专利名称：能量束缚型厚度延伸模式压电共振器的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于各种共振器、振荡器以及类似器件中的能量束缚型压电共振器，特别涉及利用厚度延伸振动模式谐波的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器。
压电共振器一般用于诸如压电振荡器和压电滤波器之类的各种压电共振器部件中。已知的这种类型压电共振器根据不同的频率利用各种压电振动模式。
在未审查专利公报No．117409／1989中揭示了利用厚度延伸振动模式的二次波的能量束缚型压电共振器。图20和21示出了这种压电共振器。
如图20的分解透视图所示，通过将压电材料的陶瓷生片51、52的顶面互相堆叠在一起并进行烧结得到了上述压电共振器。圆形激发电极53形成于陶瓷生片51的中央。激发电极53由引出电极54引导到陶瓷生片51的端部。圆形激发电极55形成于陶瓷生片52顶面的中央。激发电极55由引出电极56引导到陶瓷生片52的端部。如底视图所示，激发电极57形成于陶瓷生片52的底面。激发电极57由引出电极58引导至陶瓷生片52的端部。
上述陶瓷生片51和52的顶面互相堆叠在一起并沿厚度方向施加压力。随后经过烧结形成烧结体。这种烧结体是极化的。由此获得图21所示压电共振器60。
在压电共振器60中，压电层61和62沿着箭头方向，即厚度方向均匀极化。
当器件受到驱动时，激发电极53和57连接在一起，并且在激发电极53、57与激发电极55之间施加交流电压。用这种方式，压电共振器60可以共振。在这种情况下，振动能量被局限在激发电极53、55、57互相层叠的区域，即共振部分A。
在现有技术中，利用厚度延伸振动模式谐波的压电共振器60被设计成上述能量束缚型压电共振器。因此，在共振部分A周围需要提供振动衰减部分以使振动衰减。即，需要提供面积比共振部分更大的振动衰减部分。因此这难以将压电共振器60作得更小。
另一方面，未审查的专利公报235422／1990揭示了一种能量束缚型压电共振器，它利用压电陶瓷条并且几乎无需在共振部分周围提供额外的压电基片部分。
如图22所示，激发电极72a和激发电极72b分别形成于伸长的压电基片71顶面和底面。激发电极72a和72b沿着压电基片71整个主要尺寸方向延伸并且沿着压电基片71纵向中心互相面对以形成共振部分。这些激发电极72a和72b分别延伸至压电基片71的纵向端部71a和71b。
当压电共振器70激发为厚度延伸振动模式时，由于压电基片71的宽度W与厚度T之间尺度关系会产生不需要的振动。因此，未审查专利公报No．235422／1990已揭示，在利用基波的情况中，如果共振频率为16MHz，则应该采用W／T=5．33的比率，在采用三次波时应该采用W／T≈2．87的比率(这里的共振频率约为16MHz)，由此可以抑制共振与反共振频率之间的杂散波。
如上所述，未审查专利公报No．117409／1989中揭示的能量束缚型压电共振器利用了厚度延伸振动模式的二次波，需要在共振部分周围提供较大的振动衰减部分。因此难以缩小共振器的尺寸。
未审查专利公报No．235422／1990揭示的能量束缚型压电共振器无需在共振部分侧面提供振动衰减部分，所以缩小了共振器的尺寸。但是，实践中采用厚度延伸振动模式谐波并不能总是保证得到较好的共振特性。而且，在共振与反共振频率之间会出现各种不需要的杂散波。因此可能得不到效果好的共振特性。
因此本发明的一个目标是提供一种能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，它利用了厚度延伸振动模式的谐波，可以作得体积较小，并且具有较好的共振特性。
本发明的另一个目标是提供一种能够有效抑制不需要杂散分量的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器。
本发明提供一种能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，它利用了厚度延伸模式的第n次谐波，其特征在于包括具有互相面对的第一和第二面的矩形压电片；分别位于所述第一和第二面并且穿过所述压电片互相面对的第一和第二激发电极；至少一个放置在所述压电片内并且至少是局部与所述第一和第二激发电极相对的内部电极；所述第一和第二激发电极的相对部分、所述内部电极和所述压电片限定了共振部分；沿某一方向放置在所述共振部分两侧的振动衰减部分；所述第一和第二激发电极沿着垂直于所述方向的方向延伸到或靠近压电片的两端；以及所述压电片满足关系L／d≥14，其中d=t／n，这里L和t分别为所述矩形压电片沿着所述方向的长度和厚度，而n为大于1的整数。
借助上述结构，即使机械固定纵向端部，也能获得良好的共振特性。即，通过将L／d比率设成不小于14，上述具有内部电极的厚度延伸振动模式压电共振器可以获得良好的共振特性而不受机械固定部分的影响。
在上述能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器中，L／d比率比较好的设定为16±0．5，21±0．5，23±0．5，25±0．5或27．5±0．5。
利用上述结构，能量得到了更好的约束。因此可以提供共振性能良好而又不受机械固定部分影响的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器。
在上述能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器中，第一与第二激发电极比较好的是沿所述方向互相交叠，其长度为l，这里满足l／d≤6的关系。
利用上述结构，比率l／d设定成不超过6，所以可以有效抑制除了所用谐波以外因非谐波泛音和谐波而产生的不需要杂散分量。因此可以提供具有良好共振特性的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器。
在上述能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器中，l／d的比率比较好的在3-6范围内。
利用上述结构，不仅可以抑制非谐波泛音引起的杂散分量，而且可以提供更宽的带宽和更好的共振特性。比率l／d更好的介于4．5-5．5之间。这可以扩展相对带宽。
在上述能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器中，压电片比较好的是伸长压电条状。
利用上述结构，有助于缩小厚度延伸振动模式压电共振器的体积。
上述能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器可以进一步包括放置在相隔一定间距的所述压电片所述第一和第二面上的电容，该间隔对压电共振器的振动无妨碍。
利用上述结构，可以提供包括内置电容的压电共振器，它利用具有良好共振特性的压电共振器。
图1为按照本发明第一实施例的厚度延伸振动模式压电共振器的透视图；图2为按照本发明第一实施例的厚度延伸振动模式压电共振器的剖面图；图3为对应于具有图4和5所示位移分布部分的压电共振器部分的剖面图；图4为厚度延伸振动模式压电共振器中位移分布的示意图，共振器以厚度延伸振动的二次波(TE2)振动，这里L／d=10；
图5为图1所示厚度延伸振动模式压电共振器中位移分布的示意图，这里L／d=16，共振器以厚度延伸振动的二次波振动；图6为压电片纵向端部的相对位移量随比率L／d变化时的示意图；图7为压电体以厚度延伸振动的二次波(TE2)振动时的位移分布示意图，采用有限元方法对分布作了分析；图8为压电体以非谐波泛音(S1)振动时的位移分布示意图，采用有限元方法对分布作了分析；图9为有限元方法分析的阻抗频率特性示意图，这里的比率l／d为5．0；图10为图1所示厚度延伸振动模式压电共振器的阻抗频率特性示意图，利用有限元方法分析，这里比率l／d为3．0；图11为比率l／d、厚度延伸振动的二次波TE2以及非谐波泛音S1频率常数之间关系的示意图；图12为比率l／d与相对带宽之间关系的示意图；图13为按照本发明第二实施例的厚度延伸振动模式压电共振器的透视图；图14为按照本发明的厚度延伸振动模式压电共振器第一改进实例的剖面图；图15为按照本发明的厚度延伸振动模式压电共振器第二改进实例的剖面图；图16为按照本发明的厚度延伸振动模式压电共振器第三改进实例的剖面图；图17为按照本发明的厚度延伸振动模式压电共振器第四改进实例的剖面图；图18为按照本发明第三实施例构造的带内置电容的压电共振器透视图；图19为图18所示压电共振器电路结构的示意图；图20为现有技术厚度延伸振动模式压电共振器实例的分解透视图；图21为图20所示厚度延伸振动模式压电共振器的剖面图；图22为另一现有技术厚度延伸振动模式压电共振器的透视图；以及图23为现有技术厚度延伸振动模式压电共振器的阻抗-频率特性示意图。
通过以下附图对本发明的描述，可以进一步理解本发明的其它特征和优点。
(第一实施例)
图1为按照本发明第一实施例的厚度延伸振动模式压电共振器的透视图。图2为共振器的剖面图。
厚度延伸振动模式压电共振器1由伸长的压电条2制成，压电条由钛酸铅锆基陶瓷等压电陶瓷组成。
压电条2沿着图中箭头所指厚度方向均匀极化。第一激发电极3形成于压电条2的顶面。第二激发电极4形成于底面。激发电极3和4从压电条2的端面2a延伸到压电条2顶面和底面的端面2b。
激发电极3和4通过形成于压电条2端面2a上的连接电极5相连。
内部电极6形成于压电条2内部的中位面上。内部电极6引至压电条2的端面2b并且与形成于端面2b上的端接电极7相连。
在运行期间，交流电压施加在第一和第二激发电极3和4与内部电极6之间，从而有效诱发厚度延伸振动模式的二次波。在这种方式，厚度延伸压电共振器1可以被用作利用二次波的压电共振器。
第一和第二激发电极3和4沿压电条2的纵向中心经压电层堆叠在内部电极6上。因此，在内部电极6与第一和第二激发电极3和4交叠的部分形成能量束缚共振部分。当该共振部分振动时，能量被从共振部分延伸至端面2a和2b的压电部分衰减。
如果上述共振部分被视为中心，则振动衰减部分沿着压电条2的纵向(第一方向)形成于纵向相对两侧。第一和第二激发电极沿着垂直于纵向的方向延伸至压电条的端部，即纵向端部。
在此情况下，第一和第二激发电极3、4和内部电极6只需在共振部分6内沿压电条2的宽度方向延伸。在共振部分以外，无需保持宽度不变。以激发电极3为例。激发电极3只需在共振部分内沿压电条2的整个宽度方向延伸。由于激发电极与连接电极5只要简单的电连接即可，所以激发电极位于端面2a侧的部分可以较薄。
本发明的特征在于压电片被设计为满足关系L／d≥14，这里的L为压电片第一方向的长度，在该方向上压电片上述共振部分两侧上的振动衰减部分连接在一起，t为压电片的厚度，并且d=t／n。即，在能量束缚厚度延伸振动模式压电共振器1中，比率L／d不小于14。因此，与现有技术的条形厚度延伸压电共振器不同，可以获得良好的共振特性。以下借助图3-6描述。
具体而言，如果条形压电共振器的压电共振器较短，则压电共振器机械固定后的Qm下降。因此，本申请的发明人对于压电片的长度作了各种研究并且发现，如果上述比率L／d在某一范围内选取，可以在受共振器固定方式的影响不大的情况下获取良好的共振性能。由此我们提出了本发明。
图4和5为用有限元方法分析的位移分布示意图，厚度延伸振动为二级波(TE2)，这里L／d=10和16。
图4和5示出了横跨图3所示条形厚度延伸振动模式压电共振器1的半垂直切割面的位移，即沿纵向和厚度方向切开厚度延伸振动模式压电共振器1的半个平面。
图4示出了由钛酸铅基陶瓷组成的长度L=1．5mm、d=0．15并且L／d=10的压电片位移分布。图5示出了由钛酸铅基陶瓷组成的长度L=2．4mm、d=0．15并且L／d=16的压电片位移分布。
通过图4与5的比较可见，在图4中中央部分向上位移，压电片纵向端部也向上位移。另一方面，在图5的位移分布中，压电片2的中央部分向上位移较大，但是压电片2的纵向端部在厚度方向上几乎不发生位移。
因此，图4和5的比较表明，比率L／d从10变化为16并且激发厚度延伸振动模式的二级波，则即使端部被机械固定，固定部分也只发生轻微位移。因此获得了良好的共振特性。
因此根据图4和5的结果，我们进行了各种实验并且发现，如果厚度延伸振动模式共振器1的比值L／d被设计成不小于14，则可以在不受固定共振器方式影响而获得良好的共振特性。
因此压电片1由钛酸铅基压电陶瓷构成。比率L／d可以为各种数值。共振特性相对比率L／d的变化经过考察，结果示于图6。
图6示出了比率L／d变化时压电片纵向端部之间相对位移量的变化。相对位移量的含义是纵向端部位移量与纵向中心位移量之比。例如，在图4的位移分布中，X为压电片纵向中心从初始状态向上位移时的位移量。a为纵向端部从初始状态向上位移时的位移量。相对位移量由a／X给定。在这种情况下，如果纵向端部与纵向中心位移相反，即向下位移，则相对位移量假定为负数。
由图6可见，通过将比率L／d设定为不超过14，可以使相对位移量不超过±0．1。因此获得了良好的共振特性。
具体而言，如果L／d设定为16±0．5、21±0．5、23±0．5、25±0．5和27±0．5，则相对位移量几乎为零。利用共振部分可以更为有效地束缚共振能量。获得更好的共振特性。
而且本申请的发明人发现，在厚度延伸振动模式压电共振器1的比率L／d设定在上述范围内时，如果比率l／d不超过6，则获得更好的共振特性，这里l为第一与第二激发电极沿着压电片1纵向交叠的长度。
特别是我们对图23中箭头B所示波形分割的情况进行了各种探讨并且发现，作为非谐波泛音的杂散振动对波形分割的影响巨大。而且我们发现，调节比率l／d可以抑制非谐波泛音的影响。
图7和8为厚度延伸振动的二次波(TE2)和非谐波泛音(S1模式)激发时有限元方法分析的位移分布示意图。图7和8示出了横跨图3所示条形厚度延伸振动模式压电共振器1的半垂直切割面的位移，即沿纵向和厚度方向切开厚度延伸振动模式压电共振器的半个平面。
如图8所示，非谐波泛音使厚度延伸振动模式压电共振器谐振部分内的压电片在厚度方向上产生巨大位移。据观察，如果产生的非谐波泛音的幅度较大，则图7所示厚度延伸振动模式的二次波振动受的影响较大。
因此，本申请的发明人进行了各种实验试图抑制上述非谐波泛音S1引起的杂散波分量，并且发现，通过将比率l／d设定得不超过6可以抑制对非谐波泛音的响应，这里l为第一与第二激发电极沿着压电片1纵向交叠的长度，t为压电片2的厚度，并且d=t／n，只有厚度延伸振动模式的二次波TE2可以强烈激发。
图9和10示出了比率l／d分别为5．0和3．0时压电共振器1的阻抗-频率特性。
如图9所示，如果比率l／d为5．0，则在共振点Fr与反共振点Fa之间的通带附近不会产生巨大的杂散振动。因此可以有效抑制上述非谐波泛音引起的杂散波成份。
如图10所示，如果比率l／d为3．0，则在图23所示反共振点附近不会产生巨大的波形分割。因此可以有效抑制上述非谐波泛音引起的杂散波成份。
图9与图10的特性比较表明，比率l／d为5．0的情况比l／d为3．0的情况更能有效地抑制对杂散波成份的响应。
压电片1采用长度L=3．0mm宽度w=0．5mm并且厚度t=0．3mm的钛酸铅基材料构成的压电陶瓷。第一和第二激发电极沿纵向交迭的长度l改变为各种值。共振特性相对比率L／d的变化经过考察，结果示于图11和12。
图11为比率l／d变化时频率常数F．d变化的示意图。频率常数F．d用共振点Fr或反共振点Fa的频率与上述d之积表示。
在图11中，▲表示厚度延伸振动模式二次波(TE2)的共振点Fr，而●表示厚度延伸振动模式二次波(TE2)的反共振点Fa，△表示非谐波泛音(S1)的反共振点Fr，而○表示非谐波泛音(S1)的反共振点Fa的位置。
如图11所示，如果l／d超过6，则非谐波泛音S1的共振点Fr和反共振点Fa出现在厚度延伸振动的二次波TE2反共振点Fa附近。如果l／d不小于8，则它们产生于厚度延伸振动二次波TE2的共振点Fr和反共振点Fa之间的频带内。另一方面，如果l／d不超过6，则不产生非谐波泛音。
如果l／d不超过6，则可以抑制非谐波泛音的产生。但是随着l／d的减小，厚度延伸振动模式二次波TE2的通带，即共振点Fr与反共振点Fa之间的带宽变窄。
利用有限元方法考察了比率l／d变化时的相对带宽。结果示于图12中。
相对带宽给定如下(Fa-Fr)×100／Fa(％)这里Fr为共振频率而Fa为反共振频率。
如图18所示，随着比率l／d的变化，相对带宽也变化。如果比率l／d的变化范围为3-6之间，则相对带宽大致6％或6％以上。特别是，在4．5-5．5范围内，相对带宽为7％左右。
因此通过将比率l／d设定为3-6，比较好的设定为4．5-5．5可以抑制非谐波泛音引起的杂散波成份。此外可以向能量束缚厚度延伸振动模式压电共振器1提供较大的带宽和较好的相对共振特性。
在按照本实施例的厚度延伸振动模式压电共振器1中，L／d如上所述不超过14。因此如果共振器机械固定在纵向端部，则获得了良好的共振特性。而且由于比率l／d不超过6，如果利用厚度延伸振动模式的二次波TE2构成能量束缚压电共振器，则可以有效抑制非谐波泛音引起的不需要杂散波成份。
(第二实施例)在按照第一实施例的厚度延伸振动模式压电共振器1中，压电条2在厚度方向上均匀极化。压电共振器平行连接从而使得施加电场与各连续层相反。本发明也可以应用于串联型压电共振器，其中多个压电层在厚度方向上交替相反极化。图13示出了串联型厚度延伸振动模式压电共振器。
图13所示厚度延伸振动模式压电共振器由伸长的矩形压电条12构成。第一激发电极13形成于压电条12的顶面。第二激发电极14形成于底面。第一和第二激发电极13和14分别位于压电条12的相对侧。第一和第二激发电极13和14在压电条12的纵向中心互相面对。第一和第二激发电极13和14相对的部分可以用作能量束缚共振器部分。
而且在本实施例中，第一和第二激发电极13和14分别引至压电条12的端面12a和12b。共振器部分以外的部分无需沿压电条12整个长度延伸。
从不同的角度考虑，激发电极13和14形成在压电条12纵向包含振动衰减部分的能量束缚共振器部分。为此，第一和第二激发电极13和14沿着垂直于纵向的方向延伸至压电条12的纵向端部。
内部电极16形成于压电条12内部的中间高度，起着极化压电条12的作用。即，在极化期间，通过分别对内部电极16与激发电极13、14施加高低电压使压电层12c和12d在箭头所指厚度方向上反向极化。
在运行期间，交流电压施加在第一和第二激发电极13与14之间。即在运行期间不使用内部电极16。厚度延伸振动模式的二次波TE2可以被激发。
而且在按照本发明第二实施例的厚度延伸振动模式压电共振器11中，比率L／d不小于14。因此如果它被固定在纵向端部，则获得良好的共振特性。通过将比率l／d设定得不超过6，则与按照第一实施例的厚度延伸振动模式压电共振器1一样，共振器可以有效抑制非谐波注音引起的杂散波成份。而且获得了更好的共振特性。
(改进实例)第一和第二实施例提供了利用厚度延伸振动模式二次波的压电共振器1和11。按照本发明的压电共振器可以利用厚度延伸振动模式二次波以外的谐波。图14-17为利用这些其它谐波的压电共振器剖面图，并且与描述第一实施例的图2对应。
图14为利用厚度延伸振动模式三次波的并联型厚度延伸振动模式压电共振器21。具体而言，在压电体2内放置了两个内部电极22和23。压电体2在箭头所指的厚度方向均匀极化。因此可以制造出利用厚度延伸振动模式三次波的压电共振器21。
图15为利用厚度延伸振动模式四次波的并联型压电共振器24的剖面图。在厚度延伸振动模式压电共振器24中，压电条2沿着厚度方向均匀极化。在共振器内部沿厚度方向以规则的间距放置三个内部电极25-27。因此有效激发了厚度延伸振动模式四次波。
图16为利用厚度延伸振动模式三次波的串联型厚度延伸振动模式压电共振器28的剖面图。在该厚度延伸振动模式压电共振器28中，两个内部电极29与30放置在压电体12内。压电体12内部被分割为三层压电层12e-12g。利用内部电极29和30完成极化后，相互邻近的压电层在厚度方向上反向极化。因此通过向第一与第二激发电极13与14施加交流电压可以激发厚度延伸振动模式三次波。
同样，图17为利用厚度延伸振动模式四次波的串联型压电共振器31的剖面图。这里三个内部电极32-34放置在压电体12内。利用内部电极32-34完成极化，从而使得相互邻近的压电层在厚度方向上反向极化。
因此通过向第一与第二激发电极13与14施加交流电压可以利用厚度延伸振动模式四次波使压电共振器工作。
在图14-17的每一厚度延伸振动模式压电共振器中，L／d都设定为不小于14。因此即使它被机械固定在纵向端部，也可以获得良好的共振特性。如果比率l／d设定得不超过6，则可以按照与第一和第二实施例的厚度延伸振动模式压电共振器同样的方式采用厚度延伸振动模式谐波，并且可以有效抑制非谐波泛音引起的杂散波成份。
(第三实施例)图18为本发明第三实施例的厚度延伸振动模式压电共振器透视图。图19为等效电路图。图18示出了将按照第一实施例的厚度延伸振动模式共振器1与电容器42组合起来的压电共振器41。该电容器42经导电粘合剂43、44与厚度延伸振动模式压电共振器1的底面相连。
在电容器42中，电容电极42b与42c经给定的间隔形成于介电基片42a顶面上。公共电极42d形成于介电基片42a的底面。公共电极42d和电容电极42b、42c位于介电基片42a的相对侧面。
导电粘合剂43将电容电极42b粘合到端接电极7。导电粘合剂44将电容电极42c粘合至端接电极5。
因此，如图19所示，压电共振器41可以用作包含两个电容单元的压电共振器。
因此厚度延伸振动模式压电共振器1是利用厚度延伸振动模式二次波的压电共振器。L／d设定得不小于14。因此如果共振器被机械固定在纵向端部，则获得良好的共振特性。非谐波泛音引起的杂散振动可以有效抑制。因此提供了具有良好频率特性的压电共振器。
虽然以上借助附图对本发明实施例作了描述，但是本发明的精神和范围由后面所附权利要求限定。
权利要求
1．一种能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，它利用了厚度延伸模式的第n次谐波，其特征在于包括具有互相面对的第一和第二面的矩形压电片；分别位于所述第一和第二面并且穿过所述压电片互相面对的第一和第二激发电极；至少一个放置在所述压电片内并且至少是局部与所述第一和第二激发电极相对的内部电极；所述第一和第二激发电极的相对部分、所述内部电极和所述压电片限定了共振部分；沿某一方向放置在所述共振部分两侧的振动衰减部分；所述第一和第二激发电极沿着垂直于所述方向的方向延伸到或靠近压电片的两端；以及所述压电片满足关系L／d≥14，其中d=t／n，这里L和t分别为所述矩形压电片沿着所述方向的长度和厚度，而n为大于1的整数。
2．如权利要求1所述的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，其特征在于L／d比率设定为16±0．5，21±0．5，23±0．5，25±0．5或27．5±0．5。
3．如权利要求1或2所述的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，其特征在于所述第一与第二激发电极沿所述方向互相交叠，其长度为l，这里满足l／d≤6的关系。
4．如权利要求3所述的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，其特征在于l／d的比率在3-6范围内。
5．如权利要求4所述的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，其特征在于比率l／d介于4．5-5．5之间。
6．如权利要求1-5中任意一项所述的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，其特征在于所述压电片为伸长压电条状。
7．如权利要求1-6中任意一项所述的能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器，其特征在于进一步包括相隔一定间距放置在所述压电片所述第一和第二面上的电容，该间隔对压电共振器的振动无妨碍作用。
全文摘要
本发明提供一种能量束缚型厚度延伸振动模式压电共振器,它利用了厚度延伸振动模式的谐波,可以作得体积较小,并且具有较好的共振特性。本发明提供的压电共振器包括:矩形压电片;第一和第二激发电极;内部电极;共振部分;振动衰减部分;所述压电片满足关系L/d≥14,其中d=t/n,这里L和t分别为所述矩形压电片沿着所述方向的长度和厚度,而n为大于1的整数。
文档编号H03H9/17GK1204183SQ9811475
公开日1999年1月6日 申请日期1998年6月12日 优先权日1997年6月12日
发明者开田弘明, 山田光洋 申请人:株式会社村田制作所