，6为紧固销钉，7为内衬钢板，8为圆形调节底座。
[0015]下面将结合附图并通过实例对本实用新型作进一步详细说明，但下述实例仅仅是本实用新型的例子而已，并不代表本实用新型所限定的权利保护范围，本实用新型的权利保护范围以权利要求书为准。
【具体实施方式】
[0016]由图1所示，图中的8为圆形调节底座，5为圆形调节平台，7为内衬钢板，所述的内衬钢板7设置在圆形调节平台5与圆形调节底座8之间，在内衬钢板7与圆形调节底座8之间均匀分布有三个沿径向滑动的顶块4，在圆形调节底座8上对称设置有三个沿径向分布的滑槽，即每个滑槽之间的夹角为120°，所述顶块4设置在滑槽内；每个顶块4依次通过弹簧3、滑块2与设置在圆形调节平台外侧的精密螺纹副I相连接;顶块4与所对应设置的内衬钢板7斜面相贴合，内衬钢板7斜面的倾斜角度为3-8°，而与内衬钢板斜面相贴合的顶块4倾斜角度与内衬钢板7斜面的倾斜角度相对应。
[0017]所述的圆形调节平台5，内衬钢板7及圆形调节底座8通过垂直设置的紧固销钉6相连接。
[0018]详细说明本实用新型的结构组成:该装置自上而下是由圆形调节平台5、内衬钢板7、圆形调节底座8根据安装孔布置好，并将滑块2、弹簧3、顶块4等零件预先放置在设计位置，将精密螺纹副I与调节平台5连接好，并且检验其工作的可靠性，最后通过紧固销钉6将装置整体连接固定。
[0019]本实用新型是利用三个圆周等分均布的顶块4，顶块外侧通过弹簧3、滑块2布置有精密螺纹副I，通过调节精密螺纹副I，使滑块前后滑动，当顶块4在调节底座的滑槽内滑动时，顶块的3-8°斜面与内衬钢板的3-8°斜面相结合，在顶块向前或向后滑动时，可以在一定程度的顶起内衬钢板连带这上方的调节平台，使得调节平台能够在一个方向上微量翘起，将精密螺纹副旋出后，滑块在弹簧的作用下向后移动，则顶起量恢复为0，以此过程来调节平台的平整度，根据三点确定一个平面，并根据“三点确定平面”原理，结合三个顶块联合使用，可以起到本实用新型调节圆周平整度的作用。
【主权项】
1.一种划片机吸盘圆周平整度调整装置，它包括有调节底座，调节平台，内衬钢板，其特征在于:所述的内衬钢板设置在圆形调节平台与调节底座之间，在内衬钢板与调节底座之间均匀分布有三个沿径向滑动的顶块，每个顶块依次通过弹簧、滑块与设置在圆形调节平台外侧的精密螺纹副相连接;顶块与所对应设置的内衬钢板斜面相贴合，内衬钢板斜面的倾斜角度为3-8°。2.根据权利要求1所述的划片机吸盘圆周平整度调整装置，其特征在于:与内衬钢板斜面相贴合的滑块倾斜角度与内衬钢板斜面的倾斜角度相对应。3.根据权利要求1所述的划片机吸盘圆周平整度调整装置，其特征在于:所述的调节平台，内衬钢板及调节底座通过垂直设置的紧固销钉相连接。4.根据权利要求1所述的划片机吸盘圆周平整度调整装置，其特征在于:在圆形调节底座上对称设置有三个沿径向分布的滑槽，顶块设置在滑槽内。
【专利摘要】一种划片机吸盘圆周平整度调整装置，它包括有调节底座，调节平台，内衬钢板，其技术要点是：所述的内衬钢板设置在圆形调节平台与调节底座之间，在内衬钢板与调节底座之间均匀分布有三个沿径向滑动的顶块，每个顶块依次通过弹簧、滑块与设置在圆形调节平台外侧的精密螺纹副相连接；顶块与所对应设置的内衬钢板斜面相贴合，内衬钢板斜面的倾斜角度为3-8°。通过调节精密螺纹副带动滑块的移动，滑块的移动能够实现平台的微量顶起，调节圆周均布的三个精密螺纹副可以实现调节圆周平面平整度的工作。本实用新型结构设计合理，解决了现有技术中存在的工作费时费力、人员工作经验要求高等缺陷。其操作容易、调节方便，而且显著提高工作效率和减少操作人员的劳动强度。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN205264679
【申请号】CN201520997009
【发明人】孙震, 张明松, 白雪峰, 韩乃波, 韩龙, 李东旭, 郭晓婷, 叶琳琳, 唐贵富
【申请人】沈阳仪表科学研究院有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月4日