专利名称：弹性边界波装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在多个介质间配置了电极的弹性边界波装置，更具体 来说，涉及一种构成具备滤波器、与滤波器连接的共振子及静电电容的电 路的弹性边界波装置。
背景技术：
弹性边界波装置中，在不同的介质间的界面配置IDT (叉指换能器-Interdigitaltransduser),弹性边界波在上述界面中传播。所以，与弹性表面 波装置相比，弹性边界波装置中，不需要复杂的封装，可以促进构造的简 化及低背化。该种弹性边界波装置的一个例子公布于下述的专利文献1中。但是，在弹性边界波装置中，也可以与弹性表面波装置相同，通过形 成各种电极，来构成各种共振子、滤波器或者包括共振子或滤波器的复合 电路。弹性表面波装置中，在滤波器上连接静电电容之时，多使用具有与IDT 相同的电极构造的梳形电容电极。在弹性边界波装置中，为了改善弹性边 界波滤波器的衰减量，通过在上述界面上也配置该种梳形电容电极，与滤 波器连接，则可以改善衰减量。专利文献l:特开昭58—30217号公报梳形电容电极与IDT相同，具有互相间插的多条电极指。所以，在想 要单纯地获得静电电容的梳形电容电极中，当向应当与一方的电位连接的 电极指与应当与另一方的电位连接的电极指之间施加电位时，则会有作为 弹性边界波共振子发挥作用的情况。即，在梳形电容电极中有可能激发出 并非所需的弹性边界波，作为不需要共振而显现在频率特性上。当梳形电容电极如上所述地作为IDT发挥作用，产生并非所需的共振 时，则在利用了弹性边界波的滤波器装置中滤波器特性就会受损。特别是， 在梳形电容电极的频率特性方面，在比梳形电容电极的主要的共振更高的 频带中，显现出很多的响应。所以，由梳形电容电极的激发造成的共振以 及高频侧的很多响应作为弹性边界波滤波器装置的并非所需的乱真(suprious)响应显现，容易大大地损害滤波器特性。 发明内容本发明的目的在于，解决上述的以往技术的缺点，提供一种弹性边界 波装置，是在滤波器上连接有梳形电容电极的静电电容的弹性边界波装 置，难以产生梳形电容电极的激发所致的并非所需的响应所造成的滤波器 特性的恶化。在本发明的大的方面上，提供一种弹性边界波装置，其特征是，具备 介质；叠层于上述第一介质上的第二介质；配置于上述第一、第二介质间 的边界上的多个电极，利用上述多个电极，构成滤波器及/或共振子、与该 滤波器及/或共振子电连接的静电电容，上述滤波器及/或共振子都是使用 IDT电极构成，上述静电电容由梳形电容电极形成，在将上述IDT的电极 指的周期设为入m，将该IDT的弹性边界波的声速设为Vm，将上述梳形 电容电极的电极指的周期设为Ac，将梳形电容电极的电极指法线方向的 第一、第二介质的各自的慢的横波的声速中的声速慢的横波的声速设为 Vc的情况下，使得Vm/入m<Vc/入c。本发明的某个具体的方面中，将上述IDT的电极指的周期A m与梳形 电容电极的电极指的周期入m的关系设为A c>0.5 X入m。本发明的另一个具体的方面中，由上述多个电极构成上述滤波器和上 述共振子，将滤波器的端子与共振子串联连接，在连接上述滤波器和上述 共振子的电极上并联连接梳形电容电极。本发明的另一个具体的方面中，作为上述滤波器及共振子，并联地配 置1对具有第一、第二端子的第一滤波器和第一共振子的组；具有第一、 第二端子的第二滤波器和第二共振子的组，将上述第一滤波器的第一端子 与上述第二滤波器的第一端子连接而作为输入端子，由上述第一滤波器的 第二端子输出的电信号与由上述第二滤波器的第二端子输出的电信号的 极性反转，还具备将上述第一滤波器的第二端子与上述第一共振子串联连 接的第一连接电极、将上述第二滤波器的第二端子与上述第二共振子串联 连接的第二连接电极，上述第一连接电极与上述第二连接电极由梳形电容 电极并联连接。本发明的另一个具体的方面中，作为上述梳形电容电极，具有分别与 第一、第二滤波器连接的第一、第二梳形电容电极，第一、第二梳形电容 电极的一端之间被共同地连接，并且接地。本发明的另一个具体的方面中，使得成为上述梳形电容电极的主响应的弹性边界波传播模式的声速比构成上述第一共振子及第二共振子的IDT的弹性边界波的传播模式的声速更快。本发明的另一个具体的方面中，使得上述梳形电容电极的电极指的长度方向与构成上述第一共振子及第二共振子的IDT的电极指的长度方向 不同。本发明的弹性边界波装置中，叠层有第一介质和第二介质，在第一、 第二介质间的边界上配置多个电极。此外，由该多个电极至少构成滤波器 及/或共振子、静电电容，滤波器及/或共振子分别使用IDT构成，静电电 容由梳形电容电极形成，如上所述，由于设为Vm/Am<Vc/Ac，因此由梳 形电容电极激发的弹性边界波的频率位置与滤波器及/或共振子的传输频 带或共振点分离。而且，在单纯地将由梳形电极激发的弹性边界波的位置向高频侧移动的情况下，梳形电容电极的电极指间距变得过小，在现实中无法制造。与 之不同，本发明中，由于如上所述地设为Vm/Am<Vc/Ac,因此与由梳形电容电极激发的弹性边界波所被截取的频率相比，弹性边界波装置的所需 的频带被降低，所以就可以在将与梳形电容电极的电极指间距设为能够制 造的大小的同时，实现滤波器特性或共振特性的改善。由上述多个电极构成滤波器和共振子，将滤波器的端子与共振子串联 连接，因而在连接上述滤波器与上述共振子的电极上并联连接梳形电容电 极的情况下，通过设为此种电路构成，就可以利用弹性边界波的大的机电 耦合系数将滤波器与共振子的连接部的阻抗在滤波器的传输频带附近设 为电感性，通过在其上并联电容，就可以在传输频带中取得连接部的匹配。 另外，通过在传输频带外偏离匹配点，就可以将衰减量优化。
本发明中，作为滤波器与共振子，并联地配置有一对上述第一滤波器 和第一共振子的组、第二滤波器与第二共振子的组，将第一、第二滤波器 的第一端子共同连接而设为输入端子，因而在由第一滤波器和第二端子输 出的电信号、由第二滤波器的第二端子输出的电信号、由第二滤波器的第 二端子输出的电信号极性反转的情况下，依照本发明可以提供具有平衡一 不平衡变换功能的弹性边界波装置。另外，作为上述梳形电容电极，具有与第一、第二滤波器分别连接的 第一、第二梳形电容电极，在将第一、第二梳形电容电极的一端之间共同 地连接，并且接地的情况下，就可以有效地提高平衡度。在成为梳形电容电极的主响应的弹性边界波传播模式的声速与构成第一、第二共振子的IDT的弹性边界波的传播模式的声速相比更快的情况 下，在梳形电容电极中被激发的弹性边界波的响应就会位于比在上述滤波 器及与滤波器连接的第二共振子中传播的弹性边界波更靠高频侧。所以， 就可以将由成为梳形电容电极的主响应的弹性边界波传播模式造成的响 应可靠地配置于滤波器的频带外，可以实现滤波器特性的改善。在梳形电容电极的电极指的长度方向与构成第一、第二共振子的IDT 的电极指的长度方向不同的情况下，即使在梳形电容电极中激发出了弹性 边界波，也会妨碍构成第一、第二共振子的IDT的电极指对所激发的弹性 边界波的接收，由此可以进一步实现滤波器特性的改善。
图1 (a)及(b)是本发明的一个实施方式的弹性边界波装置的示意 性俯视剖面图及局部切开前视剖面图，(c)是上述实施方式的变形例的弹 性边界波装置的示意性俯视剖面图。图2是将图1所示的弹性边界波装置的梳形电容电极放大表示的示意 性俯视图。图3是表示LiNb03的欧拉角的i};与弹性边界波的声速的关系的图。 图4是表示LiNb03的欧拉角的々与弹性边界波的机电耦合系数K2 的关系的图。图5是用于说明IDT的电极指法线方向的与LiNb03的Ai轴的角度ip 的示意性俯视图。图6 (a)及(b)是表示作为图1所示的弹性边界波装置的第二共振 子设为屮=0°时的弹性边界波共振子的阻抗特性及相位特性的图。图7 (a)及(b)是表示图1所示的弹性边界波装置中所用的梳形电 容电极的々=90°时的阻抗特性及相位特性的图。图8 (a)、 (b)是表示图1所示的弹性边界波装置的主要模式附近的 阻抗特性及相位特性的图。图9 (a)及(b)是表示本发明的一个实施方式的弹性边界波装置的 滤波器特性的各图。其中，1…弹性边界波装置，2…第一介质，3…第二介质，4、 5…纵 向耦合共振子型弹性边界波滤波器部，5a 5c…IDT， 6、 7…弹性边界波 共振子(第二共振子)，6a、 7a…IDT， 6b、 6c…反射器，7b、 7c…反射器， 8、 9A、 9B…梳形电容电极，8a、 8b…电极指，11、 12…连接电极，21… IDT， 21a…电极指。
具体实施方式
下面通过在参照附图的同时对本发明的具体的实施方式进行说明，来 阐明本发明。图1 (a)及(b)是本发明的一个实施方式的弹性边界波装置的示意 性俯视剖面图及局部切开前视剖面图。弹性边界波装置1具有将第一介质2、第三介质3叠层而成的叠层体。 本实施方式中，第一介质2由LiNb03构成，第二介质3由Si02构成。在第一、第二介质2、 3的界面上，形成有多个电极。该多个电极包 括图1 (a)所示的纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4、 5、单端口 型弹性边界波共振子6、 7及梳形电容电极8。图1 (b)中，表示有形成纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4 的部分。 '
如图1 (a)所示，纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4、 5分别 具有沿弹性边界波传播方向配置的3个IDT4a 4c、 5a 5c。纵向耦合共 振子型弹性边界波滤波器部4、 5的中央的IDT4b、 5b的一端与输入端连 接。此外，两侧的IDT4a、 4c、 5a、 5c分别与作为第二共振子的单端口型 弹性边界波共振子6、 7连接。弹性边界波共振子6、 7具有IDT6a、 7a和配置于IDT6a、 7a的两侧 的反射器6b、 6c、 7b、 7c。纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4、 5 借助上述弹性边界波共振子6、 7与输出端子连接。艮口，纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4、 5分别由以IDT4a 4c、 5a 5c形成的第一共振子构成。此外，在纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4、 5上串联有上述 弹性边界波共振子6、 7。本实施方式中，上述纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4及弹性 边界波共振子6构成第一滤波器及第一共振子的组，纵向耦合共振子型弹 性边界波滤波器部5及单端口型弹性边界波共振子7构成第二滤波器和第 二共振子的组，它们被并列地配置。另外，第一弹性边界波滤波器部4及第二弹性边界波滤波器部5的一 方的端子被共同地连接，设为输入端子IN。另一方面，弹性边界波滤波器部4、 5分别利用连接电极11、 12与弹 性边界波共振子6、 7电连接。而且，图1 (a)及后述的图1 (c)中的将G用圆圈包围的符号表示 该电极与接地电位连接。而且，梳形电容电极8被与纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4、 5的输出端和接地电位之间连接地，即与纵向耦合共振子型弹性边界波滤 波器部4、 5并联地连接。将梳形电容电极8在图2中放大而以示意性俯视图表示。梳形电容电 极8具有互相间插的多条电极指8a、 8b，具有与IDT4a 4c、 5a 5c、 6a、 7a相同的构造。梳形电容电极8是为了将静电电容与纵向耦合共振子型弹性边界波滤 波器部4、 5并联而设置的。梳形电容电极8可以用与IDT4a 4c、 5a 5c、6a、7a相同的材料同时地形成，由此就可以降低用于连接静电电容的成本。 不过，梳形电容电极8也可以由与IDT4a 4c、 5a 5c等不同的材料 构成。本实施方式的弹性边界波装置1中，由于由第一纵向耦合共振子型弹 性边界波滤波器部4输出的电信号的极性与由第二纵向耦合共振子型弹性 边界波滤波器部5输出的电信号的极性被反转，两者的各一端被共同地连 接而设为输入端子IN，因此可以提供具有平衡一不平衡变换功能的滤波器 装置。而且，本实施方式中，上述梳形电容电极8的电极指的长度方向与 IDT4a 4c、 5a 5c的电极指的长度方向不同，并且作为第二共振子的弹 性边界波共振子6、 7的IDT6a、 7a的电极指的长度方向也不同。在梳形 电容电极8的电极指长度方向与IDT4a 4c、 5a 5c、 6a、 7a的电极指长 度方向不同的情况下，即使利用梳形电容电极激发出了弹性边界波， IDT4a 4c、 5a 5c、 6a、 7a对此种弹性边界波的接收效率也会降低。所 以，可以降低由梳形电容电极8激发的弹性边界波的影响，因而优选。本实施方式的弹性边界波装置1的特征在于，当将上述IDT4a 4c、 5a 5c、 6a、 7a的周期设为人m，将各IDT中的弹性边界波的声速设为 Vm，将梳形电容电极8的周期设为入c，将梳形电容电极8的电极指法线 方向上的在第一、第二介质2、 3中传播的慢的横波当中的低声速的横波 的声速设为Vc时，则设为Vm/入nKVc/入c，由此就难以受到因设置梳形 电容电极8而造成的乱真的影响，可以实现良好的滤波器特性。上述梳形电容电极8由于设于第一、第二介质2、 3之间，因此如前 所述，可以与IDT4a 4c等同时地用相同的材料形成。而且，由于LiNbCb 的介电常数为44，比较大，因此可以利用小的梳形电容电极8获得足够大 小的静电电容。但是，如前所述，在与作为压电体的LiNb03接触地设置梳形电容电 极8的情况下，由于是在梳形电容电极8的与不同电位连接的电极指之间 施加电位，因此梳形电容电极8与IDT4a 4c等相同地作为IDT发挥作用， 激发弹性边界波。由梳形电容电极8激发的弹性边界波在本来的作为滤波 器使用的频率特性中作为乱真响应而体现。
图7 (a)及(b)分别表示々=90°的梳形电容电极8的阻抗特性及相 位特性。而且，本说明书中，所谓々=90°的梳形电容电极是基于使用了 LiNb03 基板的弹性边界波装置的欧拉角表述的电极。在欧拉角表述中，在将 LiNb03的晶体方位角定义为X、 Y、 Z时，将以Z轴为中心将X轴向Y 轴侧旋转4>的轴设为Al ，将以Al轴为中心轴而将Z轴逆时针旋转e的轴 设为A2，在用以该A2轴作为法线而包括A1轴的平面切割的基板中，将 以A2轴作为中心将A1轴逆时针旋转屮的方向规定为波的传播方向。所 以，所谓1^90°的梳形电容电极是指电极指法线方向相对于Al轴的角度 为90°的电极。同样地，以下说明中，所谓1|;=0°的弹性边界波共振子是 指弹性边界波共振子的IDT的电极指法线方向相对于Al轴的角度为0° 的弹性边界波共振子。从图7 (a)及(b)中可以清楚地看到，梳形电容电极8的IDT的周 期在本实施方式中设为3.4lim。梳形电容电极8在相位达到一90。附近的 频带中作为电容元件发挥作用。而且，图8 (a)及(b)分别是表示t=0°的弹性边界波共振子的阻 抗特性及相位特性的图。从图8 (a)、 (b)中可以清楚地看到，所谓相位 达到一90°附近的条件是满足以下的(1) (3)的条件的部分。(1) 频率FX梳形电容电极8的周期Ac为在至少一方的介质2、 3 中传播的慢的横波的声速以下的频带(2) SH型弹性边界波的基本模式的响应以外的频带(3) P+SV型弹性边界波的基本模式的响应以外的频带如图7 (a)、 (b)及图8 (a)、 (b)所示，当将在至少一方的介质2、 3中传播的慢的横波的声速当中较慢一方的声速设为Vc时，则Vc/入c与 SH型弹性边界波的基本模式响应频率及P+SV型弹性边界波的基本模式 的响应的频率经常是比较接近。所以，例如在梳形电容电极8及弹性边界 波滤波器部4、 5的(J)相同的情况下，即例如在IDT4a 4c、 5a 5c的电 极指长度方向与梳形电容电极8的电极指长度方向相等的情况下，与弹性 边界波滤波器连接的梳形电容电极8的电极指周期入c就被设定为比滤波 器的IDT的周期入m更短，在高频带中，电极指宽度变细，因而不够理想。ii
另一方面，通过使用与纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4、 5 的IDT4a 4c、 5a 5c不同的屮的梳形电容电极8，在高声速化的情况下， 可以将梳形电容电极8的周期入c设定为长出声速比的量。另外，可以将梳形电容电极8的周期Ac设定为长出如下的声速比的量，SP，在梳形电容电极8中未激发与纵向耦合共振子型弹性边界波滤波 器部4、 5相同的模式的弹性边界波，而强烈地激发高声速的其他的模式 的cl)的梳形电容电极8的在纵向耦合共振子型弹性边界波滤波器部4、 5 中的主要模式的声速;与由上述梳形电容电极8激发的其他模式的声速比。图3及图4是表示IDT的传播角ij;与弹性边界波的声速及机电耦合 系数^的关系的图。而且，所谓传播角屮如图5所示，当以IDT21为例 时，则是指IDT21的多条电极指21a的法线与LiNb03的Al轴所成的角度。而且，图3及图4中，弹性边界波装置1的多个电极由Au制成，其 厚度设为0.05人，介质1为Y切割X传播(以欧拉角计为(0° , 105° ，的LiNb03，其厚度设为无限大，Si02的厚度设为无限大，通过计算 而得的结果。从图3及图4中可以清楚地看到，在1}^0°处SH型弹性边界波的机 电耦合系数KM艮大，声速为2960m/秒。另外，P+SV型弹性边界波的机 电耦合系数^基本上变为0。另一方面，在1};=90°处，SH型弹性边界波的机电耦合系数W基本 上变为0， P+SV型弹性边界波的机电耦合系数K^略小，为5%左右，声 速为3180m/秒。由于SH型边界波的机电耦合系数&2变得充分小，而P+SV型边界波 的机电耦合系数&2略大，因此会产生由P+SV型边界波所致的乱真。但 是，由于与屮-0。的梳形电容电极的SH型边界波的声速相比，P+SV型 边界波的声速快7.4%，因此乱真响应频率升高7.4%。所以，只要略微地 减小梳形电容电极8的电极指周期X c，就可以相对于々=0°的SH型边界 波的主响应，将成为乱真的P+SV型边界波的响应向高频侧移动而分开。作为略微地减小梳形电容电极8的电极指周期Xc的程度，优选入 00.5X入m的范围。当人c在该范围内时，则可以在精度优良地制造IDT 电极以及梳形电容电极的电极指的同时，改善乱真。如果对这一点进行进 一步说明，则如下所示。在上述梳形电容电极的电极指的周期入C与梳形电容电极的电极指的周期入m的关系上，当在一个弹性边界波装置中存在线(line)与空隙 (space)大大地不同的梳形电极时，如果想要获得相同的线宽精度，则在 光刻工序的曝光时在细的线宽中焦深就会变得不足，从而无法制造。 一般 来说在线与空隙相差2倍的情况下，就难以制造。基于该情况，通过设为 入O0.5XAm， 一个弹性边界波装置内的线与空隙就会达到2倍以内，,人 而可以制造，能够实现滤波器特性或共振特性的改善。将本实施方式的弹性边界波装置1的滤波器特性表示于图9(a)、 (b) 中。而且，上述滤波器特性是在以下的条件下制作弹性边界波装置1时的 特性。第一介质为厚370nm的LiNbO3，欧拉角为[O。 ， 105° ，々]，其中， 滤波器部的4=0° ，共振子部的屮=30° ，梳形电容电极部的1|;=90° ，第 二介质设为厚m的Si02。 IDT设为将NiCr/Au/NiCr以10/150/10nm的厚度叠层的构造。虽然在上述实施方式中，设有梳形电容电极8，但是也可以将梳形电 容电极8—分为二，如图1 (c)中所示的变形例那样，设置第一、第二梳 形电容电极9A、 9B。该变形例中，将梳形电容电极9A以并联地附加静 电电容的方式连接在由弹性边界波滤波器部4及单端口型弹性边界波共振 子6组成的组上。另外，将梳形电容电极9B以附加静电电容的方式连接 在由弹性边界波滤波器部5及单端口型弹性边界波共振子7组成的组上。此外，梳形电容电极9A、 9B的各一端被共同地连接，与和接地电位 连接的端子电极9C电连接。这里，梳形电容电极9A、 9B的各一端配置 于上述第一组及第二组侧，各图案被配置于梳形电容电极9A、 9B相面对 的一侧。此外，在该梳形电容电极9A、 9B相面对的部分中，即在两者的 中间位置，端子电极9C与梳形电容电极9A、 9B电连接。这样，通过形 成此种梳形电容电极9A、 9B及端子电极9C，就可以进一步提高平衡度。虽然上述实施方式中，第一介质由(0° ， 105° ， 的LiNb03的形 成，然而也可以由其他的晶体方位的LiNb03的形成，或者利用LiTa03等 的压电单晶等压电体形成。
另夕卜，对于第二介质，也可以利用Si02以外的非导电物质，即利用各 种绝缘性材料或介电性材料来构成第二介质。另外，在第二介质上，也可 以再叠层第三介质。
权利要求
1.一种弹性边界波装置，其特征是，具备第一介质；叠层于上述第一介质上的第二介质；配置于上述第一、第二介质间的边界上的多个电极，利用上述多个电极，构成滤波器及/或共振子、和与该滤波器及/或共振子电连接的静电电容，上述滤波器及/或共振子都是使用IDT电极构成，上述静电电容由梳形电容电极形成，在将上述IDT的电极指的周期设为λm，将该IDT的弹性边界波的声速设为Vm，将上述梳形电容电极的电极指的周期设为λc，将梳形电容电极的电极指法线方向的第一、第二介质的各自的慢的横波的声速中的声速慢的横波的声速设为Vc的情况下，满足Vm/λm＜Vc/λc。
2. 根据权利要求1所述的弹性边界波装置，其特征是，满足Xo0.5 X入m。
3. 根据权利要求1或2所述的弹性边界波装置，其特征是，由上述 多个电极构成上述滤波器和上述共振子，将滤波器的端子与共振子串联连接，在连接上述滤波器和上述共振子的电极上并联连接梳形电容电极。
4. 根据权利要求3所述的弹性边界波装置，其特征是， 作为上述滤波器及共振子，并联地配置l对具有第一、第二端子的第一滤波器和第一共振子的组、和具有第一、第二端子的第二滤波器和第二 共振子的组，将上述第一滤波器的第一端子与上述第二滤波器的第一端子连接而 作为输入端子，由上述第一滤波器的第二端子输出的电信号与由上述第二滤波器的 第二端子输出的电信号的极性反转， 还具备将上述第一滤波器的第二端子与上述第一共振子串联连接的 第一连接电极、和将上述第二滤波器的第二端子与上述第二共振子串联连 接的第二连接电极，上述第一连接电极与上述第二连接电极由梳形电容电极并联连接。
5. 根据权利要求4所述的弹性边界波装置，其特征是，作为上述梳 形电容电极，具有分别与第一、第二滤波器连接的第一、第二梳形电容电 极，第一、第二梳形电容电极的一端相互之间被共同连接，并且接地。
6. 根据权利要求4或5所述的弹性边界波装置，其特征是，成为上 述梳形电容电极的主响应的弹性边界波传播模式的声速比构成上述第一 共振子及第二共振子的IDT的弹性边界波的传播模式的声速更快。
7. 根据权利要求4 6中任意一项所述的弹性边界波装置，其特征是， 上述梳形电容电极的电极指的长度方向与构成上述第一共振子及第二共 振子的IDT的电极指的长度方向不同。
全文摘要
本发明提供一种可以抑制由梳形电容电极造成的并非所需的响应的弹性边界波装置。其特征是，具备第一介质；叠层于第一介质上的第二介质；配置于第一、第二介质间的边界上的多个电极，利用多个电极，构成滤波器及/或共振子、与该滤波器及/或共振子电连接的静电电容，滤波器及/或共振子都是使用IDT电极构成，静电电容由梳形电容电极形成，在将上述IDT的电极指的周期设为λm，将该IDT的弹性边界波的声速设为Vm，将梳形电容电极的电极指的周期设为λc，将梳形电容电极的电极指法线方向的第一、第二介质的各自的慢的横波的声速中的声速慢的横波的声速设为Vc的情况下，使得Vm/λm＜Vc/λc。
文档编号H03H9/145GK101167247SQ200680014068
公开日2008年4月23日 申请日期2006年4月25日 优先权日2005年5月16日
发明者神藤始 申请人:株式会社村田制作所