带匹配状态指示的手动匹配器的制作方法

文档序号:7529957阅读:677来源:国知局
专利名称:带匹配状态指示的手动匹配器的制作方法
技术领域
带匹配状态指示的手动匹配器技术领域[0001]本实用新型属于电子仪器设备领域,特别涉及到一种带匹配状态指示的手动匹配器。
背景技术
[0002]现在市场上卖的手动匹配器,在调节匹配时,需要通过功率表监测状态,即通过显示入射功率和反射功率反映匹配状态。其缺点是显示精度低,匹配器电容变化微小时,入射功率和反射功率指示值因变化太小,指示数据看不到变化,不容易迅速准确找到匹配点。因此,造成高功率时调节匹配耗费时间过长,容易损坏射频电源或负载。本发明创造就是从已有手动匹配器上加入匹配状态的指示入手,将匹配器输出通过取样分压等得到匹配电压,反映匹配器匹配状态.通过外接显示表或自带显示表头显示匹配状态.调节匹配时可以通过观察匹配状态的指数,迅速找到匹配点或点火点(气体电离的最佳匹配位置)。发明内容[0003]本实用新型需要解决的技术问题是,针对现有技术中手动匹配器的显示精度低,不容易迅速准确找到匹配点等缺陷,为了克服这些不足之处,就需要重新设计一种带有明显指示的器件。[0004]本实用新型的目的是提供一种带匹配状态指示的手动匹配器,为了实现本实用新型的目的,所采用的技术方案如下:一种带匹配状态指示的手动匹配器,包含一个整体机箱,机箱前侧设有带显示的屏板,其特征在于,机箱内部设有匹配网络,它连接着偏压取样电路和匹配状态采集板,机箱后侧面板包括射频输入和射频输出接口。所述机箱内的匹配网络,是由两个在空气或真空中可调的电容Ca、Cb和匹配电感组成。所述偏压取样,是由电阻分压得到匹配器输出的偏压信号,再输入到偏压显示表显示偏压值。所述匹配状态采集板,是由采集匹配器输出的信号,经电阻电容分压得到匹配器输出和匹配器状态信号,送到前面板经转换开关显示。[0005]本实用新型的有益效果是,匹配器显示精度高,即使匹配器微小的变化都可以通过数据显示出来,更加准确显示匹配器输出特性和利于气体电离的状态。从而能够更加准确地找到匹配点和点火点,缩短匹配时间。减少射频电源在高反射状态下的工作时间,有利于延长射频电源和匹配器的寿命。本匹配器改变以往单一通过入射功率和反射功率比较方式判断匹配状况,改变为通过匹配状态参数和入射功率反射功率结合的方式判断匹配状况,提高匹配的精度和匹配速度,缩短射频电源处于高反射的工作时间。


[0006]图1为本实用新型整体机箱结构外观图;[0007]图2为机箱内部电气布局;[0008]图3为电路板工作原理图。
具体实施方式
[0009]参照图1,为本实用新型整体机箱结构外观图,图中I为整体机箱,其顶部设有散热孔1.1,前部设有机箱面板1.2,面板上有显示偏压的指示信号显示板和电容调节开关。[0010]参照图2、图3,表不机箱内部电气布局和电路工作原理图,其中电路板2上设置有在空气或真空中可调节的电容器Ca、Cb和匹配电感L。射频输入端为RF-1N,输出端为RF-OUT。
权利要求1.一种带匹配状态指示的手动匹配器,包含一个整体机箱,机箱前侧设有带显示的屏板,其特征在于,机箱内部设有匹配网络,它连接着偏压取样电路和匹配状态采集板,机箱后侧面板包括射频输入和射频输出接口。
2.根据权利要求1所述带匹配状态指示的手动匹配器,其特征在于,所述机箱内的匹配网络,是由两个在空气或真空中可调的电容Ca、Cb和匹配电感组成。
3.根据权利要求1所述带匹配状态指示的手动匹配器,其特征在于,所述偏压取样,是由电阻分压得到匹配器输出的偏压信号,再输入到偏压显示表显示偏压值。
4.根据权利要求1所述带匹配状态指示的手动匹配器,其特征在于,所述匹配状态采集板,是由采集匹配器输出的信号,经电阻电容分压得到匹配器输出和匹配器状态信号,再送到前面板经 转换开关显示。
专利摘要带匹配状态指示的手动匹配器,属于电子仪器设备领域,包含一个整体机箱,机箱前侧设有带显示的屏板,其特征在于,机箱内部设有匹配网络,它连接着偏压取样电路和匹配状态采集板,机箱后侧面板包括射频输入和射频输出接口。匹配器显示精度高,即使匹配器微小的变化都可以通过数据显示出来,更加准确显示匹配器输出特性和利于气体电离的状态,从而能够更加准确地找到匹配点和点火点。
文档编号H03H7/38GK202978849SQ201220700228
公开日2013年6月5日 申请日期2012年12月18日 优先权日2012年12月18日
发明者李树瑜 申请人:北京吉兆源科技有限公司
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