扫描电子显微镜装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种扫描电子显微镜装置，其包括圆形台面，所述圆形台面的中心开设有圆形过孔，圆形过孔内设有可升降的托盘，托盘外围的圆形台面上间隔设置有两段弧形钢片。通过上述方式，本实用新型能够满足生产更小直径的晶圆的需求。
【专利说明】
扫描电子显微镜装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，特别是涉及一种扫描电子显微镜装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制造领域，扫描电子显微镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性观察手段，扫描电子显微镜装置是一种非常重要的量测设备，号称芯片的眼睛，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
[0003]当前，扫描电子显微镜装置是一种精密仪器，并且一种型号的扫描电子显微镜装置只能针对特定直径的晶圆，然而，半导体生产厂商所生产的晶圆直径有大有小，当需要生产比特定直径更小的晶圆时，就需要更换扫描电子显微镜装置。但是，扫描电子显微镜装置的价格昂贵，而且制造周期长，因此，如何在利用已有的扫描电子显微镜装置生产更小直径的晶圆是半导体生产厂商迫切需求。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型主要解决的技术问题是提供一种扫描电子显微镜装置，能够满足生产更小直径的晶圆的需求。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种扫描电子显微镜装置，包括圆形台面，所述圆形台面的中心开设有圆形过孔，所述圆形过孔内设有可升降的托盘，所述托盘外围的圆形台面上间隔设置有两段弧形钢片。
[0006]优选地，所述托盘表面均匀设置有四个橡胶垫。
[0007]优选地，所述弧形钢片设有多个安装孔，所述弧形钢片通过所述安装孔与所述圆形台面可拆卸固定。
[0008]优选地，所述弧形钢片的弧度为120°?150°。
[0009]优选地，所述两段弧形钢片的间隔弧度为30°?60°。
[0010]优选地，所述两段弧形钢片相对所述托盘对称设置。
[0011]优选地，所述弧形钢片的内侧壁为斜坡，所述斜坡的坡度为45°?60°。
[0012]优选地，所述弧形钢片的宽度为0.8-1.0cm，厚度0.08-0.1cm。
[0013]优选地，所述圆形台面的两侧对称设置有传感器。
[0014]区别于现有技术的情况，本实用新型的有益效果是:通过在圆形台面上增加两段弧形钢片，再配合可升降的托盘，可以适配更小直径的晶圆，从而能够满足生产更小直径的晶圆的需求。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型实施例扫描电子显微镜装置的俯视结构示意图。
[0016]图2是本实用新型实施例扫描电子显微镜装置的立体结构示意图。
[0017]图3是本实用新型实施例扫描电子显微镜装置的弧形钢片的截面示意图。
【具体实施方式】
[0018]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0019]请参见图1和图2，本实用新型实施例的扫描电子显微镜装置包括圆形台面I，圆形台面I的中心开设有圆形过孔11，圆形过孔11内设有可升降的托盘2，托盘2外围的圆形台面I上间隔设置有两段弧形钢片3。在本实施例中，托盘2表面均匀设置有四个橡胶垫21。
[0020]使用扫描电子显微镜装置时，当机械手臂把更小直径的晶圆传送到圆形台面I上时，托盘2升起，机械手臂将晶圆放置到托盘2上，然后机械手臂退出扫描电子显微镜装置。此时托盘2下降，当托盘2下降至与圆形台面I的表面平齐时，晶圆落在圆形台面I内的两段弧形钢片所限制的区域内，从而完成更小直径的晶圆的传送。通过这种方式，可以使用生产特定直径的晶圆的扫描电子显微镜装置来生产直径比特定直径更小的晶圆。例如在实际使用中，Hitachi(日立)的92xx系列扫描电镜机台的初始设计是满足生产特定直径为200mm的晶圆，当采用本实施例的扫描电子显微镜装置后，可以满足生产直径为150mm的晶圆。
[0021]考虑到不对原有扫描电子显微镜装置造成不可逆的改动，在本实施例中，弧形钢片3设有多个安装孔31，弧形钢片31通过安装孔31与圆形台面I可拆卸固定。弧形钢片3的弧度radl为120°?150°，两段弧形钢片3的间隔弧度rad2为30°?60°。为了更精准的定位晶圆的位置，两段弧形钢片3可以相对托盘2对称设置。弧形钢片3的宽度为0.8-1.0cm，厚度
0.08-0.1cm0
[0022]如图3所示，在本实施例中，弧形钢片3的内侧壁为斜坡，斜坡的坡度rad3为45°?60°。由于弧形钢片3具有斜坡，可以防止晶圆松动。
[0023]为了更精确地确定晶圆的位置，在本实施例中，圆形台面I的两侧对称设置有传感器4(如图1所示)。
[0024]通过上述方式，本实用新型实施例的扫描电子显微镜装置通过在圆形台面上增加两段弧形钢片，再配合可升降的托盘，可以适配更小直径的晶圆，从而能够满足生产更小直径的晶圆的需求。
[0025]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种扫描电子显微镜装置，其特征在于，包括圆形台面，所述圆形台面的中心开设有圆形过孔，所述圆形过孔内设有可升降的托盘，所述托盘外围的圆形台面上间隔设置有两段弧形钢片。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述托盘表面均匀设置有四个橡胶垫。3.根据权利要求1或2所述的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述弧形钢片设有多个安装孔，所述弧形钢片通过所述安装孔与所述圆形台面可拆卸固定。4.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述弧形钢片的弧度为120°?150°。5.根据权利要求4所述的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述两段弧形钢片的间隔弧度为30°?60°。6.根据权利要求5所述的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述两段弧形钢片相对所述托盘对称设置。7.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述弧形钢片的内侧壁为斜坡，所述斜坡的坡度为45°?60°。8.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述弧形钢片的宽度为0.8-1.0cm，厚度 0.08-0.1cm。9.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述圆形台面的两侧对称设置有传感器。
【文档编号】H01J37/26GK205595302SQ201620454328
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年5月18日
【发明人】王世伟
【申请人】成都海威华芯科技有限公司