专利名称：一种石英音叉的加工方法
技术领域：
本发明涉及石英音叉的加工方法，特别涉及一种利用光刻腐蚀技术加工石英音叉 的加工方法。
背景技术：
一般情况下，使用线切割方法切割音叉，此方法的工作原理是是通过电火花放电 产生热来熔解石英，加工中不存在显著地机械切削力。这种方法可以加工硬质合金等一切 导电材料，最小角部半径有限制，线切割加工中最小角半径为电极丝的半径加上加工间隙， 线切割加工时利用移动的细金属导线(铜丝或钼丝)做电极，对石英进行脉冲火花放电，切 割成型的一种工艺方法。然而，这种方法切割加工的石英音叉精度比较低，切割后音叉厚度 差为0. 2 0. 3 μ，这样在振动时受到的阻力大，造成精度低，只有IOOppm左右，且电阻高。
发明内容
为了解决线切割方法切割音叉时精度低的技术问题，本发明提出以下技术方案一种石英音叉的加工方法，加工步骤如下Α)原料片研磨，将原料片研磨至一定厚度，厚度为135 155μπι ；B)抛光，将研磨完成的原料片表面抛光处理，使其成为镜面，抛光后的厚度为 125 145μπι ；C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶(正胶)，放入光刻机种，利用光刻技术使光 刻胶形成音叉的形状，具体尺寸为长度3170 3185 μ m,宽度495 515 μ m ；D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。作为本发明的优选方案，所述步骤A中原料片研磨的厚度为135 155μπι。作为本发明的优选方案，所述步骤B中抛光后的厚度为125 145μπι。作为本发明的优选方案，所述步骤C中所涂胶层为光刻胶(正胶)。放入光刻机 中，抛光后刻蚀出的音叉形状为长度3170 3185 μ m,宽度495 515 μ m ；作为本发明的优选方案，所述步骤D中的腐蚀液为氢氟酸(浓度为30% 50% ) 和氟化铵或氟化氢铵(浓度为30% 40% )的混合液，比例为氢氟酸氟化铵或氟化氢铵 =1 1 1. 5。作为本发明的优选方案，所述步骤E中，采用浓度为10%的碱性氢氧化钠溶液吸 取表面残留的光刻胶。本发明所述的石英音叉的加工方法，其带来的有益效果是1.使用光刻腐蚀技术加工的音叉厚度差只有0. 11 μ 0. 13 μ，精度达到50ppm ； 电阻低。2.不需要线切割机，减少了线切割机的维护。
具体实施例方式下面对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被 本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。一种石英音叉的加工方法，加工步骤如下A)原料片研磨，将原料片研磨至一定厚度，厚度为135 155 μ mB)抛光，将研磨完成的原料片表面抛光处理，使其成为镜面，抛光后的厚度为 125 145 μ m。C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶(正胶)，放入光刻机中，利用光刻技术使光 刻胶形成音叉的形状；具体尺寸为长度3170 3185 μ m,宽度495 515 μ m ；D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。其中，需要说明的是，所述步骤A中原料片的研磨厚度为135 155 μ m ；步骤B中 抛光后的厚度为125 145 μ m ；步骤C中涂胶胶层为光刻胶(正胶)；光刻机曝光后所形成 的音叉形状为长度3170 3185 μ m,宽度495 515 μ m ；所述步骤D中的腐蚀液为氢氟 酸(浓度为30% 50% )和氟化铵或氟化氢铵(浓度为30% 40% )的混合液，比例为 氢氟酸氟化铵或氟化氢铵=1 1 1.5;所述步骤E中，采用碱性氢氧化钠洗去表面残 留的光刻胶。利用光刻腐蚀技术加工石英音叉，将原料片研磨至135 155 μ m的厚度，再抛光， 使其表面呈镜面，接着在表面处理好的原料片上涂光刻胶，光刻胶为正性胶，正性胶的特 性为由光产生分解，放入光刻机曝光后，在光刻胶表面刻蚀出音叉形状，具体尺寸为长度 3170 3185 μ m，宽度495 515 μ m ；放入腐蚀液中，利用石英(Sio2)与腐蚀液反应，而胶 与腐蚀液不能反应的原理，将未涂胶的部分腐蚀掉，加工成音叉形状。最后使用碱性氢氧化 钠溶液洗去表面残留的光刻胶。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何 熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或 替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限 定的保护范围为准。
权利要求
1.一种石英音叉的加工方法，其特征在于，加工步骤如下A)原料片研磨，将原料片研磨至一定厚度；B)抛光，将研磨完成的原料片表面抛光处理，使其成为镜面；C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶，利用光刻技术使光刻胶形成音叉的形状；D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。
2.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤A中原料片 研磨的厚度为135 155 μ m。
3.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤B中原料片 抛光后的厚度为125 145 μ m。
4.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤C中所涂的 胶层为光刻胶，此光刻胶为正性胶；放入光刻机种，利用光刻技术使光刻胶形成音叉形状； 具体尺寸为长度3170 3185 μ m,宽度495 515 μ m。
5.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤D中的腐 蚀液为氢氟酸(浓度为30% 50% )和氟化铵或氟化氢铵(浓度为30% 40% )的混合 液，比例为氢氟酸氟化铵或氟化氢铵=1 1 1. 5。
6.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤E中，采用 浓度为10%碱性氢氧化钠溶液洗掉残留的光刻胶。
全文摘要
本发明提供一种石英音叉的加工方法，其特征在于，加工步骤如下A)原料片研磨，将原料片研磨至规定厚度；B)抛光，原料片表面抛光处理，使其成为镜面；C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶，利用光刻技术使光刻胶形成音叉形状；D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。完成后的音叉尺寸为长度3170～3185μm，宽度495～515μm，厚度125～145μm。本发明所述方法利用光刻腐蚀技术加工的石英音叉提高石英音叉的加工精度，不需要用到切割机，减少了对切割机的维护。
文档编号H03H3/02GK102142823SQ20101061732
公开日2011年8月3日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者任剑锋 申请人:苏州普锐晶科技有限公司