选择性除膜装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种选择性除膜装置，属于膜层制备技术领域。该选择性除膜装置包括：除膜机构，包括刮膜件，所述刮膜件具有随除膜机构的移动将膜层刮除的刃部；以及移动机构，包括位移装置和定位装置，所述除膜机构固定安装于所述定位装置上，且该定位装置可沿所述位移装置运动，从而带动所述除膜机构移动。上述选择性除膜装置，通过定位装置沿位移装置的运动，带动除膜机构移动，从而利用安装于除膜机构上的刮膜件，刮除附着于基板上的膜层，并通过控制定位装置的移动路线，来控制刮膜件的移动轨迹，以达到选择性除膜的目的，实现不同图案的除膜效果。
【专利说明】
选择性除膜装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及膜层制备技术领域，特别是涉及一种选择性除膜装置。【背景技术】
[0002]现阶段，0LED显示/照明面板产业化工艺中，比较核心和相对成熟的镀膜工艺是蒸镀，而蒸镀需要配合使用掩膜版Mask来让材料蒸镀在特定的图形区域内，最终实现图案化成膜。
[0003]但是，Mask的使用常常会引起短路、成膜厚度不均匀等缺陷，从而降低产品良率， 特别是在大尺寸面板制备生产中尤为明显。另外，对某一特定图形需要与其对应的Mask，不同的图形之间的转换需要切换Mask，这也使得工艺在生产中变得复杂。
[0004]以上原因最终导致0LED面板以及终端0LED电视的成本高居不下，大大限制了 0LED 显示/照明面板产业化的发展。
【发明内容】
[0005]基于此，有必要针对上述问题，提供一种选择性除膜装置，采用该装置，能够取代配合蒸镀使用的掩膜版Mask，提高0LED面板的生产良率。
[0006]—种选择性除膜装置，包括:
[0007]除膜机构，包括刮膜件，所述刮膜件具有随除膜机构的移动将膜层刮除的刃部；以及
[0008]移动机构，包括位移装置和定位装置，所述除膜机构固定安装于所述定位装置上， 且该定位装置可沿所述位移装置运动，从而带动所述除膜机构移动。
[0009]上述选择性除膜装置，通过定位装置沿位移装置的运动，带动除膜机构移动，从而利用安装于除膜机构上的刮膜件，刮除附着于基板上的膜层，并通过控制定位装置的移动路线，来控制刮膜件的移动轨迹，以达到选择性除膜的目的，实现不同图案的除膜效果。 [〇〇1〇]在其中一个实施例中，所述刮膜件包括主刀片和辅刀片，所述主刀片的主刀锋朝向所述除膜机构的移动方向，用于刮除膜层;所述辅刀片的辅刀锋设于所述主刀锋两端，用于切割分离待刮除膜层和保留膜层。通过主刀片和辅刀片的配合使用，以辅刀片严格控制除膜区域，保护非加工膜层，避免非加工膜层被误除。
[0011]在其中一个实施例中，所述主刀片的主刀锋所在直线与所述除膜机构的运动方向垂直，且平行于待除膜层所在平面;所述辅刀片至少为两片，分别设于所述主刀锋两端，该至少两片辅刀片的辅刀锋所在直线垂直于所述主刀锋所在直线。将主刀片和辅刀片按照上述方式设置，具有较好的除膜效率和效果。
[0012]在其中一个实施例中，至少两片所述辅刀片向所述主刀片前端延伸，在所述主刀片前端形成预备刮除区域，所述辅刀片的辅刀锋具有内侧刀锋和外侧刀锋，所述内侧刀锋和外侧刀锋分别位于所述刮除区域边缘的内、外侧。将辅刀锋设于主刀锋前方，利用内侧刀锋和外侧刀锋的切割作用，先将待除膜层与非加工膜层分离，随后再通过主刀片的主刀锋，将已分离的待除膜层刮除，具有较好的除膜效果。
[0013]在其中一个实施例中，该选择性除膜装置还包括除废机构，所述除废机构包括除废管和负压装置，所述除废管套装于所述刮膜件外，与所述刮膜件之间留有除废空腔，所述负压装置通过吸废管与所述除废空腔连通。通过除废机构的作用，将刮膜件刮出的薄膜废弃物以一定的负压抽走，避免薄膜废弃物对刮膜件的刮除造成不良影响。
[0014]在其中一个实施例中，所述刮膜件沿所述除废管的中轴线设置。将除废管环绕刮膜件设置，能够较好的吸走刮膜件周围的薄膜废弃物。
[0015]在其中一个实施例中，所述除废管靠近所述刮膜件刃部一端的开口为除废管入口，所述除废管入口所在平面与待刮除膜层表面的夹角不大于15度。将除废管入口所在平面与待刮除膜层表面平行或接近平行设置，具有较好的吸除作用。
[0016]在其中一个实施例中，所述刮膜件包括主刀片和辅刀片，所述主刀片的主刀锋朝向所述除膜机构的移动方向，用于刮除膜层;所述除废管入口所在平面与所述主刀锋所在直线的距离不大于l〇mm。将除废管入口所在平面与所述主刀锋所在直线的距离控制在上述范围内，即可避免除废管对刮膜件的工作造成影响，又具有较好的吸除作用。
[0017]在其中一个实施例中，所述除膜机构还包括压力控制装置，所述除膜机构通过该压力控制装置与所述移动机构固定安装，由所述压力控制装置调整控制所述刮膜件施加于膜层的压力大小和方向，以达到较佳的除膜效果。
[0018]在其中一个实施例中，所述位移装置包括多轴伺服电机、伺服驱动器、X轴架、Y轴架和Z轴架，所述定位装置可在多轴伺服电机和伺服驱动器的控制下，沿所述位移装置在水平方向和竖直方向上任意移动。以实现通过定位装置的移动路线控制刮膜件移动轨迹的目的，实现不同图案的的除膜效果。
[0019]与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果:
[0020]本实用新型的选择性除膜装置，通过定位装置沿位移装置的运动，带动除膜机构移动，从而利用安装于除膜机构上的刮膜件，刮除附着于基板上的膜层，并通过控制定位装置的移动路线，来控制刮膜件的移动轨迹，以达到选择性除膜的目的，实现不同图案的除膜效果。
[0021]上述选择性除膜装置，可以在0LED照明/显示面板生产过程中取代配合蒸镀使用的掩膜版Mask，提高0LED面板的生产良率，推动0LED显示/照明面板，尤其是大尺寸面板的发展。
[0022]并且，该选择性除膜装置，还可将主刀片与辅刀片配合使用，达到更佳的除膜效果，除膜后除膜区域没有残留或者残留非常小，除膜边缘没有堆积或者堆积很小，对加工薄膜不会造成二次污染，使其能够真正用于量产工艺之中。【附图说明】
[0023]图1为实施例中选择性除膜装置的结构示意图；
[0024]图2为实施例中选择性除膜装置的除膜示意图；
[0025]图3为实施例中刮膜件的结构示意图。[〇〇26] 其中:110.刮膜件；111.主刀片；111a.主刀锋；112.辅刀片；112a.内侧刀锋；112b.外侧刀锋；120.压力控制装置；210.位移装置；220.定位装置；310.除废管；311.除废管入口； 320.负压装置;330.吸废管;400.膜层;500.基板；【具体实施方式】
[0027]为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。[〇〇28]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连通”另一个元件，它可以是直接连通到另一个元件或者可能同时存在居中元件。[〇〇29]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。
[0030]—种选择性除膜装置，包括:除膜机构，和移动机构。
[0031]所述除膜机构包括刮膜件，所述刮膜件具有随除膜机构的移动将膜层刮除的刃部。
[0032]所述移动机构包括位移装置和定位装置，所述除膜机构固定安装于所述定位装置上，且该定位装置可沿所述位移装置运动，从而带动所述除膜机构移动。[〇〇33]上述选择性除膜装置的除膜原理为:
[0034]通过定位装置沿位移装置的运动，带动除膜机构移动，从而利用安装与除膜机构上的刮膜件，刮除附着与基板上的膜层，并通过控制定位装置的移动路线，从而控制刮膜件的移动轨迹，以达到选择性除膜的目的，实现不同图案的除膜效果。
[0035]以刮膜件选择性的刮除膜层，需要注意的是应保护非加工膜层，避免非加工膜层被误除。因此，可将刮膜件设为包括主刀片和辅刀片，所述主刀片的主刀锋朝向所述除膜机构的移动方向，用于刮除膜层;所述辅刀片的辅刀锋设于所述主刀锋两端，用于切割分离待刮除膜层和保留膜层。通过主刀片和辅刀片的配合使用，以辅刀片严格控制除膜区域，保护非加工膜层，避免非加工膜层被误除。
[0036]为了提高的除膜效率和效果，在其中一个实施例中，所述主刀片的主刀锋所在直线与所述除膜机构的运动方向垂直，且平行于待除膜层所在平面;所述辅刀片至少为两片， 分别设于所述主刀锋两端，该至少两片辅刀片的辅刀锋所在直线垂直于所述主刀锋所在直线。
[0037]特别是，将至少两片所述辅刀片向所述主刀片前端延伸，在所述主刀片前端形成预备刮除区域，所述辅刀片的辅刀锋具有内侧刀锋和外侧刀锋，所述内侧刀锋和外侧刀锋分别位于所述刮除区域边缘的内、外侧。将辅刀锋设于主刀锋前方，利用内侧刀锋和外侧刀锋的切割作用，先将待除膜层与非加工膜层分离，随后再通过主刀片的主刀锋，将已分离的待除膜层刮除，具有较好的除膜效果。
[0038]在以刮膜件进行选择性除膜时，除需考虑精准刮除外，还应考虑刮出的薄膜废弃物的处理方式，在其中一个实施例中，该选择性除膜装置还包括除废机构，所述除废机构包括除废管和负压装置，所述除废管套装于所述刮膜件外，与所述刮膜件之间留有除废空腔，所述负压装置通过吸废管与所述除废空腔连通。通过除废机构的作用，将刮膜件刮出的薄膜废弃物以一定的负压抽走，避免薄膜废弃物对刮膜件的刮除造成不良影响。
[0039]所述负压装置可采用常规手段实现，例如包括负压产生装置和负压压力控制装置，其中，负压产生装置可以是吸尘器、负压发生器、真空栗、负压吸引器、负压风机等能够产生负压的装置;负压压力控制装置由调压阀、电磁阀、气动阀、压力表、质量流量计等各种实现气压通断和调节的通用元件构成。
[0040]优选的，所述刮膜件沿所述除废管的中轴线设置。将除废管环绕刮膜件设置，能够较好的吸走刮膜件周围的薄膜废弃物。
[0041]可以理解的，在其中一个实施例中，所述除废管靠近所述刮膜件刃部一端的开口为除废管入口，所述除废管入口所在平面与待刮除膜层表面的夹角不大于15度。将除废管入口所在平面与待刮除膜层表面平行或接近平行设置，具有较好的吸除作用。
[0042]在选择性除膜过程中，由于除废管套设于刮膜件外，可能随着刮膜件的运动接触到膜层，进而可能对除膜造成一定影响。因此，在其中一个实施例中，所述除废管入口所在平面与所述主刀锋所在直线的距离不大于l〇mm。将除废管入口所在平面与所述主刀锋所在直线的距离控制在上述范围内，即可避免除废管对刮膜件的工作造成影响，又具有较好的吸除作用。[〇〇43]而对于除废管入口的截面形状，可选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形等。对于吸废管的截面形状，同样也可选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形等。
[0044]可以理解的，为了达到较佳的除膜效果，所述除膜机构还包括压力控制装置，所述除膜机构通过该压力控制装置与所述移动机构固定安装，由所述压力控制装置调整控制所述刮膜件施加于膜层的压力大小和方向，而该压力控制装置采用常规技术即可实现，例如以压力测试传感器、压力栗等构成。
[0045]可以理解的，位移装置和定位装置的具体设置可根据具体情况灵活设置，例如，所述位移装置包括多轴伺服电机、伺服驱动器、X轴架、Y轴架和Z轴架，所述定位装置可在多轴伺服电机和伺服驱动器的控制下，沿所述位移装置在水平方向和竖直方向上任意移动。以实现通过定位装置的移动路线控制刮膜件移动轨迹的目的，实现不同图案的的除膜效果。 而定位装置可以是通用的可调节角度和高度的固定支架构成。[〇〇46]选择性除膜装置运行时，压力控制装置对刮膜件施加压力并控制刮膜件与基板的角度92来控制施加力的方向，位移装置通过控制除膜机构与基板的相对位移来进行除膜， 除废机构将刮膜件刮出的薄膜废弃物以一定的负压抽走，便实现了除膜。移动机构按照一定的轨迹控制除膜机构与基板的相对位移，便实现了选择性除膜。
[0047]在其中一个实施例中，可根据具体情况，设置一个或多个除膜机构，以提高除膜效率。可以理解，除废机构的数量设置应与除膜机构的数量一致，用以吸除每一个除膜机构产生的薄膜废弃物。[〇〇48] 实施例
[0049]—种选择性除膜装置，如图1所示，包括:除膜机构，移动机构和除废机构，。
[0050]所述除膜机构包括刮膜件110和压力控制装置120,所述刮膜件110具有随除膜机构的移动将膜层400从基板500刮除的刃部。[0051 ] 在本实施例中，如图2所示，所述刮膜件110包括主刀片111和辅刀片112，所述主刀片111的主刀锋111a朝向所述除膜机构的移动方向，如图3所示，用于刮除膜层;所述辅刀片 112的辅刀锋设于所述主刀锋两端，用于切割分离待刮除膜层和保留膜层。通过主刀片111 和辅刀片112的配合使用，以辅刀片112严格控制除膜区域，保护非加工膜层，避免非加工膜层被误除。[〇〇52]并且，为了达到较好的除膜效率和效果，如图3所示，在本实施例中，所述主刀片 111的主刀锋111a所在直线与所述除膜机构的运动方向垂直，且平行于待除膜层所在平面； 所述辅刀片112为两片，分别设于所述主刀锋111a两端，该两片辅刀片112的辅刀锋所在直线垂直于所述主刀锋11 la所在直线。[〇〇53]特别的，如图3所示，两片所述辅刀片112向所述主刀片111前端延伸，在所述主刀片111前端形成预备刮除区域，所述辅刀片112的辅刀锋具有内侧刀锋112a和外侧刀锋 112b，所述内侧刀锋112a和外侧刀锋112b分别位于所述刮除区域边缘的内、外侧。将辅刀锋设于主刀锋111a前方，利用内侧刀锋112a和外侧刀锋112b的切割作用，先将待除膜层与非加工膜层分离，随后再通过主刀片的主刀锋111a，将已分离的待除膜层刮除，具有较好的除膜效果。
[0054]如图1所示，所述除膜机构通过压力控制装置120与所述移动机构中的定位装置 220固定安装，由所述压力控制装置120调整控制所述刮膜件110施加于膜层400的压力大小和方向。
[0055]所述移动机构包括位移装置210和定位装置220,所述除膜装置固定安装于所述定位装置220上，且该定位装置220可沿所述位移装置210运动，从而带动所述除膜机构移动。
[0056]具体在本实施例中，所述位移装置210包括多轴伺服电机、伺服驱动器、X轴架、Y轴架和Z轴架，所述定位装置可在多轴伺服电机和伺服驱动器的控制下，沿所述位移装置在水平方向和竖直方向上任意移动。以实现通过定位装置的移动路线控制刮膜件移动轨迹的目的，实现不同图案的的除膜效果。而定位装置可以是通用的可调节角度和高度的固定支架构成。[〇〇57]所述除废机构包括除废管310和负压装置320,所述除废管310套装于所述刮膜件 110外，与所述刮膜件110之间留有除废空腔，如图1所示，在本实施例中，所述刮膜件110沿所述除废管310的中轴线设置。所述负压装置320通过吸废管330与所述除废空腔连通。通过除废机构的作用，将刮膜件刮出的薄膜废弃物以一定的负压抽走，避免薄膜废弃物对刮膜件的刮除造成不良影响。[〇〇58]所述除废管310靠近所述刮膜件刃部(即刀锋)一端的开口为除废管入口 311，所述除废管入口 311所在平面与待刮除膜层400表面的夹角不大于15度;且所述除废管入口 311 所在平面与所述主刀锋111a所在直线的距离不大于10mm。上述设置具有较好的吸除效果。
[0059]上述选择性除膜装置的除膜原理为:
[0060]如图2所示，选择性除膜装置运行时，压力控制装置对刮膜件施加压力并控制刮膜件与基板的角度92来控制施加力的方向，位移装置通过控制除膜机构与基板的相对位移来进行除膜，除废机构将刮膜件刮出的薄膜废弃物以一定的负压抽走，便实现了除膜。移动机构按照一定的轨迹控制除膜机构与基板的相对位移，便实现了选择性除膜。[0061 ]其中:所述除膜机构的移动速度为:5mm/s-300mm/s;所述除废机构施加的负压为:5kPa-50kPa;所述压力控制装置控制刮膜件与待加工薄膜表面的角度02的大小为:0°-30° ; 所述刮膜件主刀片的主刀锋角91的大小为:〇°-45°。
[0062]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0063]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种选择性除膜装置，其特征在于，包括:除膜机构，包括刮膜件，所述刮膜件具有随除膜机构的移动将膜层刮除的刃部；以及移动机构，包括位移装置和定位装置，所述除膜机构固定安装于所述定位装置上，且该 定位装置可沿所述位移装置运动，从而带动所述除膜机构移动。2.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于，所述刮膜件包括主刀片和辅刀 片，所述主刀片的主刀锋朝向所述除膜机构的移动方向，用于刮除膜层;所述辅刀片的辅刀 锋设于所述主刀锋两端，用于切割分离待刮除膜层和保留膜层。3.根据权利要求2所述的选择性除膜装置，其特征在于，所述主刀片的主刀锋所在直线 与所述除膜机构的运动方向垂直，且平行于待除膜层所在平面;所述辅刀片至少为两片，分 别设于所述主刀锋两端，该至少两片辅刀片的辅刀锋所在直线垂直于所述主刀锋所在直 线。4.根据权利要求3所述的选择性除膜装置，其特征在于，至少两片所述辅刀片向所述主 刀片前端延伸，在所述主刀片前端形成预备刮除区域，所述辅刀片的辅刀锋具有内侧刀锋 和外侧刀锋，所述内侧刀锋和外侧刀锋分别位于所述刮除区域边缘的内、外侧。5.根据权利要求1-4任一项所述的选择性除膜装置，其特征在于，还包括除废机构，所 述除废机构包括除废管和负压装置，所述除废管套装于所述刮膜件外，与所述刮膜件之间 留有除废空腔，所述负压装置通过吸废管与所述除废空腔连通。6.根据权利要求5所述的选择性除膜装置，其特征在于，所述刮膜件沿所述除废管的中 轴线设置。7.根据权利要求5所述的选择性除膜装置，其特征在于，所述除废管靠近所述刮膜件刃 部一端的开口为除废管入口，所述除废管入口所在平面与待刮除膜层表面的夹角不大于15度。8.根据权利要求7所述的选择性除膜装置，其特征在于，所述刮膜件包括主刀片和辅刀 片，所述主刀片的主刀锋朝向所述除膜机构的移动方向，用于刮除膜层;所述除废管入口所 在平面与所述主刀锋所在直线的距离不大于l〇mm。9.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于，所述除膜机构还包括压力控制 装置，所述除膜机构通过该压力控制装置与所述移动机构固定安装，由所述压力控制装置 调整控制所述刮膜件施加于膜层的压力大小和方向。10.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于，所述位移装置包括多轴伺服 电机、伺服驱动器、X轴架、Y轴架和Z轴架，所述定位装置可在多轴伺服电机和伺服驱动器的 控制下，沿所述位移装置在水平方向和竖直方向上任意移动。
【文档编号】H01L21/67GK205609581SQ201620422196
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年5月10日
【发明人】卢泓
【申请人】广东聚华印刷显示技术有限公司