专利名称：一种单晶片悬臂式压电振动发电机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种压电振动发电机，尤其是一种单晶片悬臂式压电振动发电机。
背景技术：
微电子、无线网络传感器和MEMS等低功耗产品得到了大力发展，它们主要的供能方式是化学电池，但是化学电池存在着诸多弊端，如电池寿命有限，需要定时更换，有时环境限制而更换困难。环境存在多种低频机械振动能，如果能从周围环境中收集能量，实现自供能，将能解决能源不足的问题。压电俘能器因具有较高的功率密度和机电耦合系数，无需外界电源，不发热、无电磁干扰、无污染和易于实现结构的小型化、集成化等优点，且能满足此类低功耗产品的供能需求被广泛用作俘能元件。但是环境中的振动频率一般都比较低， 如汽车发动机的振动频率为50Hz，电力变压器的振动频率为100Hz。对于低频振动能量收集，可以采用压电层与弹性层等长结构的悬臂型单晶压电俘能器来实现，但是这种结构的工作效率较低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述背景技术的不足，提供了一种压电层与弹性层长度比为0. 66的单晶片悬臂式压电俘能装置。本发明为实现上述发明目的采用如下技术方案一种单晶片悬臂式压电振动发电机，所述压电振动发电机通过导线与负载连接， 所述压电振动发电机包括基座、弹性层、压电层、粘结层、质量块；其中所述弹性层的一端与基座固定连接，弹性层的另一端与质量块固定连接，压电层通过粘结层粘结在弹性层的上表面，压电层的上表面和下表面分别镀有一个电极。所述单晶片悬臂式压电振动发电机中，压电层和弹性层的厚度比为1 1，压电层和弹性层有效长度的比值为0. 66。所述单晶片悬臂式压电振动发电机中，压电层为PZT-5H型压电陶瓷，所述弹性层的材料为不锈钢。本发明采用上述技术方案，具有以下有益效果提高了单晶片悬臂式压电振动发电机的开路输出功率。
图1为单晶片悬臂式压电发电结构模型示意图。图2为压电层与弹性层长度比与压电振动发电机开路输出功率关系的示意图。图3为单晶片低频悬臂式压电振动发电机给负载供电的电路图。图中标号说明1为基座，2为弹性层，3为压电层，4为粘结层，5为质量块，6和7 为金属银电极，8和9为导线，10为负载。
具体实施例方式下面结合附图对发明的技术方案进行详细说明如图1所示的单晶片悬臂式压电振动发电机，包括基座1、弹性层2、压电层3、质量块5。弹性层2的一端与基座1固定连接，弹性层2的另一端与质量块5固定连接。单晶片低频悬臂式压电振动发电机给负载供电的电路图如图3所示，弹性层2超出压电层3的部分嵌入到基座1内，称为固定端，与固定端相对应的悬臂梁的另一端称为自由端。在自由端固定有质量块5，质量块5为具有较高密度的材料如钨、镍、铅等材料。弹性层2和压电层3通过粘结层4粘结在一起。粘结层的厚度足够薄，使电极7和弹性层4之间能够保持短路状态。弹性层2的材质为不锈钢，压低层3选用了 PZT-5H型压电陶瓷，粘结层的材料为504强力胶，其组分比例为A B = 2 1。压电层3厚度和弹性层2厚度相等，压电层2长度Lp和悬臂梁有效长度L之间的长度比为0. 66。压电层3的上表面和下表面分别镀有一个金属银电极6和7，两个金属银电极6和7分别通过导线8、弹性层4和导线9与负载10连接。由压电陶瓷的正压电效应原理
权利要求
1.一种单晶片悬臂式压电振动发电机，所述压电振动发电机通过导线与负载连接，其特征在于包括基座、弹性层、压电层、粘结层、质量块；其中所述弹性层的一端与基座固定连接，弹性层的另一端与质量块固定连接，压电层通过粘结层粘结在弹性层的上表面，压电层的上表面和下表面分别镀有一个电极。
2.根据权利要求1所述的单晶片悬臂式压电振动发电机，其特征在于所述压电层和弹性层的厚度比为1 1，压电层和弹性层有效长度的比值为0. 66。
3.根据权利要求1所述的单晶片悬臂式压电振动发电机，其特征在于所述压电层为 PZT-5H型压电陶瓷，所述弹性层的材料为不锈钢。
全文摘要
本发明涉及一种压电振动发电机，尤其是一种单晶片悬臂式压电振动发电机。所述单晶片悬臂式压电振动发电机包括基座、弹性层、压电层、粘结层、质量块。采用大弹性模量的弹性层、厚度与弹性层相等而长度不等的压电层压电层以及大密度的质量块，提高了单晶片悬臂式压电振动发电机的开路输出功率。
文档编号H02N2/18GK102420542SQ201110445248
公开日2012年4月18日 申请日期2011年12月28日 优先权日2011年12月28日
发明者谭林林, 邹玉炜, 黄学良 申请人:东南大学