振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体的制作方法
【专利摘要】提供振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够提高耐冲击性并且实现Q值提高。在设振动臂(5、6)的臂部(50、60)的沿着X轴方向的宽度为W1、设振动臂(5)的主面中的夹着槽(55)的两个部分各自沿着X轴方向的宽度为W3、设2×W3/W1为η时，振动片(2)满足14.2％＜η＜100％的关系。
【专利说明】振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体
【技术领域】
[0001] 本发明涉及振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002] 作为振子，公知有所谓的两脚音叉型的石英振子（例如参照专利文献1)。这样的 振子具有的振动片例如专利文献1所公开的那样，具有基部、和从该基部起以彼此平行的 方式延伸的两个振动臂，使两个振动臂以彼此交替反复接近和远离的方式在面内方向上进 行弯曲振动。
[0003] 在专利文献1的振动片的各振动臂中，以各振动臂的横截面呈大致Η字状的方式， 沿着长度方向形成有一对槽。而且，记载了如下技术：通过在基部中设置缺口，能够减少振 动臂的振动向基部侧泄漏这样的所谓振动泄漏。
[0004] 这里，根据专利文献1所记载的各部位的尺寸，该振动片具有的Q值如以下的表所 示，为 31，573。
[0005] 表 1
[0006]
【权利要求】
1. 一种振动片，其特征在于， 所述振动片包含固定端和自由端沿着第1方向排列的振动臂， 所述振动臂包含： 施重部，其配置于所述自由端侧；以及 臂部，其配置于所述固定端侧， 在所述振动臂的彼此处于正反关系的第1主面和第2主面中的至少一个主面上，沿着 所述第1方向设置有槽部， 在设置有所述槽部的所述主面上， 在设所述臂部的沿着与所述第1方向交叉的第2方向的宽度为W1、设侧面与所述槽部 的外缘夹着的部分的沿着所述第2方向的宽度为W3、设2XW3/W1为η时， 满足 14. 2%< η < 100%， 其中，所述侧面连接所述第1主面和所述第2主面，所述槽部沿着所述第2方向和所述 侧面并排。
2. 根据权利要求1所述的振动片，其特征在于， 满足20%彡η彡50%。
3. 根据权利要求2所述的振动片，其特征在于， 满足30%彡η彡40%。
4. 根据权利要求1?3中的任意一项所述的振动片，其特征在于， 所述施重部的沿着所述第2方向的宽度比所述臂部大。
5. 根据权利要求4所述的振动片，其特征在于， 在设所述施重部的沿着所述第2方向的宽度为W2时，满足1. 43彡W2/W1彡1. 79。
6. 根据权利要求1?3中的任意一项所述的振动片，其特征在于， 在设所述振动臂的沿着所述第1方向的长度为L、设所述施重部的沿着所述第1方向的 长度为Lx时，满足20 %彡Lx/L彡60%。
7. 根据权利要求1?3中的任意一项所述的振动片，其特征在于， 所述臂部的厚度为115 μ m以上150 μ m以下。
8. 根据权利要求7所述的振动片，其特征在于， 所述槽部以在俯视时重叠的方式包含： 第1槽部，其设置在所述第1主面上；以及 第2槽部，其设置在所述第2主面上， 在设所述臂部的厚度为t、设所述第1槽部的底部与所述第2槽部的底部之间的距离为 tl时，tl/t为10%以上40%以下。
9. 根据权利要求7所述的振动片，其特征在于， 所述W3为15 μ m以上30 μ m以下。
10. 根据权利要求7所述的振动片，其特征在于， 所述振动片包含设置在所述振动臂上的激励电极， 所述槽部包含： 电极形成区域，其设置有所述激励电极；以及 电极未形成区域，其配置于所述施重部侧，未设置有所述激励电极。
11. 根据权利要求10所述的振动片，其特征在于， 在设所述槽的沿着所述第1方向的长度为Ld、设所述电极形成区域的沿着所述第1方 向的长度为L1时， 满足 72. 8 % 彡 Ll/Ld 彡 82. 8 %。
12. 根据权利要求11所述的振动片，其特征在于， 所述电极未形成区域的所述基部侧的一端配置于所述施重部、与作为在所述振动臂上 产生的谐波振动的波节的位置之间。
13. 根据权利要求7所述的振动片，其特征在于， 所述振动片包含设置在所述振动臂上的激励电极， 所述激励电极包含： 基底层；以及 层叠于所述基底层的与所述振动臂侧相反的一侧的被覆层， 在设所述基底层的厚度为Tb、设所述被覆层的厚度为Tc时，满足Tb/Tc < 4/7， 所述基底层由铬构成， 所述基底层的厚度为50A以上700A以下。
14. 根据权利要求7所述的振动片，其特征在于， 所述振动臂是沿着所述第2方向排列的一对振动臂， 所述振动臂包含与所述固定端连接的基部。
15. 根据权利要求14所述的振动片，其特征在于， 在设所述振动臂的所述自由端和在俯视时所述基部的与所述振动臂侧相反的一侧的 一端之间的距离为La、设包含所述一对振动臂和所述基部的系统的重心与所述相反的一侧 的一端之间的距离为Lg时，Lg/La为2/3以下。
16. 根据权利要求14或15所述的振动片，其特征在于， 在设俯视时所述一对振动臂的与所述施重部的对置侧相反的一侧的外缘彼此之间的 沿着所述第2方向的宽度为Wa、设所述基部的沿着所述第2方向的宽度为S时，满足85% 彡 Wa/S 彡 115%。
17. -种振子，其特征在于，该振子具有： 权利要求1?3中的任意一项所述的振动片；以及 收纳有所述振动片的封装。
18. -种振荡器，其特征在于，该振荡器具有： 权利要求7所述的振动片；以及 电路。
19. 一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求7所述的振动片。
20. -种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求7所述的振动片。
【文档编号】H03H9/02GK104300933SQ201410337949
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年7月16日 优先权日:2013年7月18日
【发明者】山田明法 申请人:精工爱普生株式会社