专利名称：精密重载真空直线导入装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空导入装置，具体地说是一种将动力由大气环 境传递到真空环境驱动工件实现高精度直线运动的精密重载真空直 线导入装置。
背景技术：
目前，现有的精密真空导入机构的构造是由步进电机、驱动器、 联轴节、滚珠丝框(精密丝杠)、滚珠丝母(精密丝母)、轴承、直线 导轨和焊接波紋管组成，经过焊接、装配而成。将工件与波紋管连接， 步进电机通过联轴节与滚珠丝杠相连，电机通电后，驱动器给出脉冲 信号，电机驱动丝杠旋转，推动与焊接波紋管相连接的丝母带动波紋 管沿直线导轨运动。但是，从步进电机到丝杠需要联轴器联接、丝杠 需要轴承支撑定位，由于环节过多会导致整套系统精度下降，而且安 装空间过大还会导致负载对直线导轨的弯矩增大，降低系统的精度。
实用新型内容
为了解决现有真空导入机构的上述问题，本实用新型的目的在于 提供一种传动精度高、安装空间小的精密重载真空直线导入装置，该 装置能够充分利用空间减小弯矩，而且减少了中间环节。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的
本实用新型包括直线步进电机、固定板、刀口法兰及波紋管，所 述固定板设置在刀口法兰上，直线步进电机安装在固定板上，直线步 进电机上设有作为输出轴的丝杠，丝杠上螺紋连接有丝母，带有滑块 的连接板与丝母相连接、与丝母连动；所述波紋管内设有空心轴，波 紋管的一端与法兰相连、空心轴的一端由法兰穿出，波紋管的另一端 通过过渡板与连接板相连接、丝杠插入空心轴的另一端；在固定板上 设有直线导轨，滑块在直线导轨上往复移动。
其中所述连接板上设有调节过渡板与连接板之间间距的调节螺 钉；所述法兰上固接有固定支座，固定板的一端与固定支座螺紋连接， 另一端固接有电机座，直线步进电机安装在电机座上；所述过渡板为 方形，其上开有多个螺紋孔，波紋管的另一端通过内六角螺栓与过渡 板相连接，连接板通过锁紧螺钉与过渡板相连接。
本实用新型的优点与积极效果为1. 本实用新型釆用直线步进电机，将丝杠整合在电机内部，直 接驱动丝杠旋转，这样就可以取代普通的步进电机、联轴节、滚珠丝 杠(精密丝杠)、轴承，减少了中间环节、降低装配难度，从而提高 了系统的精度。
2. 釆用直线步进电机后，不再需要安装联轴节、轴承等零件， 可以有效地减小安装空间，进而减小负载所产生的弯矩。
3. 本实用新型可通过调节螺钉对驱动部件进行调整，保证了精 密重载的直线导入。
图l为本实用新型的主视图，
图2为图1的A—A剖视其中l为法兰，2为固定支座，3为波紋管，4为空心轴，5为 固定板，6为电机座，7为直线步进电机，8为丝母，9为锁紧螺钉， 10为调节螺钉，11为过渡板，12为内六角螺栓，13为连接板，14 为滑块，15为直线导轨，16为丝杠。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详述。
如图1、图2所示，本实用新型包括法兰1、固定支座2、波紋 管3、空心轴4、固定板5、电机座6、直线步进电机7、丝母8、过 渡板ll、连接板13、滑块14、直线导轨15及丝杠16,法兰l与真 空室密封连接，固定支座2固定安装在法兰1上，固定板5的一端与 固定支座2螺紋连接、便于拆卸，另一端固接有电机座6，直线步进 电机7安装在电机座6上。直线步进电机7的输出轴为丝杠16,丝 杠16上螺紋连接有丝母8，该丝母8通过螺钉与连接板13固接，直 线步进电机7的转动输出通过丝母8与丝杠16的螺紋连接变成连接 板13的上下移动。固定板5上固接有直线导轨15,连接板13上通 过螺钉固接有滑块14,滑块14套设在直线导轨15上，可在直线导 轨15上往复移动。波紋管3内经氩弧焊焊接有空心轴4,波紋管的 一端通过氩弧焊焊接在法兰1上，空心轴4的一端由法兰1穿出、与 驱动部件相连接；波紋管的另一端通过内六角螺栓12固接有过渡板 11,丝杠16插入空心轴4的另一端，空心轴4的中空内腔为丝杠16
预留了运动及调节空间。过渡板ll为方形，其上开有多个螺紋孔； 过渡板11位于连接板13的下方、与连接板13通过锁紧螺钉9相连 接。连接板13上还设有可以调节其与过渡板11之间间距的调节螺钉 10。
本实用新型的工作原理为直线步进电机7工作，驱动丝杠16转动，丝杠16通过与丝母8
的螺紋连接使丝母8直线运动，并带动连接板13通过滑块14沿直线 导轨15平稳运动，波紋管3张开或收缩，通过与空心轴4相连接的 驱动部件实现精密重载的真空直线导入。当与空心轴4相连接的驱动 部件位置需要微量调整时，可拧开锁紧螺钉9,使用调节螺钉10调 节过渡板11与连接板13的间距，保证精密重载的直线导入，调整好 后紧固锁紧螺钉9即可。
本实用新型的直线步进电机为巿购产品，购置于海顿直线电机 (常州)有限公司生产的混合式57000#external的直线步进电机； 法兰1为CF150刀口法兰。
权利要求1.一种精密重载真空直线导入装置，其特征在于包括直线步进电机(7)、固定板(5)、刀口法兰(1)及波纹管(3)，所述固定板(5)设置在刀口法兰(1)上，直线步进电机(7)安装在固定板(5)上，直线步进电机(7)上设有作为输出轴的丝杠(16)，丝杠(16)上螺纹连接有丝母(8)，带有滑块(14)的连接板(13)与丝母(8)相连接、与丝母(8)连动；所述波纹管(3)内设有空心轴(4)，波纹管(3)的一端与法兰(1)相连、空心轴(4)的一端由法兰(1)穿出，波纹管(3)的另一端通过过渡板(11)与连接板(13)相连接、丝杠(16)插入空心轴(4)的另一端；在固定板(5)上设有直线导轨(15)，滑块(14)在直线导轨(15)上往复移动。
2. 按权利要求1所述的精密重载真空直线导入装置，其特征在 于所述连接板(13)上设有调节过渡板(11)与连接板(13)之间 间距的调节螺钉(10)。
3. 按权利要求1所述的精密重载真空直线导入装置，其特征在 于所述法兰(1)上固接有固定支座(2)，固定板(5)的一端与固 定支座(2 )螺紋连接，另 一端固接有电机座(6 )，直线步进电机(7 ) 安装在电机座(6)上。
4. 按权利要求l所述的精密重载真空直线导入装置，其特征在 于所述过渡板(11)为方形，其上开有多个螺紋孔，波紋管(3) 的另 一端通过内六角螺栓(12 )与过渡板(11 )相连接，连接板(13 ) 通过锁紧螺钉(9)与过渡板(11)相连接。
专利摘要本实用新型涉及真空导入装置，具体地说是一种精密重载真空直线导入装置，包括直线步进电机、固定板、刀口法兰及波纹管，固定板设置在刀口法兰上，直线步进电机安装在固定板上，直线步进电机上设有作为输出轴的丝杠，丝杠上螺纹连接有丝母，带有滑块的连接板与丝母相连接、与丝母连动；波纹管内设有空心轴，波纹管的一端与法兰相连、空心轴的一端由法兰穿出，波纹管的另一端通过过渡板与连接板相连接、丝杠插入空心轴的另一端；在固定板上设有直线导轨，滑块在直线导轨上往复移动。本实用新型采用直线步进电机，将丝杠整合在电机内部，直接驱动丝杠旋转，减少了中间环节、降低装配难度，从而提高了系统的精度。
文档编号H02K7/116GK201430500SQ20092001498
公开日2010年3月24日 申请日期2009年6月30日 优先权日2009年6月30日
发明者辉 佟, 影 孙, 张晓哲, 鹏 李, 良 汪 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司