柔性基板的固化装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供的柔性基板的固化装置，其包括密封腔室、进气口、出气口和抽真空装置，其中，在密封腔室内设置有支架，用于承载柔性基板。在密封腔室内且位于支架的周围设置有红外加热体，用以向柔性基板辐射热量。进气口用于向密封腔室内输入惰性气体。出气口用于排出密封腔室内的惰性气体。抽真空装置用于通过控制惰性气体的输入和排出时间，而置换出在密封腔室内挥发形成的溶剂挥发物。本实用新型提供的柔性基板的固化装置，通过置换出溶剂挥发物，减少了溶剂凝结在腔室壁的可能性，减少了溶剂分解成为固体颗粒物数量，从而可以减少设备的维护频次，提高设备的使用效率，进而可以提高产能。
【专利说明】
柔性基板的固化装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示器件加工技术领域，具体地，涉及一种柔性基板的固化装置。
【背景技术】
[0002]在柔性显示面板(例如柔性AMOLED显示面板)的生产工艺中，通常使用聚酰亚胺(PI)材料制作柔性基板。由于聚酰亚胺材料的固化需要通过高温处理，传统的热风固化装置因其部件材质等原因易产生固体颗粒物，因此，需要使用红外固化装置对柔性显示基板进行固化，这是因为:红外固化装置的部件通常由石英或陶瓷等的不易产生固体颗粒物的材质组成，其与传统的热风固化装置相比，可以减少产生的固体颗粒数量，从而可以提高产品良率。
[0003]图1为现有的柔性基板的固化装置的结构示意图。请参阅图1，固化装置包括外壳
1、内腔2、红外灯6、支架5、出气口7和进气口3。其中，内腔2位于外壳I的内部，且采用石英或陶瓷材料制作。支架5设置在内腔2中，用以承载柔性基板4。红外灯6为多个，且在内腔2中环绕排列在支架5的周围，每个红外灯6采用条形灯管状结构，用以朝向柔性基板4辐射热量。进气口 3及出气口 7相对设置在内腔2的两侧腔室壁上，进气口 3用于向内腔2内通入氮气，出气口7用于将内腔2中的氮气及溶剂等挥发物排出，从而可以降低内腔2中的溶剂残留量和残留的固体颗粒，进而可以提尚柔性基板的良率。
[0004]上述固化装置在实际应用中不可避免地存在以下问题:
[0005]在进行固化工艺的过程中，上述固化装置仅通过进气口 3连续不断地向内腔2内通入氮气，来将内腔2内产生的大量溶剂挥发物吹出腔室，由于气流存在死角，这种方式很难使溶剂挥发物全部随氮气自出气口7排出，往往会有部分挥发物凝结在腔室壁上，凝结的溶剂会造成腔室污染，并会因为长期受热分解成为固体颗粒物。在对基板进行固化量产时，腔室壁上的溶剂以及固体颗粒物不断累积，从而需要定期对设备进行维护，进而降低了产能。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种柔性基板的固化装置，其可以减少产生的溶剂凝结以及固体颗粒物数量，从而可以减少设备的维护频次，提尚设备的使用效率，进而可以提尚广能。
[0007]为实现本实用新型的目的而提供一种柔性基板的固化装置，包括密封腔室、进气口和出气口，在所述密封腔室内设置有支架，用于承载所述柔性基板;在所述密封腔室内且位于所述支架的周围设置有红外加热体，用以向所述柔性基板辐射热量;所述进气口用于向所述密封腔室内输入惰性气体;所述出气口用于排出所述密封腔室内的所述惰性气体，还包括抽真空装置，所述抽真空装置用于通过控制所述惰性气体的输入和排出时间，而置换出在所述密封腔室内挥发形成的溶剂挥发物。
[0008]优选的，所述抽真空装置包括第一真空阀、第二真空阀和真空栗，其中，所述第一真空阀安装在所述出气口处，用以开启或封闭所述出气口；所述第二真空阀安装在所述进气口处，用以开启或封闭所述进气口；所述真空栗与所述出气口连接，用以通过所述出气口抽取所述密封腔室内的惰性气体。
[0009]优选的，所述固化装置还包括控制器，所述控制器用于控制所述第二真空阀的开启或封闭，并控制所述第二真空阀开启或关闭的时长;以及，控制所述第一真空阀的开启或关闭，并控制所述第一真空阀开启或关闭的时长。
[0010]优选的，所述密封腔室包括外壳和内腔体，其中，所述外壳包覆在所述内腔体的周围;所述内腔体采用透明材料制作，且所述支架设置在所述内腔体的内部;所述红外加热体设置在所述外壳与所述内腔体之间，用以透过所述内腔体向所述柔性基板辐射热量。
[0011]优选的，所述透明材料包括石英。
[0012]优选的，所述支架采用石英或陶瓷材料制作。
[0013]优选的，所述惰性气体包括氮气。
[0014]本实用新型具有以下有益效果:
[0015]本实用新型提供的柔性基板的固化装置，其借助抽真空装置通过控制惰性气体的输入和排出时间，而置换出在密封腔室内挥发形成的溶剂挥发物，即，定时定量地向密封腔室内输入氮气，然后在每完成单次惰性气体的输入之后，进行一次抽真空，以将产生的溶剂挥发物随惰性气体一起抽出。这样，不存在气流死角的问题，可以确保密封腔室内的溶剂挥发物全部随惰性气体排出，从而可以减少溶剂凝结在腔室壁的可能性，进而减少溶剂分解形成的固体颗粒物数量，从而可以减少设备的维护频次，提高设备的使用效率，进而可以提
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【附图说明】
[0016]图1为现有的柔性基板的固化装置的结构示意图；
[0017]图2为本实用新型实施例提供的柔性基板的固化装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的柔性基板的固化装置进行详细描述。
[0019]图2为本实用新型实施例提供的柔性基板的固化装置的结构示意图。请参阅图2，固化装置包括密封腔室12、进气口 13、出气口 16和抽真空装置。其中，密封腔室包括外壳10和内腔体11，外壳10包覆在内腔体11的周围。内腔体11采用诸如石英等的透明材料制作，且在内腔体11内设置有支架19，用于在工艺过程中承载柔性基板20。支架19优选采用诸如石英或陶瓷材料等的不易产生固体颗粒物的材料制作。并且，在外壳10与内腔体11之间的环形空间12内设置有红外加热体，用于透过内腔体11向柔性基板20辐射热量。在本实施例中，红外加热体由多个红外加热灯管15组成，多个红外加热灯管15对称地围绕在支架19的周围，用以均匀地加热柔性基板20。
[0020]进气口 13和出气口 16相对设置在内腔体11的两侧腔室壁上，其中，进气口 13用于向内腔体11内输入惰性气体，例如氮气。出气口 16用于排出内腔体11内的惰性气体。
[0021]抽真空装置用于通过控制惰性气体的输入和排出时间，置换出在内腔体11内挥发形成的溶剂挥发物。所谓控制惰性气体的输入和排出时间，具体是指在整个固化过程中，定时定量地向内腔体11内输入惰性气体，并在每完成单次惰性气体的输入之后，进行一次定时抽真空。以将产生的溶剂挥发物随惰性气体一起抽出。这样，不存在气流死角的问题，可以确保内腔体11内的溶剂挥发物全部随惰性气体排出，即，置换出在内腔体11内挥发形成的溶剂挥发物，从而可以减少溶剂凝结在内腔体11的腔室壁的可能性，进而减少溶剂分解形成的固体颗粒物数量，从而可以减少设备的维护频次，提高设备的使用效率，进而可以提|^广1會K。
[0022]具体地，在本实施例中，抽真空装置包括第一真空阀17、第二真空阀14和真空栗18，其中，第一真空阀17安装在出气口 16处，用以对出气口 16开启或封闭。第二真空阀14安装在进气口 13处，用以对进气口 13开启或封闭。真空栗18通过气路与出气口 16连接，用以通过出气口 16抽取内腔体11内的惰性气体。
[0023]在进行固化工艺的过程中，定时开启第二真空阀14，此时通过进气口13向内腔体11内输入一定量的惰性气体。在经过一定的时间之后，关闭第二真空阀14，同时开启第一真空阀17，并开启真空栗18，此时真空栗18通过出气口 16抽取内腔体11内的惰性气体，以使在内腔体11内产生的溶剂挥发物随惰性气体一起抽出。在经过一定的时间(确保溶剂挥发物被全部抽出即可)之后，关闭第一真空阀17和真空栗18。在经过一定的时间间隔之后，或者在关闭第一真空阀17的同时，重新开启第二真空阀14，重复循环进行上述过程。这样，可以确保溶剂挥发物不会凝结在腔室壁上，从而可以减少内腔体11内的溶剂残留量，进而减少产生的固体颗粒物数量。
[0024]优选的，固化装置还包括控制器(图中未示出)，该控制器用于控制第二真空阀14的开启或封闭，并控制第二真空阀14开启或关闭的时长；以及，控制第一真空阀的17开启或关闭，并控制第一真空阀17开启或关闭的时长。借助控制器，可以实现惰性气体的输入/排出以及输入和排出时间的自动控制。在实际应用中，控制器可以为诸如PLC、计算机等的微处理器。
[0025]需要说明的是，本实施例中，密封腔室包括外壳10和内腔体U。但是本实用新型并不局限于此，在实际应用中，密封腔室还可以采用其他任意结构构成可进行固化工艺的密封腔室。
[0026]还需要说明的是，抽真空装置的具体结构并不局限于本实用新型实施例中所采用的上述结构，在实际应用中，还可以采用其他任意结构的抽真空装置，只要其能够控制惰性气体的输入和排出时间，以置换出在内腔体11内挥发形成的溶剂挥发物即可。
[0027]综上所述，本实用新型提供的柔性基板的固化装置，其不存在气流死角的问题，可以确保密封腔室内的溶剂挥发物全部随惰性气体排出，从而可以减少溶剂凝结在腔室壁的可能性，进而减少溶剂分解形成的固体颗粒物数量，从而可以减少设备的维护频次，提高设备的使用效率，进而可以提尚广能。
[0028]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种柔性基板的固化装置，包括密封腔室、进气口和出气口，在所述密封腔室内设置有支架，用于承载所述柔性基板;在所述密封腔室内且位于所述支架的周围设置有红外加热体，用以向所述柔性基板辐射热量;所述进气口用于向所述密封腔室内输入惰性气体;所述出气口用于排出所述密封腔室内的所述惰性气体，其特征在于，还包括抽真空装置，所述抽真空装置用于通过控制所述惰性气体的输入和排出时间，而置换出在所述密封腔室内挥发形成的溶剂挥发物。2.根据权利要求1所述的柔性基板的固化装置，其特征在于，所述抽真空装置包括第一真空阀、第二真空阀和真空栗，其中， 所述第一真空阀安装在所述出气口处，用以开启或封闭所述出气口； 所述第二真空阀安装在所述进气口处，用以开启或封闭所述进气口 ； 所述真空栗与所述出气口连接，用以通过所述出气口抽取所述密封腔室内的惰性气体。3.根据权利要求2所述的柔性基板的固化装置，其特征在于，所述固化装置还包括控制器，所述控制器用于控制所述第二真空阀的开启或封闭，并控制所述第二真空阀开启或关闭的时长；以及，控制所述第一真空阀的开启或关闭，并控制所述第一真空阀开启或关闭的时长。4.根据权利要求1-3任意一项所述的柔性基板的固化装置，其特征在于，所述密封腔室包括外壳和内腔体，其中， 所述外壳包覆在所述内腔体的周围； 所述内腔体采用透明材料制作，且所述支架设置在所述内腔体的内部;所述红外加热体设置在所述外壳与所述内腔体之间，用以透过所述内腔体向所述柔性基板辐射热量。5.根据权利要求4所述的柔性基板的固化装置，其特征在于，所述透明材料包括石英。6.根据权利要求1-3任意一项所述的柔性基板的固化装置，其特征在于，所述支架采用石英或陶瓷材料制作。7.根据权利要求1-3任意一项所述的柔性基板的固化装置，其特征在于，所述惰性气体包括氮气。
【文档编号】H01L21/67GK205452250SQ201620238926
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年3月25日
【发明人】王和金, 谢明哲
【申请人】京东方科技集团股份有限公司