专利名称：射频离子电源的制作方法
技术领域：
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本发明涉及一种电源技术领域，具体的说是一种射频离子电源。
背景技术：
现有的射频电源技术采用它激式石英晶体稳频，功率输出采用金属陶瓷四
极管FU-100F。电子管与电缆之间采用匹配网络。电缆与负载之间，由匹配箱来
实现匹配。由于电源的工作与负载的匹配连接完全是由电源与负载之间加装匹 配箱来完成负载之间的匹配。匹配的性能好坏直接影响到生产中镀膜的质量、 由于设备中电极参数不断的发生变化致使匹配性能难于控制，使操作工的操作 难度增加，同时产品质量也难以得到保证。
发明内容
本发明的目的旨在改进背景技术之不足而提供一种全自动控制的，能够有 效提高产品加工质量的自匹配射频离子电源。 本发明采用如下技术方案
一种射频离子电源，包括可调电源电路，推挽放大自激振荡电路，稳压滤 波电路，藕合输出电路，所述可调电源电路对功率、电压进行调节，该可调电 源电路的输出端连接有静电除尘器，该静电除尘器的另一端通过稳压滤波电路 与推挽放大自激振荡电路连接，该推挽放大自激振荡电路的另一端与藕合输出 电路连接，该藕合输出电路的另一端接设备负载，该设备负载发出的信号反馈 给推挽放大自激振荡电路。
采用上述技术方案的本发明与现有技术相比，所设置的推挽放大自激振荡 电路，由电容提供正反馈信号，并通过电子管进行功率放大，实现电源与设备 间的阻抗匹配；该电源的射频峰值电压高，工作开始不需要点火装置，且能够 在较高的真空度下并且在高功率下轰击，镀膜夹具不粘晶片，对高频晶片的镀 膜效率有很大的提高；增设的静电除尘器完全消除工作过程中由于静电的影响
造成的粘附现象。
作为本发明技术方案的进一步改进，所述藕合输出电路中输出高频信号，
其输出线圈(L2)与设备负载之间产生选频网络，实现电源与设备的阻抗匹配。 作为本发明技术方案的进一步改进，所述的静电除尘器与可调电源并联后
再与推挽放大自激振荡电路连接。
作为本发明技术方案的进一步改进，所述的推挽放大自激振荡电路中设有
两个高频功率电子管，分别为第一高频功率电子管(Qi)和第二高频功率电子 管(Q2)，所述第一高频功率电子管(Q。与第二高频功率电子管(Q2)的阳极 之间串接有电感线圈(L。，该电感线圈(L。分别与电容(d)和电容(C2) 的一端并联，该电容(C。另一端与电感(L3)并接后与第一高频功率电子管 (Q》的栅极连接，所述电容(C2)的另一端与电感(L4)并接后与第二高频 功率电子管(Q2)的栅极连接。
图l是本发明的电路方框图。 图2是本发明的电路原理图。
具体实施例方式
下面结合附图及实施例详述本发明
一种射频离子电源，参见附图1和附图2，由可调电源电路1，推挽放大
自激振荡电路2，藕合输出电路3，设备负载4，静电除尘器5，稳压滤波电路6， 输出电缆7，电流指示电路8组成。
可调电源电路l对功率、电压进行调节，可调电源电路l的输出端连接有静
电除尘器5和电流指示电路8，静电除尘器5的另一端与推挽放大自激振荡电路 2连接，推挽放大自激振荡电路2的另一端通过稳压滤波电路6与推挽放大自激 振荡电路2连接，藕合输出电路3的另一端通过输出电缆7接设备负载4的上 电极，设备负载4发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路3。
藕合输出电路3中输出高频信号，其输出线圈L2与设备负载4之间产生选 频网络，实现电源与设备的阻抗匹配。
静电除尘器5中的电容C7与可调电源电路1并联后再与推挽放大自激振荡 电路2连接。
推挽放大自激振荡电路2中设有两个高频功率电子管，分别为第一高频功 率电子管Qi和第二高频功率电子管Q2，第一高频功率电子管Q!与第二高频功 率电子管Q2的阳极之间串接有电感线圈Lp电感线圈"分别与电容d和电容 C2的一端并联，电容d另一端与电感L3并接后与第一高频功率电子管Qi的栅
极连接，电容C2的另一端与电感L4并接后与第二高频功率电子管Q2的栅极连接。
推挽放大自激振荡电路2，由电容d和C2提供正反馈信号，并通过第一高 频功率电子管(^与第二高频功率电子管Q2进行功率放大，实现电源与设备间的 阻抗匹配；该电源的射频峰值电压高，工作开始不需要点火装置，且能够在较 高的真空度下并且在高功率下轰击，镀膜夹具不粘晶片，对高频晶片的镀膜效 率有很大的提高；增设的静电除尘器5完全消除工作过程中由于静电的影响造 成的粘附现象。
本实施实施例安装操作简单、使用方便，接好电源(220V)，用功率输出专 用电缆将该机功率输出插口与负载连接好，工作控制由外控信号输入插孔输入 控制信号(外控信号要求为一组常开触点，闭合开始工作，断开停止工作)，电 磁阀电源线与供气电磁阀(-220V)连接好，然后将电源开关置于ON的位置， 功能开关置于自动，功率调节至150V左右，待外控输入工作信号开始工作后可 根据实际需要再调整功率调节旋钮至适当位置即可。
本实施例设有手动试验按钮，即当功能开关置于手动位置时按下手动按钮 即开始工作，松开则停止工作，此按钮只作为维修人员在维修试验时使用；本 实施例正常工作电流为0-320mA (电流表指示)， 一般不宜超过340inA，否则 将影响设备的工作寿命。
权利要求
1、一种射频离子电源，包括可调电源电路，推挽放大自激振荡电路，稳压滤波电路，藕合输出电路，其特征在于所述可调电源电路对功率、电压进行调节，该可调电源电路的输出端连接有静电除尘器，该静电除尘器的另一端通过稳压滤波电路与推挽放大自激振荡电路连接，该推挽放大自激振荡电路的另一端与藕合输出电路连接，该藕合输出电路的另一端接设备负载，该设备负载发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路。
2、 根据权利要求l所述的射频离子电源，其特征在于所述藕合输出电路 中输出高频信号，其输出线圈(L2)与设备负载之间产生选频网络，实现电源 与设备的阻抗匹配。
3、 根据权利要求1所述的射频离子电源，其特征在于所述的静电除尘器 中的电容与可调电源电路并联后再与推挽放大自激振荡电路连接。
4、 根据权利要求1所述的射频离子电源，其特征在于所述的推挽放大自 激振荡电路中设有两个高频功率电子管，分别为第一高频功率电子管(Q。和 第二高频功率电子管(Q2)，所述第一高频功率电子管(Q,)与第二高频功率电子管(Q2)的阳极之间串接有电感线圈(L。，该电感线圈(L》分别与电容(d) 和电容(C2)的一端并联，该电容(C。另一端与电感(L3)并接后与第一高频 功率电子管(Q!)的栅极连接，所述电容(C2)的另一端与电感(L4)并接后 与第二高频功率电子管(Q2)的栅极连接。
全文摘要
本发明涉及电源技术领域，具体地说是一种射频离子电源。包括可调电源电路，推挽放大自激振荡电路，藕合输出电路，所述可调电源电路对功率、电压进行调节，该可调电源电路的输出端连接有静电除尘器，该静电除尘器的另一端通过稳压滤波电路与推挽放大自激振荡电路连接，该推挽放大自激振荡电路的另一端与藕合输出电路连接，该藕合输出电路的另一端接设备负载，该设备负载发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路。设置的推挽放大自激振荡电路实现电源与设备间的阻抗匹配；电源的射频峰值电压高，工作开始不需要点火装置，增设的静电除尘器完全消除工作过程中由于静电的影响造成的粘附现象。
文档编号H02M1/44GK101552551SQ20091014326
公开日2009年10月7日 申请日期2009年5月22日 优先权日2009年5月22日
发明者张建伟 申请人:唐山海通电子有限公司