专利名称：高屏蔽性声表面波滤波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成于压电晶体材料上的声表面波带通滤波器，特别涉及一种采用特殊屏蔽条结构的具有高屏蔽性的声表面波滤波器。
背景技术：
当电压加载在具有压电特性的基片材料的电极上，会在压电体材料的晶格中形成机械形变。当加载在压电晶体材料电极上的电压为输入的电信号，会在压电晶体材料表面的晶格中形成声表面波，该声表面波是一种在压电晶体材料表面传播，振幅随深入基片材料深度的增加而迅速减少的弹性机械波。声表面波滤波器的基本结构是在压电特性的基片材料上通过半导体工艺形成交叉成对的梳状金属结构(称之为叉指换能器)，在叉指换能器上施加电信号，压电材料表面·产生机械振动同时产生声表面波，这种声表面波在压电材料表面传播。叉指换能器包括输入端叉指换能器和输出端叉指换能器。电信号通过输入端叉指换能器转换成声表面波信号，沿晶体表面传播一定距离后到达输出端叉指换能器，输出端叉指换能器将接收到的声表面波信号转换成电信号输出。所述输入端叉指换能器和输出端叉指换能器根据不同的切指加权结构，对声表面波具有不同的传输特性。在声表面波滤波器接入电信号的一瞬间，部分信号通过电磁稱合从输入端叉指换能器直接耦合到输出端叉指换能器，在输入端叉指换能器与输出端叉指换能器之间形成一个电场，这样会导致电磁信号可以直接传输，这种可以直接传输的信号称之为直通信号。直通信号是没有用的，会影响到阻带；直通信号越大，阻带越差。为此通常在输入端叉指换能器与输出端叉指换能器之间设置一个接地的金属屏蔽条，如图I所示，以减小直通信号对声表面波滤波器性能的影响。由于电磁信号的传播是扩散的，采用图I的结构，仍然会有部分信号从屏蔽条的上方耦合到输出端。
发明内容
针对现有声表面波滤波器采用的屏蔽条结构所存在的上述缺陷，申请人行了研究改进，现提供一种高屏蔽性声表面波滤波器，可大幅改善直通信号，提高滤波器阻带性能；并提高成品率，降低生产成本。本发明的技术方案如下—种高屏蔽性声表面波滤波器，包括集成于压电晶体基片上的输入端叉指换能器、输出端叉指换能器以及屏蔽条，所述输入端叉指换能器的各叉指指条的梳柄部分通过第一汇流条以及第二汇流条相连接，所述屏蔽条包括第一屏蔽条和第二屏蔽条；所述第一屏蔽条设置在输入端叉指换能器和输出端叉指换能器之间，所述第一屏蔽条的一端与输入端叉指换能器的第一汇流条连接并接地，所述第一屏蔽条的另一端与第二屏蔽条成T形连接；所述第二屏蔽条的一端与输入端叉指换能器的叉指指条连接，另一端延伸并覆盖输出端叉指换能器。
其进一步的技术方案为所述第二屏蔽条的一端延伸至少2倍的屏蔽条宽度；同时将输入端叉指换能器的第二汇流条附近的叉指指条沿斜线切断，并将这些切断的叉指指条连接到延伸的第二屏蔽条上，在第二屏蔽条上形成一组三角形的叉指指条。其进一步的技术方案为所述第二屏蔽条另一端的延伸长度到达或超过输出端叉指换能器的电极引线的最右端。本发明的有益技术效果是本发明对声表面波滤波器的屏蔽条进行了改进，在原有屏蔽条的上方再做一个屏蔽条，以T形方式连接到原有屏蔽条。该结构能够大幅减小直通信号，进而改善阻带。本发明适用于中频声表面波滤波器，特别是中低频率两端需要涂吸声油墨的声表面波滤波器上。
图I是采用现有屏蔽条的声表面波滤波器的结构图。图2是本发明的一个实施例的结构图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的具体实施方式
做进一步说明。如图2所示，本发明包括集成于同一个压电晶体基片上的输入端叉指换能器I、输出端叉指换能器2以及屏蔽条3。输入端叉指换能器I内的各叉指指条的梳柄部分通过汇流条4. I以及汇流条4. 2相连接。本发明在常规屏蔽条结构的上方加一个一定宽度的屏蔽条向两边延伸。如图2所示，屏蔽条3包括屏蔽条3. I和屏蔽条3. 2。屏蔽条3. I为常规屏蔽条，设置在输入端叉指换能器I和输出端叉指换能器2之间。屏蔽条3. I的下端与输入端叉指换能器I的汇流条4. I连接并接地，屏蔽条3. I的上端与本发明新增加的屏蔽条3. 2的中间部分成T形连接，但两者不一定垂直。在本实施例中，屏蔽条3. 2的左端延伸至少2倍的屏蔽条宽度，通常在400um以上；将输入端叉指换能器I的汇流条4. 2附近的叉指指条沿斜线切开，汇流条4. 2延伸并覆盖在切开的叉指指条断面上；将切断的叉指指条连接到延伸的屏蔽条3. 2上，在屏蔽条3. 2上形成一组三角形的叉指指条。上述叉指指条切开的位置及三角形的形状对本发明性能的影响不大，只要有此形状即可提升屏蔽效果。屏蔽条3. 2的右端延伸并在长度上到达或超过输出端叉指换能器2的电极引线的最右端(即图2中右侧夹角的顶点处)。以上所述的仅是本发明的优选实施方式，本发明不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本发明的基本构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种高屏蔽性声表面波滤波器，包括集成于压电晶体基片上的输入端叉指换能器(I)、输出端叉指换能器(2)以及屏蔽条(3)，所述输入端叉指换能器(I)的各叉指指条的梳柄部分通过第一汇流条(4. I)以及第二汇流条(4. 2)相连接，其特征在于所述屏蔽条(3)包括第一屏蔽条(3. I)和第二屏蔽条(3. 2);所述第一屏蔽条(3. I)设置在输入端叉指换能器(I)和输出端叉指换能器(2)之间，所述第一屏蔽条(3. I)的一端与输入端叉指换能器(O的第一汇流条(4. I)连接并接地，所述第一屏蔽条(3. I)的另一端与第二屏蔽条(3. 2)成T形连接；所述第二屏蔽条(3. 2)的一端与输入端叉指换能器(I)的叉指指条连接，另一端延伸并覆盖输出端叉指换能器(2 )。
2.根据权利要求I所述高屏蔽性声表面波滤波器，其特征在于所述第二屏蔽条(3.2)的一端延伸至少2倍的屏蔽条宽度；同时将输入端叉指换能器(I)的第二汇流条(4. 2)附近的叉指指条沿斜线切断，并将这些切断的叉指指条连接到延伸的第二屏蔽条(3. 2)上，在第二屏蔽条(3. 2)上形成一组三角形的叉指指条。
3.根据权利要求I所述高屏蔽性声表面波滤波器，其特征在于所述第二屏蔽条(3.2)另一端的延伸长度到达或超过输出端叉指换能器(2)的电极引线的最右端。
全文摘要
本发明公开一种高屏蔽性声表面波滤波器，包括集成于压电晶体基片上的输入端叉指换能器、输出端叉指换能器以及屏蔽条，所述屏蔽条包括第一屏蔽条和第二屏蔽条；第一屏蔽条设置在输入端叉指换能器和输出端叉指换能器之间，第一屏蔽条与第二屏蔽条成T形连接；第二屏蔽条的一端与输入端叉指换能器的叉指指条连接，另一端延伸并覆盖输出端叉指换能器。本发明能够大幅减小直通信号，进而改善阻带，适用于中频声表面波滤波器，特别是中低频率两端需要涂吸声油墨的声表面波滤波器上。
文档编号H03H9/64GK102904548SQ20121038410
公开日2013年1月30日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者王绍安 申请人:无锡市好达电子有限公司