专利名称：静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种微陀螺，具体是一种静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺，属于微机电系统技术领域。
背景技术：
采用MEMS技术设计和制造的悬浮式转子微陀螺具有尺寸小、成本低、精度高的潜在优势，具有广阔的应用价值，各国研究者都在开展这方面的研究工作。
在中国专利CN03141542.3，
公开日期2004.02.25，专利名称“磁悬浮转子方位微陀螺”中报导了一种利用涡流悬浮和旋转的磁悬浮转子微陀螺，该陀螺使用MEMS技术设计和制造，该专利文件称该陀螺具有成本低和精度高的特点，但由于利用涡流悬浮，使该陀螺涡流发热现象严重。悬浮支撑利用电磁场作用，存在电磁阻尼，即使提高陀螺工作的真空度，陀螺的转速也受到限制，目前国内外研制的磁悬浮的转速实测量级都是几千转每分钟量级。同时该陀螺没有专门的侧向稳定装置，侧向刚度较低。
发明内容
本发明针对目前磁悬浮转子微陀螺技术上的不足，提出一种静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺。本发明克服了电磁阻尼对转速的限制，且发热大大降低，转速仅受空气阻尼和涡流驱动力矩的影响。旋转驱动采用异步电动机原理，控制简单，转速仅受驱动力矩和真空度限制，设有专门的侧向稳定装置，侧向刚度高。且采用MEMS技术，具有成本低、精度高、易批量、功耗微的特点。
本发明是通过以下技术方案实现的，本发明包括上定子、转子、下定子，其中下定子包括下定子外侧左下公共检测电极、下定子左一号外侧检测加矩电极、下定子左二号外侧检测加矩电极、下定子外侧左上公共检测电极、下定子上一号外侧检测加矩电极、下定子上二号外侧检测加矩电极、下定子外侧右上公共检测电极、下定子右一号外侧检测加矩电极、下定子右二号外侧检测加矩电极、下定子外侧右下公共检测电极、下定子下一号外侧检测加矩电极、下定子下二号外测检测加矩电极、下定子内侧左下公共检测电极、下定子左一号内侧加矩电极、下定子左二号内侧加矩电极、下定子内侧左上公共检测电极、下定子上一号内侧加矩电极、下定子上二号内侧加矩电极、下定子内侧右上公共检测电极、下定子右一号内侧加矩电极、下定子右二号内侧加矩电极、下定子内侧右下公共检测电极、下定子下一号内侧加矩电极、下定子下二号内侧加矩电极、下定子绝缘层、下定子基体、下定子左下一号垂直检测加矩电极、下定子左下二号垂直检测加矩电极、下定子左侧旋转驱动线圈、下定子左上一号垂直检测加矩电极、下定子左上二号垂直检测加矩电极、下定子上侧旋转驱动线圈、下定子右上一号垂直检测加矩电极、下定子右上二号垂直检测加矩电极、下定子右侧旋转驱动线圈、下定子右下一号垂直检测加矩电极、下定子右下二号垂直检测加矩电极、下定子下侧旋转驱动线圈、转子下侧上阻挡柱、转子下侧右阻挡柱、转子外侧右阻挡柱、转子内侧右阻挡柱、转子下侧下阻挡柱、转子外侧左阻挡柱、转子内侧左阻挡柱、转子下侧左阻挡柱、转子外测上阻挡柱、转子内侧上阻挡柱；上定子包括上定子左下一号垂直检测加矩电极、上定子左下二号垂直检测加矩电极、上定子左侧旋转驱动线圈、上定子左上一号垂直检测加矩电极、上定子左上二号垂直检测加矩电极、上定子上侧旋转驱动线圈、上定子右上一号垂直检测加矩电极、上定子右上二号垂直检测加矩电极、上定子右侧旋转驱动线圈、上定子右下一号垂直检测加矩电极、上定子右下二号垂直检测加矩电极、上定子下侧旋转驱动线圈、上定子绝缘层、上定子基体、转子上侧上阻挡柱、转子上侧右阻挡柱、转子上侧下阻挡柱、转子上侧左阻挡柱。
连接关系为上定子、转子、下定子构成完整的微陀螺系统。对于下定子，在下定子绝缘层上，下定子外侧左下公共检测电极、下定子左一号外侧检测加矩电极、下定子左二号外侧检测加矩电极、下定子外侧左上公共检测电极、下定子上一号外侧检测加矩电极、下定子上二号外侧检测加矩电极、下定子外侧右上公共检测电极、下定子右一号外侧检测加矩电极、下定子右二号外侧检测加矩电极、下定子外侧右下公共检测电极、下定子下一号外侧检测加矩电极、下定子下二号外测检测加矩电极按次序相同高度地处在以下定子绝缘层的中心为中心的圆上，共同形成圆环墙状结构，称之为外圆环墙；下定子内侧左下公共检测电极、下定子左一号内侧加矩电极、下定子左二号内侧加矩电极、下定子内侧左上公共检测电极、下定子上一号内侧加矩电极、下定子上二号内侧加矩电极、下定子内侧右上公共检测电极、下定子右一号内侧加矩电极、下定子右二号内侧加矩电极、下定子内侧右下公共检测电极、下定子下一号内侧加矩电极、下定子下二号内侧加矩电极按次序相同高度地处在以下定子绝缘层的中心为中心的圆上，共同形成圆环墙状结构，称之为内圆环墙；构成内圆环墙的部件的高度与构成外圆环墙的部件高度相等；下定子左下一号垂直检测加矩电极、下定子左下二号垂直检测加矩电极、下定子左侧旋转驱动线圈、下定子左上一号垂直检测加矩电极、下定子左上二号垂直检测加矩电极、下定子上侧旋转驱动线圈、下定子右上一号垂直检测加矩电极、下定子右上二号垂直检测加矩电极、下定子右侧旋转驱动线圈、下定子右下一号垂直检测加矩电极、下定子右下二号垂直检测加矩电极、下定子下侧旋转驱动线圈按次序相同高度地处在以下定子绝缘层的中心为中心的位于外圆环墙和内圆环墙之间的圆上，高度比构成外圆环墙的部件和构成内圆环墙的部件高度低。
对于上定子，上定子绝缘层通过溅射生长在上定子基体上，上定子左下一号垂直检测加矩电极、上定子左下二号垂直检测加矩电极、上定子左侧旋转驱动线圈、上定子左上一号垂直检测加矩电极、上定子左上二号垂直检测加矩电极、上定子上侧旋转驱动线圈、上定子右上一号垂直检测加矩电极、上定子右上二号垂直检测加矩电极、上定子右侧旋转驱动线圈、上定子右下一号垂直检测加矩电极、上定子右下二号垂直检测加矩电极、上定子下侧旋转驱动线圈按次序相同高度地处在以上定子绝缘层的中心为中心的圆上。
上定子与下定子通过下定子外侧左下公共检测电极、下定子左一号外侧检测加矩电极、下定子左二号外侧检测加矩电极、下定子外侧左上公共检测电极、下定子上一号外侧检测加矩电极、下定子上二号外侧检测加矩电极、下定子外侧右上公共检测电极、下定子右一号外侧检测加矩电极、下定子右二号外侧检测加矩电极、下定子外侧右下公共检测电极、下定子下一号外侧检测加矩电极、下定子下二号外测检测加矩电极和下定子内侧左下公共检测电极、下定子左一号内侧加矩电极、下定子左二号内侧加矩电极、下定子内侧左上公共检测电极、下定子上一号内侧加矩电极、下定子上二号内侧加矩电极、下定子内侧右上公共检测电极、下定子右一号内侧加矩电极、下定子右二号内侧加矩电极、下定子内侧右下公共检测电极、下定子下一号内侧加矩电极、下定子下二号内侧加矩电极连接在一起，并且上定子左下一号垂直检测加矩电极、上定子左下二号垂直检测加矩电极、上定子左侧旋转驱动线圈、上定子左上一号垂直检测加矩电极、上定子左上二号垂直检测加矩电极、上定子上侧旋转驱动线圈、上定子右上一号垂直检测加矩电极、上定子右上二号垂直检测加矩电极、上定子右侧旋转驱动线圈、上定子右下一号垂直检测加矩电极、上定子右下二号垂直检测加矩电极、上定子下侧旋转驱动线圈分别与下定子上的下定子左上二号垂直检测加矩电极、下定子左上一号垂直检测加矩电极、下定子左侧旋转驱动线圈、下定子左下二号垂直检测加矩电极、下定子左下一号垂直检测加矩电极、下定子下侧旋转驱动线圈、下定子右下二号垂直检测加矩电极、下定子右下一号垂直检测加矩电极、下定子右侧旋转驱动线圈、下定子右上二号垂直检测加矩电极、下定子右上一号垂直检测加矩电极、下定子上侧旋转驱动线圈按次序依次正面相对应。转子是环形的，转子处在下定子、下定子的构成外圆环墙的部件、下定子的构成内圆环墙的部件、上定子所构成的空腔内。下定子外侧左下公共检测电极、下定子外侧左上公共检测电极、下定子外侧右上公共检测电极、下定子外侧右下公共检测电极、下定子内侧左下公共检测电极、下定子内侧左上公共检测电极、下定子内侧右上公共检测电极与下定子内侧右下公共检测电极连接于一起作为系统的信号输出。转子下侧上阻挡柱、转子下侧右阻挡柱、转子下侧下阻挡柱、转子下侧左阻挡柱依次逐一处在下定子上侧旋转驱动线圈、下定子右侧旋转驱动线圈、下定子下侧旋转驱动线圈、下定子左侧旋转驱动线圈的中央，并且转子下侧上阻挡柱、转子下侧右阻挡柱、转子下侧下阻挡柱、转子下侧左阻挡柱的高度相等且比下定子上侧旋转驱动线圈、下定子右侧旋转驱动线圈、下定子下侧旋转驱动线圈、下定子左侧旋转驱动线圈的高度高，以防止转子与下定子上的旋转驱动线圈和垂直检测加矩电极相接触。转子外侧右阻挡柱处于下定子右二号外侧检测加矩电极与下定子外侧右下公共检测电极之间的，并相对于下定子右二号外侧检测加矩电极、下定子外侧右下公共检测电极靠内；转子外侧左阻挡柱处于下定子外侧左下公共检测电极与下定子左一号外侧检测加矩电极之间，并相对于下定子外侧左下公共检测电极、下定子左一号外侧检测加矩电极靠内；转子外侧上阻挡柱处于下定子外侧左上公共检测电极与下定子上一号外侧检测加矩电极之间，并相对于下定子外侧左上公共检测电极、下定子上一号外侧检测加矩电极靠内；这三个阻挡柱偏移紧靠它们的电极的距离是相等的，转子内侧右阻挡柱处于下定子内侧右下公共检测电极与下定子右二号内侧加矩电极之间，并相对于下定子内侧右下公共检测电极、下定子右二号内侧加矩电极靠外；转子内侧左阻挡柱处于下定子内侧左下公共检测电极与下定子左一号内侧加矩电极之间，并相对于下定子内侧左下公共检测电极、下定子左一号内侧加矩电极靠外；转子内侧上阻挡柱处于下定子内侧左上公共检测电极与下定子上一号内侧加矩电极之间，并相对于下定子内侧左上公共检测电极、下定子上一号内侧加矩电极靠外；这三个阻挡柱偏移紧靠它们的电极的位置是相等的，是为了防止转子与下定子上的构成内圆环墙的部件的电极发生接触。转子上侧上阻挡柱、转子上侧右阻挡柱、转子上侧下阻挡柱和转子上侧左阻挡柱分别处在上定子上侧旋转驱动线圈、上定子右侧旋转驱动线圈、上定子下侧旋转驱动线圈和上定子左侧旋转驱动线圈的中央，并且转子上侧上阻挡柱、转子上侧右阻挡柱、转子上侧下阻挡柱和转子上侧左阻挡柱的高度相等且比上定子上侧旋转驱动线圈、上定子右侧旋转驱动线圈、上定子下侧旋转驱动线圈和上定子左侧旋转驱动线圈高，是为了防止转子与上定子上的电极发生接触。
本发明具有实质性的进步，微陀螺利用静电悬浮，克服了电磁阻尼对转速的限制，且发热大大降低，转速仅受空气阻尼和涡流驱动力矩的影响。把微陀螺封装在真空环境中，工作时，当转速达到需要的速度时，涡流旋转驱动停止工作，微陀螺转子在静电支撑的作用下利用惯性在真空中继续高速旋转，真空度越高，转子的高速旋转保持时间越长，若微陀螺转子转速下降，则涡流旋转驱动单元再次启动，从而起到减少功耗的作用。该陀螺设置有侧向稳定装置，侧向刚度大，能作为方位微陀螺使用。旋转驱动采用异步电动机原理，控制简单，转速仅受驱动力矩和真空度限制，且采用MEMS技术，具有成本低、精度高、易批量、功耗微的特点。
图1为本发明结构示意2为本发明下定子结构立体3为本发明下定子结构正视4为本发明上定子立体5为本发明转子结构立体图具体实施方式
如图1、图2、图3、图4、图5所示，本发明包括上定子1、转子2、下定子3，其中下定子3包括下定子外侧左下公共检测电极4、下定子左一号外侧检测加矩电极5、下定子左二号外侧检测加矩电极6、下定子外侧左上公共检测电极7、下定子上一号外侧检测加矩电极8、下定子上二号外侧检测加矩电极9、下定子外侧右上公共检测电极10、下定子右一号外侧检测加矩电极11、下定子右二号外侧检测加矩电极12、下定子外侧右下公共检测电极13、下定子下一号外侧检测加矩电极14、下定子下二号外测检测加矩电极15、下定子内侧左下公共检测电极16、下定子左一号内侧加矩电极17、下定子左二号内侧加矩电极18、下定子内侧左上公共检测电极19、下定子上一号内侧加矩电极20、下定子上二号内侧加矩电极21、下定子内侧右上公共检测电极22、下定子右一号内侧加矩电极23、下定子右二号内侧加矩电极24、下定子内侧右下公共检测电极25、下定子下一号内侧加矩电极26、下定子下二号内侧加矩电极27、下定子绝缘层28、下定子基体29、下定子左下一号垂直检测加矩电极30、下定子左下二号垂直检测加矩电极31、下定子左侧旋转驱动线圈32、下定子左上一号垂直检测加矩电极33、下定子左上二号垂直检测加矩电极34、下定子上侧旋转驱动线圈35、下定子右上一号垂直检测加矩电极36、下定子右上二号垂直检测加矩电极37、下定子右侧旋转驱动线圈38、下定子右下一号垂直检测加矩电极39、下定子右下二号垂直检测加矩电极40、下定子下侧旋转驱动线圈41、转子下侧上阻挡柱56、转子下侧右阻挡柱57、转子外侧右阻挡柱58、转子内侧右阻挡柱59、转子下侧下阻挡柱60、转子外侧左阻挡柱61、转子内侧左阻挡柱62、转子下侧左阻挡柱63、转子外测上阻挡柱64、转子内侧上阻挡柱65；上定子包括上定子左下一号垂直检测加矩电极42、上定子左下二号垂直检测加矩电极43、上定子左侧旋转驱动线圈44、上定子左上一号垂直检测加矩电极45、上定子左上二号垂直检测加矩电极46、上定子上侧旋转驱动线圈47、上定子右上一号垂直检测加矩电极48、上定子右上二号垂直检测加矩电极49、上定子右侧旋转驱动线圈50、上定子右下一号垂直检测加矩电极51、上定子右下二号垂直检测加矩电极52、上定子下侧旋转驱动线圈53、上定子绝缘层54、上定子基体55、转子上侧上阻挡柱66、转子上侧右阻挡柱67、转子上侧下阻挡柱68、转子上侧左阻挡柱69。
连接关系为上定子1、转子2、下定子3构成完整的微陀螺系统。对于下定子3，在下定子绝缘层28上，下定子外侧左下公共检测电极4、下定子左一号外侧检测加矩电极5、下定子左二号外侧检测加矩电极6、下定子外侧左上公共检测电极7、下定子上一号外侧检测加矩电极8、下定子上二号外侧检测加矩电极9、下定子外侧右上公共检测电极10、下定子右一号外侧检测加矩电极11、下定子右二号外侧检测加矩电极12、下定子外侧右下公共检测电极13、下定子下一号外侧检测加矩电极14、下定子下二号外侧检测加矩电极15按次序相同高度地处在以下定子绝缘层28的中心为中心的圆上，共同形成圆环墙状结构，称之为外圆环墙；下定子内侧左下公共检测电极16、下定子左一号内侧加矩电极17、下定子左二号内侧加矩电极18、下定子内侧左上公共检测电极19、下定子上一号内侧加矩电极20、下定子上二号内侧加矩电极21、下定子内侧右上公共检测电极22、下定子右一号内侧加矩电极23、下定子右二号内侧加矩电极24、下定子内侧右下公共检测电极25、下定子下一号内侧加矩电极26、下定子下二号内侧加矩电极27按次序相同高度地处在以下定子绝缘层28的中心为中心的圆上，共同形成圆环墙状结构，称之为内圆环墙；构成内圆环墙的部件的高度与构成外圆环墙的部件高度相等；下定子左下一号垂直检测加矩电极30、下定子左下二号垂直检测加矩电极31、下定子左侧旋转驱动线圈32、下定子左上一号垂直检测加矩电极33、下定子左上二号垂直检测加矩电极34、下定子上侧旋转驱动线圈35、下定子右上一号垂直检测加矩电极36、下定子右上二号垂直检测加矩电极37、下定子右侧旋转驱动线圈38、下定子右下一号垂直检测加矩电极39、下定子右下二号垂直检测加矩电极40、下定子下侧旋转驱动线圈41按次序相同高度地处在以下定子绝缘层28的中心为中心的位于外圆环墙和内圆环墙之间的圆上，高度比构成外圆环墙的部件和构成内圆环墙的部件高度低。
对于上定子1，上定子绝缘层54通过溅射生长在上定子基体55上，上定子左下一号垂直检测加矩电极42、上定子左下二号垂直检测加矩电极43、上定子左侧旋转驱动线圈44、上定子左上一号垂直检测加矩电极45、上定子左上二号垂直检测加矩电极46、上定子上侧旋转驱动线圈47、上定子右上一号垂直检测加矩电极48、上定子右上二号垂直检测加矩电极49、上定子右侧旋转驱动线圈50、上定子右下一号垂直检测加矩电极51、上定子右下二号垂直检测加矩电极52、上定子下侧旋转驱动线圈53按次序相同高度地处在以上定子绝缘层54的中心为中心的圆上。
上定子1与下定子3通过下定子外侧左下公共检测电极4、下定子左一号外侧检测加矩电极5、下定子左二号外侧检测加矩电极6、下定子外侧左上公共检测电极7、下定子上一号外侧检测加矩电极8、下定子上二号外侧检测加矩电极9、下定子外侧右上公共检测电极10、下定子右一号外侧检测加矩电极11、下定子右二号外侧检测加矩电极12、下定子外侧右下公共检测电极13、下定子下一号外侧检测加矩电极14、下定子下二号外测检测加矩电极15和下定子内侧左下公共检测电极16、下定子左一号内侧加矩电极17、下定子左二号内侧加矩电极18、下定子内侧左上公共检测电极19、下定子上一号内侧加矩电极20、下定子上二号内侧加矩电极21、下定子内侧右上公共检测电极22、下定子右一号内侧加矩电极23、下定子右二号内侧加矩电极24、下定子内侧右下公共检测电极25、下定子下一号内侧加矩电极26、下定子下二号内侧加矩电极27连接在一起，并且上定子左下一号垂直检测加矩电极42、上定子左下二号垂直检测加矩电极43、上定子左侧旋转驱动线圈44、上定子左上一号垂直检测加矩电极45、上定子左上二号垂直检测加矩电极46、上定子上侧旋转驱动线圈47、上定子右上一号垂直检测加矩电极48、上定子右上二号垂直检测加矩电极49、上定子右侧旋转驱动线圈50、上定子右下一号垂直检测加矩电极51、上定子右下二号垂直检测加矩电极52、上定子下侧旋转驱动线圈53分别与下定子3上的下定子左上二号垂直检测加矩电极34、下定子左上一号垂直检测加矩电极33、下定子左侧旋转驱动线圈32、下定子左下二号垂直检测加矩电极31、下定子左下一号垂直检测加矩电极30、下定子下侧旋转驱动线圈41、下定子右下二号垂直检测加矩电极40、下定子右下一号垂直检测加矩电极39、下定子右侧旋转驱动线圈38、下定子右上二号垂直检测加矩电极37、下定子右上一号垂直检测加矩电极36、下定子上侧旋转驱动线圈35按次序依次正面相对应。转子2是环形的，转子2处在下定子、下定子的构成外圆环墙的部件、下定子的构成内圆环墙的部件、上定子所构成的空腔内。下定子外侧左下公共检测电极4、下定子外侧左上公共检测电极7、下定子外侧右上公共检测电极10、下定子外侧右下公共检测电极13、下定子内侧左下公共检测电极16、下定子内侧左上公共检测电极19、下定子内侧右上公共检测电极22与下定子内侧右下公共检测电极25连接于一起作为系统的信号输出。转子下侧上阻挡柱56、转子下侧右阻挡柱57、转子下侧下阻挡柱60、转子下侧左阻挡柱63依次逐一处在下定子上侧旋转驱动线圈35、下定子右侧旋转驱动线圈38、下定子下侧旋转驱动线圈41、下定子左侧旋转驱动线圈32的中央，并且转子下侧上阻挡柱56、转子下侧右阻挡柱57、转子下侧下阻挡柱60、转子下侧左阻挡柱63的高度相等且比下定子上侧旋转驱动线圈35、下定子右侧旋转驱动线圈38、下定子下侧旋转驱动线圈41、下定子左侧旋转驱动线圈32的高度高，以防止转子2与下定子3上的旋转驱动线圈和垂直检测加矩电极相接触。转子外侧右阻挡柱58处于下定子右二号外侧检测加矩电极12与下定子外侧右下公共检测电极13之间的，并相对于下定子右二号外侧检测加矩电极12、下定子外侧右下公共检测电极13靠内；转子外侧左阻挡柱61处于下定子外侧左下公共检测电极4与下定子左一号外侧检测加矩电极5之间，并相对于下定子外侧左下公共检测电极4、下定子左一号外侧检测加矩电极5靠内；转子外测上阻挡柱64处于下定子外侧左上公共检测电极7与下定子上一号外侧检测加矩电极8之间，并相对于下定子外侧左上公共检测电极7、下定子上一号外侧检测加矩电极8靠内；这三个阻挡柱偏移紧靠它们的电极的距离是相等的，是为了防止转子2与下定子3上构成外圆环墙的部件的电极发生接触。转子内侧右阻挡柱59处于下定子内侧右下公共检测电极25与下定子右二号内侧加矩电极24之间，并相对于下定子内侧右下公共检测电极25、下定子右二号内侧加矩电极24靠外；转子内侧左阻挡柱62处于下定子内侧左下公共检测电极16与下定子左一号内侧加矩电极17之间，并相对于下定子内侧左下公共检测电极16、下定子左一号内侧加矩电极17靠外；转子内侧上阻挡柱65处于下定子内侧左上公共检测电极19与下定子上一号内侧加矩电极20之间，并相对于下定子内侧左上公共检测电极19、下定子上一号内侧加矩电极20靠外；这三个阻挡柱偏移紧靠它们的电极的位置是相等的，是为了防止转子2与下定子3上构成内圆环墙的部件的电极发生接触。转子上侧上阻挡柱66、转子上侧右阻挡柱67、转子上侧下阻挡柱68和转子上侧左阻挡柱69分别处在上定子上侧旋转驱动线圈47、上定子右侧旋转驱动线圈50、上定子下侧旋转驱动线圈53和上定子左侧旋转驱动线圈44的中央，并且转子上侧上阻挡柱66、转子上侧右阻挡柱67、转子上侧下阻挡柱68和转子上侧左阻挡柱69的高度相等且比上定子上侧旋转驱动线圈47、上定子右侧旋转驱动线圈50、上定子下侧旋转驱动线圈53和上定子左侧旋转驱动线圈44高，是为了防止转子2与上定子1上的电极发生接触。
静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺是通过静电力使转子悬浮，并应用异步电动机原理，通过上定子1、下定子3上的旋转驱动线圈使转子高速旋转从而产生陀螺效应。具体情况是在上定子1上的上定子左下一号垂直检测加矩电极42、上定子左下二号垂直检测加矩电极43、上定子左上一号垂直检测加矩电极45、上定子左上二号垂直检测加矩电极46、上定子右上一号垂直检测加矩电极48、上定子右上二号垂直检测加矩电极49、上定子右下一号垂直检测加矩电极51、上定子右下二号垂直检测加矩电极52和下定子上的下定子左下一号垂直检测加矩电极30、下定子左下二号垂直检测加矩电极31、下定子左上一号垂直检测加矩电极33、下定子左上二号垂直检测加矩电极34、下定子右上一号垂直检测加矩电极36、下定子右上二号垂直检测加矩电极37、下定子右下一号垂直检测加矩电极39、下定子右下二号垂直检测加矩电极40施加直流电压，在定子和转子之间形成静电场，通过与转子之间的静电力来有效控制陀螺的垂直方向上的悬浮，并通过在这些电极上施加不同频率的载波信号来检测陀螺垂直方向上的位移偏置。当陀螺的垂直方向有偏离平衡位置的位移时，已连接在一起的公共检测电极下定子外侧左下公共检测电极4、下定子外侧左上公共检测电极7、下定子外侧右上公共检测电极10、下定子外侧右下公共检测电极13、下定子内侧左下公共检测电极16、下定子内侧左上公共检测电极19、下定子内侧右上公共检测电极22、下定子内侧右下公共检测电极25就有带有反映陀螺转子垂直位置变化的信号输出，再通过前置级的放大，同步解调器的调制解调和低通滤波器的低通滤波，得到反映陀螺转子垂直位置变化的一直流电压信号，根据此直流电压信号，在上定子1、下定子3上的垂直检测加矩电极上施加恰当的直流电压，产生静电力，使陀螺转子在垂直方向上恢复平衡，从而进行闭环控制。当转子2在垂直方向上悬浮起来后，要检测陀螺的垂直方向上的位置偏移，必须在下定子左侧旋转驱动线圈32、下定子上侧旋转驱动线圈35、下定子右侧旋转驱动线圈38、下定子下侧旋转驱动线圈41按次序施加相位依次相差90度的同频等幅交流信号，同时在上定子1上的上定子左侧旋转驱动线圈44、上定子下侧旋转驱动线圈53、上定子右侧旋转驱动线圈50、上定子上侧旋转驱动线圈47按次序依次施加与下定子左侧旋转驱动线圈32、下定子上侧旋转驱动线圈35、下定子右侧旋转驱动线圈38、下定子下侧旋转驱动线圈41分别对应相同的交流信号，从而通过异步电动机原理驱动转子2高速旋转，产生陀螺效应。
在水平方向，通过下定子3上的电极下定子左一号外侧检测加矩电极5、下定子左二号外侧检测加矩电极6、下定子上一号外侧检测加矩电极8、下定子上二号外侧检测加矩电极9、下定子右一号外侧检测加矩电极11、下定子右二号外侧检测加矩电极12、下定子下一号外侧检测加矩电极14、下定子下二号外测检测加矩电极15、下定子左一号内侧加矩电极17、下定子左二号内侧加矩电极18、下定子上一号内侧加矩电极20、下定子上二号内侧加矩电极21、下定子右一号内侧加矩电极23、下定子右二号内侧加矩电极24、下定子下一号内侧加矩电极26、下定子下二号内侧加矩电极27施加直流电压，在下定子3和转子之间形成静电场，通过与转子2之间的静电力来有效控制陀螺水平方向上的位置偏移，并通过下定子左一号外侧检测加矩电极5、下定子左二号外侧检测加矩电极6、下定子上一号外侧检测加矩电极8、下定子上二号外侧检测加矩电极9、下定子右一号外侧检测加矩电极11、下定子右二号外侧检测加矩电极12、下定子下一号外侧检测加矩电极14、下定子下二号外测检测加矩电极15上施加不同频率的载波信号来检测陀螺水平方向上的位置偏移，然后在已连接在一起的公共检测电极下定子外侧左下公共检测电极4、下定子外侧左上公共检测电极7、下定子外侧右上公共检测电极10、下定子外侧右下公共检测电极13、下定子内侧左下公共检测电极16、下定子内侧左上公共检测电极19、下定子内侧右上公共检测电极22、下定子内侧右下公共检测电极25输出带有反映陀螺水平位置变化的信号，同样通过前置级的放大，同步解调器的解调和低通滤波器的低通滤波，得到反映陀螺水平位置变化的一直流电压信号，根据此直流电压信号，在下定子3的外测检测加矩电极和下定子3的内侧加矩电极施加恰当的直流电压使转子在水平方向恢复到平衡位置，从而进行闭环控制。转子外侧右阻挡柱58、转子外侧左阻挡柱61、转子外侧上阻挡柱64相对于下定子3上的构成外圆环墙的部件的电极靠内侧，是为了防止转子2与下定子3上的构成外圆环墙的部件的电极相接触。同样转子内侧右阻挡柱59、转子内侧左阻挡柱62、转子内侧上阻挡柱65相对于下定子3上的构成内圆环墙的部件的电极靠外侧，是为了防止转子2与下定子3上的构成内圆环墙的部件的电极相接触。在下定子3的驱动旋转线圈上的转子下侧上阻挡柱56、转子下侧右阻挡柱57、转子下侧下阻挡柱60、转子下侧左阻挡柱63和上定子1上的转子上侧上阻挡柱66、转子上侧右阻挡柱67、转子上侧下阻挡柱68、转子上侧左阻挡柱69是为了有效防止转子2与下定子3和上定子1上的旋转驱动线圈相接触。
静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺的结构是采用微细加工(光刻、溅射、刻蚀、键合等)工艺加工制成的。下定子基体29和上定子基体55的材料是玻璃，下定子绝缘层28和上定子绝缘层54采用的材料是Al2O3，各阻挡柱也是以Al2O3为材料，并通过光刻、刻蚀生成。各电极、驱动旋转线圈和转子都是以铜为材料。使用牺牲层工艺加工转子2，转子2材料是金属的，并通过溅射、光刻、刻蚀加工生成阻挡柱和驱动旋转线圈。
权利要求
1.一种静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺，包括上定子(1)、转子(2)、下定子(3)，其特征在于其中下定子(3)包括下定子外侧左下公共检测电极(4)、下定子左一号外侧检测加矩电极(5)、下定子左二号外侧检测加矩电极(6)、下定子外侧左上公共检测电极(7)、下定子上一号外侧检测加矩电极(8)、下定子上二号外侧检测加矩电极(9)、下定子外侧右上公共检测电极(10)、下定子右一号外侧检测加矩电极(11)、下定子右二号外侧检测加矩电极(12)、下定子外侧右下公共检测电极(13)、下定子下一号外侧检测加矩电极(14)、下定子下二号外测检测加矩电极(15)、下定子内侧左下公共检测电极(16)、下定子左一号内侧加矩电极(17)、下定子左二号内侧加矩电极(18)、下定子内侧左上公共检测电极(19)、下定子上一号内侧加矩电极(20)、下定子上二号内侧加矩电极(21)、下定子内侧右上公共检测电极(22)、下定子右一号内侧加矩电极(23)、下定子右二号内侧加矩电极(24)、下定子内侧右下公共检测电极(25)、下定子下一号内侧加矩电极(26)、下定子下二号内侧加矩电极(27)、下定子绝缘层(28)、下定子基体(29)、下定子左下一号垂直检测加矩电极(30)、下定子左下二号垂直检测加矩电极(31)、下定子左侧旋转驱动线圈(32)、下定子左上一号垂直检测加矩电极(33)、下定子左上二号垂直检测加矩电极(34)、下定子上侧旋转驱动线圈(35)、下定子右上一号垂直检测加矩电极(36)、下定子右上二号垂直检测加矩电极(37)、下定子右侧旋转驱动线圈(38)、下定子右下一号垂直检测加矩电极(39)、下定子右下二号垂直检测加矩电极(40)、下定子下侧旋转驱动线圈(41)、转子下侧上阻挡柱(56)、转子下侧右阻挡柱(57)、转子外侧右阻挡柱(58)、转子内侧右阻挡柱(59)、转子下侧下阻挡柱(60)、转子外侧左阻挡柱(61)、转子内侧左阻挡柱(62)、转子下侧左阻挡柱(63)、转子外测上阻挡柱(64)、转子内侧上阻挡柱(65)；上定子(1)包括上定子左下一号垂直检测加矩电极(42)、上定子左下二号垂直检测加矩电极(43)、上定子左侧旋转驱动线圈(44)、上定子左上一号垂直检测加矩电极(45)、上定子左上二号垂直检测加矩电极(46)、上定子上侧旋转驱动线圈(47)、上定子右上一号垂直检测加矩电极(48)、上定子右上二号垂直检测加矩电极(49)、上定子右侧旋转驱动线圈(50)、上定子右下一号垂直检测加矩电极(51)、上定子右下二号垂直检测加矩电极(52)、上定子下侧旋转驱动线圈(53)、上定子绝缘层(54)、上定子基体(55)、转子上侧上阻挡柱(66)、转子上侧右阻挡柱(67)、转子上侧下阻挡柱(68)、转子上侧左阻挡柱(69)；所述的下定子(3)，在下定子绝缘层(28)上，下定子外侧左下公共检测电极(4)、下定子左一号外侧检测加矩电极(5)、下定子左二号外侧检测加矩电极(6)、下定子外侧左上公共检测电极(7)、下定子上一号外侧检测加矩电极(8)、下定子上二号外侧检测加矩电极(9)、下定子外侧右上公共检测电极(10)、下定子右一号外侧检测加矩电极(11)、下定子右二号外侧检测加矩电极(12)、下定子外侧右下公共检测电极(13)、下定子下一号外侧检测加矩电极(14)、下定子下二号外测检测加矩电极(15)按次序处在以下定子绝缘层(28)的中心为中心的圆上，共同形成圆环墙状结构，称之为外圆环墙；下定子内侧左下公共检测电极(16)、下定子左一号内侧加矩电极(17)、下定子左二号内侧加矩电极(18)、下定子内侧左上公共检测电极(19)、下定子上一号内侧加矩电极(20)、下定子上二号内侧加矩电极(21)、下定子内侧右上公共检测电极(22)、下定子右一号内侧加矩电极(23)、下定子右二号内侧加矩电极(24)、下定子内侧右下公共检测电极(25)、下定子下一号内侧加矩电极(26)、下定子下二号内侧加矩电极(27)按次序处在以下定子绝缘层(28)的中心为中心的圆上，共同形成圆环墙状结构，称之为内圆环墙；构成内圆环墙的部件的高度与构成外圆环墙的部件高度相等；下定子左下一号垂直检测加矩电极(30)、下定子左下二号垂直检测加矩电极(31)、下定子左侧旋转驱动线圈(32)、下定子左上一号垂直检测加矩电极(33)、下定子左上二号垂直检测加矩电极(34)、下定子上侧旋转驱动线圈(35)、下定子右上一号垂直检测加矩电极(36)、下定子右上二号垂直检测加矩电极(37)、下定子右侧旋转驱动线圈(38)、下定子右下一号垂直检测加矩电极(39)、下定子右下二号垂直检测加矩电极(40)、下定子下侧旋转驱动线圈(41)按次序处在以下定子绝缘层(28)的中心为中心的位于外圆环墙和内圆环墙之间的圆上，高度比构成外圆环墙的部件和构成内圆环墙的部件高度低；所述的上定子(1)，上定子绝缘层(54)在上定子基体(55)上，上定子左下一号垂直检测加矩电极(42)、上定子左下二号垂直检测加矩电极(43)、上定子左侧旋转驱动线圈(44)、上定子左上一号垂直检测加矩电极(45)、上定子左上二号垂直检测加矩电极(46)、上定子上侧旋转驱动线圈(47)、上定子右上一号垂直检测加矩电极(48)、上定子右上二号垂直检测加矩电极(49)、上定子右侧旋转驱动线圈(50)、上定子右下一号垂直检测加矩电极(51)、上定子右下二号垂直检测加矩电极(52)、上定子下侧旋转驱动线圈(53)按次序处在以上定子绝缘层(54)的中心为中心的圆上，上定子(1)与下定子(3)通过下定子外侧左下公共检测电极(4)、下定子左一号外侧检测加矩电极(5)、下定子左二号外侧检测加矩电极(6)、下定子外侧左上公共检测电极(7)、下定子上一号外侧检测加矩电极(8)、下定子上二号外侧检测加矩电极(9)、下定子外侧右上公共检测电极(10)、下定子右一号外侧检测加矩电极(11)、下定子右二号外侧检测加矩电极(12)、下定子外侧右下公共检测电极(13)、下定子下一号外侧检测加矩电极(14)、下定子下二号外测检测加矩电极(15)和下定子内侧左下公共检测电极(16)、下定子左一号内侧加矩电极(17)、下定子左二号内侧加矩电极(18)、下定子内侧左上公共检测电极(19)、下定子上一号内侧加矩电极(20)、下定子上二号内侧加矩电极(21)、下定子内侧右上公共检测电极(22)、下定子右一号内侧加矩电极(23)、下定子右二号内侧加矩电极(24)、下定子内侧右下公共检测电极(25)、下定子下一号内侧加矩电极(26)、下定子下二号内侧加矩电极(27)连接在一起，并且上定子左下一号垂直检测加矩电极(42)、上定子左下二号垂直检测加矩电极(43)、上定子左侧旋转驱动线圈(44)、上定子左上一号垂直检测加矩电极(45)、上定子左上二号垂直检测加矩电极(46)、上定子上侧旋转驱动线圈(47)、上定子右上一号垂直检测加矩电极(48)、上定子右上二号垂直检测加矩电极(49)、上定子右侧旋转驱动线圈(50)、上定子右下一号垂直检测加矩电极(51)、上定子右下二号垂直检测加矩电极(52)、上定子下侧旋转驱动线圈(53)分别与下定子(3)上的下定子左上二号垂直检测加矩电极(34)、下定子左上一号垂直检测加矩电极(33)、下定子左侧旋转驱动线圈(32)、下定子左下二号垂直检测加矩电极(31)、下定子左下一号垂直检测加矩电极(30)、下定子下侧旋转驱动线圈(41)、下定子右下二号垂直检测加矩电极(40)、下定子右下一号垂直检测加矩电极(39)、下定子右侧旋转驱动线圈(38)、下定子右上二号垂直检测加矩电极(37)、下定子右上一号垂直检测加矩电极(36)、下定子上侧旋转驱动线圈(35)按次序依次正面相对应；所述的转子(2)，转子(2)是环形的，转子(2)处在下定子(3)、下定子的构成外圆环墙的部件、下定子构成内圆环墙的部件、上定子(1)所构成的空腔内；下定子外侧左下公共检测电极(4)、下定子外侧左上公共检测电极(7)、下定子外侧右上公共检测电极(10)、下定子外侧右下公共检测电极(13)、下定子内侧左下公共检测电极(16)、下定子内侧左上公共检测电极(19)、下定子内侧右上公共检测电极(22)与下定子内侧右下公共检测电极(25)连接于一起作为系统的信号输出；转子下侧上阻挡柱(56)、转子下侧右阻挡柱(57)、转子下侧下阻挡柱(60)、转子下侧左阻挡柱(63)依次逐一处在下定子上侧旋转驱动线圈(35)、下定子右侧旋转驱动线圈(38)、下定子下侧旋转驱动线圈(41)、下定子左侧旋转驱动线圈(32)的中央；转子外侧右阻挡柱(58)处于下定子右二号外侧检测加矩电极(12)与下定子外侧右下公共检测电极(13)之间的，并相对于下定子右二号外侧检测加矩电极(12)、下定子外侧右下公共检测电极(13)靠内；转子外侧左阻挡柱(61)处于下定子外侧左下公共检测电极(4)与下定子左一号外侧检测加矩电极(5)之间，并相对于下定子外侧左下公共检测电极(4)、下定子左一号外侧检测加矩电极(5)靠内；转子外测上阻挡柱(64)处于下定子外侧左上公共检测电极(7)与下定子上一号外侧检测加矩电极(8)之间，并相对于下定子外侧左上公共检测电极(7)、下定子上一号外侧检测加矩电极(8)靠内；这三个阻挡柱偏移紧靠它们的电极的距离是相等的，转子内侧右阻挡柱(59)处于下定子内侧右下公共检测电极(25)与下定子右二号内侧加矩电极(24)之间，并相对于下定子内侧右下公共检测电极(25)、下定子右二号内侧加矩电极(24)靠外；转子内侧左阻挡柱(62)处于下定子内侧左下公共检测电极(16)与下定子左一号内侧加矩电极(17)之间，并相对于下定子内侧左下公共检测电极(16)、下定子左一号内侧加矩电极(17)靠外；转子内侧上阻挡柱(65)处于下定子内侧左上公共检测电极(19)与下定子上一号内侧加矩电极(20)之间，并相对于下定子内侧左上公共检测电极(19)、下定子上一号内侧加矩电极(20)靠外，这三个阻挡柱偏移紧靠它们的电极的位置是相等的，转子上侧上阻挡柱(66)、转子上侧右阻挡柱(67)、转子上侧下阻挡柱(68)和转子上侧左阻挡柱(69)分别处在上定子上侧旋转驱动线圈(47)、上定子右侧旋转驱动线圈(50)、上定子下侧旋转驱动线圈(53)和上定子左侧旋转驱动线圈(44)的中央。
2.根据权利要求1所述的静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺，其特征是下定子外侧左下公共检测电极(4)、下定子左一号外侧检测加矩电极(5)、下定子左二号外侧检测加矩电极(6)、下定子外侧左上公共检测电极(7)、下定子上一号外侧检测加矩电极(8)、下定子上二号外侧检测加矩电极(9)、下定子外侧右上公共检测电极(10)、下定子右一号外侧检测加矩电极(11)、下定子右二号外侧检测加矩电极(12)、下定子外侧右下公共检测电极(13)、下定子下一号外侧检测加矩电极(14)、下定子下二号外测检测加矩电极(15)、下定子内侧左下公共检测电极(16)、下定子左一号内侧加矩电极(17)、下定子左二号内侧加矩电极(18)、下定子内侧左上公共检测电极(19)、下定子上一号内侧加矩电极(20)、下定子上二号内侧加矩电极(21)、下定子内侧右上公共检测电极(22)、下定子右一号内侧加矩电极(23)、下定子右二号内侧加矩电极(24)、下定子内侧右下公共检测电极(25)、下定子下一号内侧加矩电极(26)、下定子下二号内侧加矩电极(27)具有相同的高度。
3.根据权利要求1所述的静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺，其特征是下定子左下一号垂直检测加矩电极(30)、下定子左下二号垂直检测加矩电极(31)、下定子左上一号垂直检测加矩电极(33)、下定子左上二号垂直检测加矩电极(34)、下定子右上一号垂直检测加矩电极(36)、下定子右上二号垂直检测加矩电极(37)、下定子右下一号垂直检测加矩电极(39)、下定子右下二号垂直检测加矩电极(40)、下定子左侧旋转驱动线圈(32)、下定子上侧旋转驱动线圈(35)、下定子右侧旋转驱动线圈(38)、下定子下侧旋转驱动线圈(41)、上定子左下一号垂直检测加矩电极(42)、上定子左下二号垂直检测加矩电极(43)、上定子左上一号垂直检测加矩电极(45)、上定子左上二号垂直检测加矩电极(46)、上定子右上一号垂直检测加矩电极(48)、上定子右上二号垂直检测加矩电极(49)、上定子右下一号垂直检测加矩电极(51)、上定子右下二号垂直检测加矩电极(52)与上定子左侧旋转驱动线圈(44)、上定子上侧旋转驱动线圈(47)、上定子右侧旋转驱动线圈(50)、上定子下侧旋转驱动线圈(53)具有相同的高度。
4.根据权利要求1所述的静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺，其特征是下定子外侧左下公共检测电极(4)、下定子左一号外侧检测加矩电极(5)、下定子左二号外侧检测加矩电极(6)、下定子外侧左上公共检测电极(7)、下定子上一号外侧检测加矩电极(8)、下定子上二号外侧检测加矩电极(9)、下定子外侧右上公共检测电极(10)、下定子右一号外侧检测加矩电极(11)、下定子右二号外侧检测加矩电极(12)、下定子外侧右下公共检测电极(13)、下定子下一号外侧检测加矩电极(14)、下定子下二号外测检测加矩电极(15)、下定子内侧左下公共检测电极(16)、下定子左一号内侧加矩电极(17)、下定子左二号内侧加矩电极(18)、下定子内侧左上公共检测电极(19)、下定子上一号内侧加矩电极(20)、下定子上二号内侧加矩电极(21)、下定子内侧右上公共检测电极(22)、下定子右一号内侧加矩电极(23)、下定子右二号内侧加矩电极(24)、下定子内侧右下公共检测电极(25)、下定子下一号内侧加矩电极(26)、下定子下二号内侧加矩电极(27)的高度比下定子左下一号垂直检测加矩电极(30)、下定子左下二号垂直检测加矩电极(31)、下定子左上一号垂直检测加矩电极(33)、下定子左上二号垂直检测加矩电极(34)、下定子右上一号垂直检测加矩电极(36)、下定子右上二号垂直检测加矩电极(37)、下定子右下一号垂直检测加矩电极(39)、下定子右下二号垂直检测加矩电极(40)、下定子左侧旋转驱动线圈(32)、下定子上侧旋转驱动线圈(35)、下定子右侧旋转驱动线圈(38)、下定子下侧旋转驱动线圈(41)、上定子左下一号垂直检测加矩电极(42)、上定子左下二号垂直检测加矩电极(43)、上定子左上一号垂直检测加矩电极(45)、上定子左上二号垂直检测加矩电极(46)、上定子右上一号垂直检测加矩电极(48)、上定子右上二号垂直检测加矩电极(49)、上定子右下一号垂直检测加矩电极(51)、上定子右下二号垂直检测加矩电极(52)、与上定子左侧旋转驱动线圈(44)、上定子上侧旋转驱动线圈(47)、上定子右侧旋转驱动线圈(50)、上定子下侧旋转驱动线圈(53)的高度高。
5.根据权利要求1所述的静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺，其特征是转子下侧上阻挡柱(56)、转子下侧右阻挡柱(57)、转子下侧下阻挡柱(60)、转子下侧左阻挡柱(63)、转子上侧上阻挡柱(66)、转子上侧右阻挡柱(67)、转子上侧下阻挡柱(68)和转子上侧左阻挡柱(69)的高度相等，且比下定子左侧旋转驱动线圈(32)、下定子上侧旋转驱动线圈(35)、下定子右侧旋转驱动线圈(38)、下定子下侧旋转驱动线圈(41)、上定子上侧旋转驱动线圈(47)、上定子右侧旋转驱动线圈(50)、上定子下侧旋转驱动线圈(53)和上定子左侧旋转驱动线圈(44)的高度高。
6.根据权利要求1所述的静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺，其特征是转子外侧右阻挡柱(58)、转子内侧右阻挡柱(59)、转子外侧左阻挡柱(61)、转子内侧左阻挡柱(62)、转子外测上阻挡柱(64)、转子内侧上阻挡柱(65)具有相同的高度且比下定子外侧左下公共检测电极(4)、下定子左一号外侧检测加矩电极(5)、下定子左二号外侧检测加矩电极(6)、下定子外侧左上公共检测电极(7)、下定子上一号外侧检测加矩电极(8)、下定子上二号外侧检测加矩电极(9)、下定子外侧右上公共检测电极(10)、下定子右一号外侧检测加矩电极(11)、下定子右二号外侧检测加矩电极(12)、下定子外侧右下公共检测电极(13)、下定子下一号外侧检测加矩电极(14)、下定子下二号外测检测加矩电极(15)、下定子内侧左下公共检测电极(16)、下定子左一号内侧加矩电极(17)、下定子左二号内侧加矩电极(18)、下定子内侧左上公共检测电极(19)、下定子上一号内侧加矩电极(20)、下定子上二号内侧加矩电极(21)、下定子内侧右上公共检测电极(22)、下定子右一号内侧加矩电极(23)、下定子右二号内侧加矩电极(24)、下定子内侧右下公共检测电极(25)、下定子下一号内侧加矩电极(26)、下定子下二号内侧加矩电极(27)的高度低。
全文摘要
一种静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺，本发明包括上定子、转子、下定子。上、下定子分别设置加矩检测电极、公共电极及旋转驱动线圈，并通过侧向电极将上下定子连接在一起，并形成一个环形腔，环形转子位于此腔中，构成一陀螺系统。采用环形转子，通过侧向电极进行检测和加矩控制，有效增加了系统的侧向刚度。使用阻挡柱有效防止转子与上定子、下定子发生接触，增加系统工作的稳定性。通过静电悬浮，旋转驱动采用异步电动机原理，控制简单，克服了电磁阻尼对转速的限制，且发热大大降低，转速仅受驱动力矩和真空度限制。设有专门的侧向稳定装置，侧向刚度高。且采用MEMS技术，具有成本低、精度高、易批量、功耗微的特点。
文档编号H02N15/00GK1877256SQ20061002864
公开日2006年12月13日 申请日期2006年7月6日 优先权日2006年7月6日
发明者张卫平, 周海军, 陈文元 申请人:上海交通大学