压电振动片及压电振动器的制造方法
【专利摘要】本发明题为压电振动片及压电振动器，提供能够实现强度提高和小型化的压电振动片。一对振动臂部沿与第1方向相交的第2方向并排地配置，第1方向的基端侧固定于基部，并且，第1方向的前端侧能够振动，在振动臂部的基端侧的第2方向的两侧，以振动臂部的第2方向的宽度从前端侧至基端侧逐渐变宽的方式，形成有一对倾斜面，一对倾斜面中的配置于第2方向的内侧的内侧倾斜面的基端侧的基端侧端部与基部的前端侧的端面连结，一对倾斜面中的配置于第2方向的外侧的外侧倾斜面的基端侧的基端侧端部与基部的第2方向的端面连结，外侧倾斜面的基端侧端部比内侧倾斜面的基端侧端部更靠近前端侧配置。
【专利说明】
压电振动片及压电振动器
技术领域
[0001 ]本发明涉及压电振动片及压电振动器。
【背景技术】
[0002]在便携电话和便携信息终端设备中，使用将石英等作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等而利用的压电振动器。作为这种压电振动器之一，已知在被真空密封的空腔内容纳压电振动片的压电振动器。依据该压电振动器，通过将电压施加于形成在振动臂部的激振电极，能够使该振动臂部以既定谐振频率振动。
[0003]此外，压电振动片在与基部连接的振动臂部的基端部形成有倾斜面(锥)。由此，能够期待振动臂部的强度提高的效果。
[0004]例如，如专利文献I所公开的，已知如下的类型的压电振动器:以从连接有一对振动臂部的基部延伸至振动臂部的两侧的方式设置一对支撑臂部，在那些支撑臂部的前端附近安装压电振动片。如同一文献的图1所示，该压电振动片在振动臂部的基端部具有相对于将振动臂部在宽度方向二等分的中心线而大致左右对称的一对倾斜面。
[0005]专利文献1:日本特开2008 — 219066号公报。
【发明内容】
[0006]发明要解决的课题
然而，如果在振动臂部的基端部形成有大致左右对称的倾斜面，则基部的宽度变宽。因此，压电振动片及容纳压电振动片的压电振动器由于基部的宽度的制约而难以小型化。
[0007]因此，本发明是鉴于上述情况而作出的，其目的在于，提供能够实现强度提高和小型化的压电振动片及压电振动器。
[0008]用于解决课题的方案
为了解决上述课题，本发明的压电振动片是具备沿着第I方向延伸的振动臂部和固定一对所述振动臂部的基部的压电振动片，所述一对振动臂部沿与所述第I方向相交的第2方向并排地配置，所述第I方向的基端侧固定于所述基部，并且，所述第I方向的前端侧能够振动，在所述振动臂部的所述基端侧的所述第2方向的两侧，以所述振动臂部的所述第2方向的宽度从所述前端侧至所述基端侧逐渐变宽的方式，形成有一对倾斜面，所述一对倾斜面中的配置于所述第2方向的内侧的内侧倾斜面的所述基端侧的基端侧端部与所述基部的所述前端侧的端面连结，所述一对倾斜面中的配置于所述第2方向的外侧的外侧倾斜面的所述基端侧的基端侧端部与所述基部的所述第2方向的端面连结，所述外侧倾斜面的所述基端侧端部比所述内侧倾斜面的所述基端侧端部更靠近所述前端侧配置。
[0009]依据本发明，由于外侧倾斜面的基端侧端部比内侧倾斜面的基端侧端部更靠近前端侧配置，因而与外侧倾斜面和内侧倾斜面相对于振动臂部的中心线而大致左右对称地形成的现有技术相比较，能够使基部的第2方向上的宽度变窄。因此，能够实现压电振动片的强度提高和小型化。
[0010]另外，所述外侧倾斜面的所述前端侧的前端侧端部和所述内侧倾斜面的所述前端侧的前端侧端部配置于所述第I方向的相同位置。
[0011]依据本发明，在振动臂部中，能够相比形成有外侧倾斜面及内侧倾斜面的区域更确保前端侧的对称性。即，在外侧倾斜面和内侧倾斜面的各自的前端侧端部在第I方向上形成于不同的位置的情况下，不能够相比形成有倾斜面的区域更确保前端侧的所谓的直线部分的对称性，其结果是，存在弯曲振动的振动特性下降的可能性，但像本发明的那样，如果能够确保对称性，则能够良好地保持振动臂部的振动特性。
[0012]所述外侧倾斜面和所述内侧倾斜面的一部分形成为，相对于将所述振动臂部在所述第2方向二等分的中心线而大致左右对称。
[0013]依据本发明，能够确保形成有倾斜面的区域中的振动臂部的左右对称性。由此，能够确保进行弯曲振动的振动臂部的对称性。此外，在此，“大致左右对称性”不仅意味着严格的左右对称，而且还意味着设计误差的程度的倾斜角度的差异也被视为左右对称。例如，在相对于将振动臂部沿第2方向2等分的中心线的倾斜角度之差在外侧倾斜面和内侧倾斜面相差3度左右的情况下，内侧倾斜面和外侧倾斜面被视为相对于振动臂部的中心线而“左右对称” O
[0014]另外，在所述振动臂部的表面背面，形成有以沿着所述第I方向的方式延伸的槽部，所述槽部的基端侧槽端部比所述外侧倾斜面的所述基端侧端部更靠近所述基端侧配置，形成于所述基部的所述第2方向的端面的第I激振电极和形成于所述槽部的内壁面的第2激振电极对置配置。
[0015]依据本发明，由于在振动臂部的表面背面形成有槽部，槽部的基端侧槽端部比外侧倾斜面的基端侧端部更靠近基端侧配置，形成于基部的端面的第I激振电极和形成于槽部的内壁面的第2激振电极对置配置，因而与倾斜面相对于振动臂部的中心线而大致左右对称地形成的现有技术相比，基部的第2方向的宽度更窄，与此相应地，槽部的内壁面和基部的端面的宽度更窄。由此，具备槽部的压电振动片能够提高外侧倾斜面的附近的电场效率。
[0016]另外，具有在所述一对振动臂部的所述第2方向上的外侧分别以沿着所述第I方向的方式延伸的一对支撑臂部和将所述基部和所述支撑臂部连结的连结部，在所述一对支撑臂部，形成有对于外部电连接的装配电极。
[0017]依据本发明，由于能够经由支撑臂部的装配电极而安装于例如封装件等，因而能够确保振动臂部与支撑臂部的装配电极的距离较长。由此，能够不使压电振动片的全长增大就抑制振动泄漏。因此，能够实现压电振动片的进一步的小型化，并且，抑制振动泄漏。
[0018]另外，具有在所述一对振动臂部的所述第2方向上的内侧以沿着所述第I方向的方式延伸的支撑臂部，在所述支撑臂部，形成有对于外部电连接的装配电极。
[0019]依据本发明，由于能够经由支撑臂部的装配电极而安装于例如封装件等，因而能够确保振动臂部与支撑臂部的装配电极的距离较长。由此，能够不使压电振动片的全长增大就抑制振动泄漏。另外，关于压电振动片，由于一根支撑臂部配置于一对振动臂部之间，因而与将一对支撑臂部配置于一对振动臂部的外侧的构造相比，能够使第2方向的宽度变窄。因此，能够实现压电振动片的进一步的小型化，并且，抑制振动泄漏。
[0020]另外，在所述基部，形成有对于外部电连接的装配电极。
[0021]依据本发明，由于能够经由基部的装配电极而安装于例如封装件等，因而不需要从基部延伸出的支撑臂部，能够减小基部的第2方向的宽度。因此，能够实现压电振动片的进一步的小型化。
[0022]另外，本发明的压电振动器具备封装件，封装件具有互相接合的基底基板和盖基板，在形成于两个基板之间的空腔容纳所述压电振动片。
[0023]依据本发明，与现有技术相比较，具备基部的第2方向的宽度较窄的压电振动片，因而能够达到封装件的小型化。
[0024]发明的效果
依据本发明，由于外侧倾斜面的基端侧端部比内侧倾斜面的基端侧端部更靠近前端侧配置，因而与外侧倾斜面和内侧倾斜面大致左右对称地形成的现有技术相比较，能够使基部的第2方向上的宽度更窄。因此，能够实现压电振动片的小型化。
【附图说明】
[0025]图1是示出第一实施方式所涉及的压电振动片的表面侧的构成的平面图。
[0026]图2是示出沿着图1中的A—A截面的构成的截面图。
[0027]图3是将图1所示的倾斜面与假想外侧部一起表示的示意图。
[0028]图4是示出第一实施方式的第一变形例所涉及的压电振动片的表面侧的构成的平面图。
[0029]图5是示出第一实施方式的第二变形例所涉及的压电振动片的表面侧的构成的平面图。
[0030]图6是示出第二实施方式所涉及的压电振动器的整体构成的分解立体图。
[0031 ]图7是示出沿着图6中的B—B截面的构成的截面图。
【具体实施方式】
[0032]以下，参照附图，说明本发明的实施方式。
[0033](第一实施方式)
图1是压电振动片I的表面侧的平面图。在本实施方式中，作为压电振动片I，举例说明带有槽部的类型的音叉型的压电振动片。
[0034]如图1所示，压电振动片I具备由石英、钽酸锂或铌酸锂等压电材料形成的音叉型的压电板2。
[0035]压电板2具备形成为沿着与中心轴O平行的方向(以下，标记为“第I方向”)延伸的振动部3和支撑振动部3的基端部的基部4。振动部3具有沿与中心轴O正交的方向(以下，标记为“第2方向”)并排地配置的一对振动臂部3a、3b。一对振动臂部3a、3b配置为沿着第I方向。振动臂部3a、3b形成为，前端侧的第2方向的宽度比基端侧的第2方向的宽度更宽。
[0036]基部4将一对振动臂部3a、3b中的第I方向上的一方的端部彼此连结。在基部4，经由连结部6而连结有支撑部7。支撑部7具有支撑基部8和支撑臂部9( 一对支撑臂部9a、9b)。
[0037]连结部6设置于基部4与支撑基部8之间。连结部6从基部4的第2方向上的两端面朝向第2方向的外侧延伸，并且，与支撑基部8连结。一对支撑臂部9a、9b分别从支撑基部8向第I方向延伸。一对支撑臂部9a、9b在第2方向上配置于振动部3的两侧。本实施方式的压电振动片I是振动部3在第2方向上配置于一对支撑臂部9a、9b之间的所谓的侧臂类型的压电振动片。
[0038]图2是沿着图1所示的A—A线的截面图。
[0039]如图1及图2所示，在上述一对振动臂部3a、3b的主面(表面背面)上，从振动臂部3a、3b的基端部朝向前端部，形成有一定宽度的槽部5。该槽部5遍及从振动臂部3a、3b的基端部侧起越过中间部的范围而形成。由此，一对振动臂部3a、3b分别如图2所示地成为截面H型。此外，后面对槽部5的基端侧的形成区域的细节进行阐述。
[0040]如图1所示，在这样地形成的压电板2的外表面上，分别形成有一对激振电极10、
11、一对装配电极12、13。其中，一对激振电极1、11是在施加电压时使一对振动臂部3a、3b沿互相接近或离开的方向以既定谐振频率振动的电极，分别在一对振动臂部3a、3b的外表面以电断开的状态构图而形成。
[0041]具体而言，一方的激振电极10主要形成于一方的振动臂部3a的槽部5内和另一方的振动臂部3b的侧面上，另一方的激振电极11主要形成于另一方的振动臂部3b的槽部5内和一方的振动臂部3a的侧面上。
[0042]—对激振电极10、11分别与形成于基部4的包括主面及侧面的外表面上的基部引出电极14电连接。一对装配电极12、13设置于一对支撑臂部9a、9b的主面的前端部。一对装配电极12、13分别从基部引出电极14经由臂部引出电极15、16而电连接。臂部引出电极15、16分别沿着连结部6、支撑基部8及支撑臂部9a、9b的主面形成。这样，经由一对装配电极12、13而对一对激振电极1、11施加电压。
[0043]此外，上述的激振电极10、11、装配电极12、13、基部引出电极14及臂部引出电极
15、16是例如铬(Cr)和金(Au)的层叠膜，在以与石英密合性良好的铬膜作为基底而成膜之后，在表面施予金的薄膜。但是，不限于该情况，例如，也可以在铬和镍铬(NiCr)的层叠膜的表面进一步层叠金的薄膜，也可以是铬、镍、铝(Al)或钛(Ti)等的单层膜。
[0044]另外，在一对振动臂部3a、3b的前端部，如图1所示，形成有重锤金属膜17(由粗调膜17a及微调膜17b构成)，重锤金属膜17用于进行调整(频率调整)，从而使自身的振动状态在既定频率的范围内振动。通过利用该重锤金属膜17来进行频率调整，从而能够使一对振动臂部3a、3b的频率处于器件的标称频率的范围内。
[0045]在本实施方式中，在振动臂部3a、3b的基端侧的第2方向的两侧，形成有一对倾斜面20。倾斜面20以振动臂部3a、3b的第2方向的宽度从前端侧至基端侧逐渐变宽的方式形成。
[0046]图3是将图1所示的倾斜面20与假想外侧部21—起表示的示意图。此外，在图3中，由二点点划线图示假想外侧部21的外形。
[0047]一对倾斜面20中的配置于第2方向的内侧的内侧倾斜面22的基端侧的基端侧端部22a与基部4的前端侧的端面23连结。另外，一对倾斜面20中的配置于第2方向的外侧的外侧倾斜面24的基端侧的基端侧端部24a与基部的第2方向的端面25连结。
[0048]外侧倾斜面24的基端侧端部24a比内侧倾斜面22的基端侧端部22a更靠近前端侧配置。另外，外侧倾斜面24的前端侧的前端侧端部24b和内侧倾斜面22的前端侧的前端侧端部22b配置于第I方向的相同位置。而且，外侧倾斜面24和内侧倾斜面22的前端侧的一部分22c在俯视时相对于将振动臂部3a、3b在第2方向二等分的中心线Ql而大致左右对称地形成。
[0049]在图3所示的俯视图中，外侧倾斜面24和内侧倾斜面22能够作为直线(此外，此处的直线不仅解释为严格的直线，而且在包括在加工工序中非意图地形成的微少的凹凸的情况下，只要在宏观上能够解释为直线，就也解释为“直线”。以下，“直线”的定义效此。)。另夕卜，在图3所示的俯视图中，外侧倾斜面24和内侧倾斜面22能够作为使倾斜角缓缓变化的多个直线连续而成的折线。另外，在图3所示的俯视图中，外侧倾斜面24和内侧倾斜面22能够作为朝向基部4而曲率缓缓变小的曲线。而且，在图3所示的俯视图中，外侧倾斜面24和内侧倾斜面22能够作为使上述直线或折线和曲线连续而成的线。
[0050]在此，槽部5的基端侧槽端部5a比外侧倾斜面24的基端侧端部24a更靠近基端侧配置。另外，形成于基部4的第2方向的端面25中的前端侧的一部分的激振电极10(11)和形成于槽部5的内壁面的激振电极11(10)对置配置(关于激振电极10、11，参照图2)。因此，基部4的第2方向的宽度变窄，与此相应地，槽部5的内壁面和基部4的端面25的宽度Wl与现有技术中的槽部的内壁面和基部的端面的宽度W2相比而更窄。由此，具备槽部5的压电振动片I提高外侧倾斜面24的附近的电场效率。
[0051]接着，说明压电振动片I的作用。
[0052]依据该压电振动片I，在振动臂部3a、3b的第2方向的两侧，形成有第2方向的宽度至基端侧逐渐变宽的一对倾斜面20。该倾斜面20，振动臂部3a、3b的相对于基部4的连接部分朝向基部4而宽度缓缓变宽。由此，振动臂部3a、3b提高耐冲击性。另外，通过发明人的锐意研究，还发现，由于耐冲击性提高而导致压电振动片I的晶体阻抗(以下，称为Cl值)下降。
[0053]此外，关于振动臂部3a、3b，由于前端侧沿第2方向位移，因而在现有技术中，出于使振动平衡一致的目的，形成为，倾斜面20的全部大致左右对称。然而，关于基部4，如果倾斜面20以大致左右对称的状态宽度缓缓变宽地形成，则第2方向的宽度变宽。基部4宽度变宽，成为小型化的障碍。另外，基部4存在为了抑制振动泄漏而打算使宽度变窄的要求。因此，基部4有时候还具有中间变细的部分(所谓的槽口)，在该情况下，形状变得复杂。
[0054]因此，在本实施方式的压电振动片I中，外侧倾斜面24的基端侧端部24a比内侧倾斜面22的基端侧端部22a更靠近前端侧配置。即，外侧倾斜面24成为将大致左右对称的倾斜面20中的比沿着图3所示的第I方向的假想线Q2更靠近外侧的部分(假想外侧部21、施加阴影的部分)去除而成的形状。此外，“去除”不限定于切断的意义，包括原样地以其形状形成。假想线Q2的位置成为基部4的沿着第2方向的端面25的位置。基部4不需要假想外侧部21，与此相应地，能够使第2方向的宽度较窄地形成。
[0055]此时，如果在整体上观看，则内侧倾斜面22和外侧倾斜面24并非相对于在第2方向将振动臂部3a、3b 二等分的中心线而大致左右对称。然而，在本实施方式的压电振动片I中，认识到，通过使基部4的宽度变窄，从而振动特性上的优点大。由此，压电振动片I能够以无槽口的简单的形状抑制振动泄漏，并且，能够实现小型化。而且，还能够确保振动臂部3a、3b的强度。
[0056]另外，依据该压电振动片1，在振动臂部3a、3b的表面背面，形成有槽部5。振动臂部3a、3b通过在槽部5的内壁面和基部4的第2方向的端面(还包括外侧倾斜面24)形成电场而弯曲振动。如果槽部5的内壁面和基部4的端面的宽度较宽，则电场效率下降。在本实施方式的压电振动片I中，基部4的第2方向的宽度变窄，与此相应地，槽部5的内壁面和基部4的端面25的宽度Wl与现有技术中的槽部的内壁面和基部的端面的宽度W2相比较而较窄。由此，具备槽部5的压电振动片I通过特别地将上述的假想外侧部21去除，从而提高外侧倾斜面24的附近的电场效率。其结果是，Cl值下降，能够实现省电力化。另外，通过本发明人的锐意研究而判明，提高振动臂部3a、3b的基端部附近的电场效率的情况，与例如提高振动臂部3a、3 b的如端部的电场效率的情况相比$父，更容易提尚振动特性。具体而g，能够期待容易稳定地得到期望的频率、能够使Cl值下降等效果。
[0057]另外，依据该压电振动片1，能够经由支撑臂部9的装配电极12、13而安装于例如封装件等。该压电振动片I能够确保基部4上的连结部6与支撑臂部9的装配电极12、13的距离较长。由此，能够不使压电振动片I的全长增大就抑制振动泄漏。其结果是，能够抑制Cl值上升，抑制输出信号的质量下降。而且，基部4不需要各个振动臂部3a、3b的上述假想外侧部21，与此相应地，能够使第2方向的宽度较窄地形成。
[0058]接着，说明第一实施方式的第一变形例所涉及的压电振动片1B。
[0059]图4是示出第一实施方式的第一变形例所涉及的压电振动片IB的表面侧的构成的平面图。此外，在以下的说明中，对与上述的构成共同的构成标记同一标号并省略说明。另夕卜，在图中，由于激振电极10、11和装配电极12、13等是与上述的实施方式同样的构成，因而省略图示。
[0060]第一变形例所涉及的压电振动片1B，在基部4B的前端侧的端面23，在一对振动臂部3a、3b之间，形成有支撑臂部9B。第一变形例所涉及的压电振动片IB是支撑臂部9B沿着第I方向朝向前端侧延伸而形成的所谓的中心臂类型的压电振动片。在支撑臂部9B，形成有装配电极12B、13B。
[0061]依据该压电振动片1B，能够经由支撑臂部9B而安装于例如封装件等。该压电振动片IB能够确保振动臂部3a、3b与支撑臂部9B的装配电极12B、13B的距离较长。由此，能够不使压电振动片IB的全长增大就抑制振动泄漏。其结果是，能够抑制Cl值上升，抑制输出信号的质量下降。
[0062]另外，关于压电振动片1B，由于一个支撑臂部9B配置于一对振动臂部3a、3b之间，因而与将一对支撑臂部配置于外侧的构造相比，能够使第2方向的宽度较窄地形成。而且，基部4B不需要各个振动臂部3a、3b的上述假想外侧部21，与此相应地，能够使第2方向的宽度较窄地形成。
[0063]接着，说明第一实施方式的第二变形例所涉及的压电振动片1C。
[0064]图5是示出第一实施方式的第二变形例所涉及的压电振动片IC的表面侧的构成的平面图。
[0065]关于第二变形例所涉及的压电振动片1C，基部4C以四边部所具有的四角板状形成有一对第2方向的端面25、基部4C的前端侧的端面23以及基部4C的后端侧的端面28。在基部4C，形成有对于外部电连接的装配电极(在图5中未图示)。
[0066]依据该压电振动片1C，能够经由基部4C而安装于例如封装件等。该压电振动片IC不需要从基部4C延伸出的支撑臂部，能够减小基部4C的第2方向的宽度。而且，基部4C不需要各个振动臂部3a、3b的上述假想外侧部21，与此相应地，能够使第2方向的宽度更窄地形成。
[0067](第二实施方式) 接着，对具备上述的压电振动片1、压电振动片IB或压电振动片IC的压电振动器50进行说明。另外，在图中，仅示出压电振动片I的外形形状，由于激振电极10、11和装配电极12、13等是与上述的实施方式同样的构成，因而省略图示。此外，以下省略，在搭载压电振动片1B、压电振动片IC的情况下，也能够是同样的说明。
[0068]图6是示出第二实施方式所涉及的压电振动器50的整体构成的分解立体图。图7是示出沿着图6中的B—B截面的构成的截面图。
[0069]如图6、图7所示，本实施方式的压电振动器50是具备在内部具有气密密封的空腔C的封装件51和容纳于空腔C内的上述的压电振动片I的陶瓷封装件类型的表面安装型振动器。
[0070]该压电振动器50以大致长方体状形成，在本实施方式中，在俯视时，将压电振动器50的纵向方向称为长度方向，将横向方向称为宽度方向，将相对于这些长度方向及宽度方向而正交的方向称为厚度方向。
[0071]封装件51具备封装件主体(基底基板)53和对于该封装件主体53接合并在与封装件主体53之间形成空腔C的封口板(盖基板)54。
[0072]封装件主体53具备以互相叠合的状态接合的第I基底基板55及第2基底基板56和接合于第2基底基板56上的密封环57。
[0073]第I基底基板55成为以俯视时所呈现的大致长方形状形成的陶瓷制的基板。第2基底基板56成为以作为与第I基底基板55相同的外形形状的俯视时所呈现的大致长方形状形成的陶瓷制的基板，以重叠于第I基底基板55上的状态通过烧结等而整体地接合。
[0074]在第I基底基板55及第2基底基板56的四角，俯视时呈现为1/4圆弧状的切口部58遍及两个基板55、56的厚度方向的整体而形成。在将例如2块晶圆状的陶瓷基板重叠而接合之后，以矩阵状形成贯通两个陶瓷基板的多个通孔，随后，以各通孔为基准并同时将两个陶瓷基板以格子状切断，由此，制作这些第I基底基板55及第2基底基板56。
[0075]此时，通过将通孔分割成4份，从而成为上述的切口部58。另外，第2基底基板56的上表面成为装配有压电振动片I的安装面56a。
[0076]此外，第I基底基板55及第2基底基板56为陶瓷制，作为其具体的陶瓷材料，列举例如氧化招制的HTCC(High Temperature Co-Fired Ceramic，高温共烧陶瓷)、玻璃陶瓷制的LTCCCLow Temperature Co-Fired Ceramic，低温共烧陶瓷)等。
[0077]密封环57是比第I基底基板55及第2基底基板56的外形更小一圈的导电性的框状部件，接合于第2基底基板56的安装面56a。
[0078]具体而言，密封环57通过利用含银焊锡等焊锡材料或焊料等的烧制而接合于安装面56a上，或者，通过对于形成(例如，除了电解镀和非电解镀以外，还通过蒸镀或溅射等而形成)于安装面56a上的金属接合层的恪接等而接合。
[0079]此外，作为密封环57的材料，列举例如镍基合金等，具体而言，从科瓦合金、埃林瓦尔镍铬合金、因瓦合金、42合金等选择即可。特别地，作为密封环57的材料，优选选择热膨胀系数对于陶瓷制的第I基底基板55及第2基底基板56接近的材料。例如，在作为第I基底基板55及第2基底基板56而使用热膨胀系数为6.8 X 10—6/°C的氧化铝的情况下，作为密封环57，优选使用热膨胀系数为5.2 X 1^V0C的科瓦合金或热膨胀系数为4.5?6.5 X 10—6/°C的42
I=IO[OO8O]封口板54是重叠于密封环57上的导电性基板，通过对于密封环57的接合而对于封装件主体53气密地接合。而且，由该封口板54、密封环57以及第2基底基板56的安装面56a划分成的空间作为气密地密封的上述的空腔C而起作用。
[0081 ]此外，作为封口板54的焊接方法，列举例如通过使辊电极接触而进行的焊缝焊接、激光焊接、超声波焊接等。另外，为了使封口板54和密封环57的焊接更可靠，优选至少在封口板54的下表面和密封环57的上表面分别形成彼此紧密度良好的镍或金等的接合层。
[0082]此外，在第2基底基板56的安装面56a，沿宽度方向隔开间隔而形成有作为与压电振动片I的连接电极的一对电极焊盘6IA、61B，并且，在第I基底基板55的下表面，沿长度方向隔开间隔而形成有一对外部电极62A、62B。
[0083]这些电极焊盘61A、61B及外部电极62A、62B是通过例如蒸镀或溅射等而形成的由单一金属构成的单层膜或不同的金属层叠而成的层叠膜，互相分别导通。
[0084]在第I基底基板55，形成有一方的第I贯通电极63A，第I贯通电极63A与一方的外部电极62A导通，沿厚度方向贯通第I基底基板55，并且，在第2基底基板56，形成有一方的第2贯通电极64A，第2贯通电极64A与一方的电极焊盘61A导通，沿厚度方向贯通第2基底基板56。而且，在第I基底基板55与第2基底基板56之间，形成有一方的连接电极65A，连接电极65A将一方的第I贯通电极63A和一方的第2贯通电极64A连接。由此，一方的电极焊盘61A和一方的外部电极62A互相导通。
[0085]另外，在第I基底基板55，形成有另一方的第I贯通电极63B，第I贯通电极63B与另一方的外部电极62B导通，沿厚度方向贯通第I基底基板55，并且，在第2基底基板56，形成有另一方的第2贯通电极64B，第2贯通电极64B与另一方的电极焊盘61B导通，沿厚度方向贯通第2基底基板56。而且，在第I基底基板55与第2基底基板56之间，形成有另一方的连接电极65B，连接电极65B将另一方的第I贯通电极63B和另一方的第2贯通电极64B连接。由此，另一方的电极焊盘61B和另一方的外部电极62B互相导通。
[0086]此外，另一方的连接电极65B构图为，例如在密封环57的下方沿着密封环57延伸，从而避开后述的凹部66。
[0087]在第2基底基板56的安装面56a，在与各振动臂部3a、3b的前端部对置的部分，形成有凹部66，在由于落下等所造成的冲击的影响而导致这些各振动臂部3a、3b沿厚度方向位移(挠曲变形)时，凹部66避免与各振动臂部3a、3b的接触。该凹部66成为贯通第2基底基板56的贯通孔，并且，在密封环57的内侧以四角发圆的俯视时所呈现的正方形状形成。
[0088]压电振动片I经由未图示的金属凸点或导电性粘接剂等而以与电极焊盘61A、61B分别接触的方式装配有装配电极12、13(参照图1)。由此，压电振动片I以从第2基底基板56的安装面56a上浮起的状态被支撑，并且，成为与一对电极焊盘61A、61B分别电连接的状态。
[0089]在使这样地构成的压电振动器50工作的情况下，对外部电极62A、62B施加既定驱动电压。由此，能够使电流流至压电振动片I的激振电极1、11，能够使一对振动臂部3a、3b以既定频率振动。而且，能够利用该振动，作为时刻源、控制信号的定时源或参考信号源等而利用压电振动器50。
[0090]依据本实施方式的压电振动器50，由于具备具有稳定的振动特性的高质量且能够实现小型化的压电振动片I，因而能够作为工作的可靠性优异的高质量的压电振动器50。另夕卜，由于具备简单的形状的压电振动片I，因而能够作为制造成本低的压电振动器50。
[0091]以上，参照附图，对本发明的实施方式进行了详述，但具体的构成不限于这些实施方式，还包括不脱离本发明的要点的范围的设计变更等。
[0092]上述的压电振动片1、1B、IC也可以在各个基部4、4B、4C的第2方向的端面25设置第2方向的宽度变窄的中间变细的部分(槽口)。通过设置中间变细的部分，从而除了由于将假想外侧部21去除而导致的振动泄漏的抑制作用之外，还能够提高振动泄漏的抑制作用。
[0093]此外，在不脱离本发明的宗旨的范围内，能够适当将上述的实施方式中的构成要素置换成众所周知的构成要素。
[0094]标号说明
UlBUC……压电振动片；2……压电板;3、3a、3b……振动臂部;4……基部;5……槽部;5a……基端侧槽端面;6……连结部;9、9a、9b、9B……支撑臂部；12、12B、13、13B……装配电极;20......倾斜面;22......内侧倾斜面;22a......内侧倾斜面的基端侧端部;22b......内侧倾斜面的前端侧端部;22c……内侧倾斜面的前端侧的一部分;23……基部的前端侧的端面;24……外侧倾斜面;24a……外侧倾斜面的基端侧端部;24b……外侧倾斜面的前端侧端部;50……压电振动器;51……封装件;53……封装件主体(基底基板);54……封口板(盖基板);C……空腔。
【主权项】
1.一种压电振动片，是具备沿着第I方向延伸的振动臂部和固定一对所述振动臂部的基部的压电振动片，其特征在于， 所述一对振动臂部沿与所述第I方向相交的第2方向并排地配置，所述第I方向的基端侧固定于所述基部，并且，所述第I方向的前端侧能够振动， 在所述振动臂部的所述基端侧的所述第2方向的两侧，以所述振动臂部的所述第2方向的宽度从所述前端侧至所述基端侧逐渐变宽的方式，形成有一对倾斜面， 所述一对倾斜面中的配置于所述第2方向的内侧的内侧倾斜面的所述基端侧的基端侧端部与所述基部的所述前端侧的端面连结，所述一对倾斜面中的配置于所述第2方向的外侧的外侧倾斜面的所述基端侧的基端侧端部与所述基部的所述第2方向的端面连结， 所述外侧倾斜面的所述基端侧端部比所述内侧倾斜面的所述基端侧端部更靠近所述前端侧配置。2.如权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，所述外侧倾斜面的所述前端侧的前端侧端部和所述内侧倾斜面的所述前端侧的前端侧端部配置于所述第I方向的相同位置。3.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，所述外侧倾斜面和所述内侧倾斜面的一部分形成为相对于将所述振动臂部在所述第2方向二等分的中心线而大致左右对称。4.如权利要求1至3的任一项所述的压电振动片，其特征在于， 在所述振动臂部的表面背面，形成有以沿着所述第I方向的方式延伸的槽部， 所述槽部的基端侧槽端部比所述外侧倾斜面的所述基端侧端部更靠近所述基端侧配置， 形成于所述基部的所述第2方向的端面的第I激振电极和形成于所述槽部的内壁面的第2激振电极对置配置。5.如权利要求1至4的任一项所述的压电振动片，其特征在于，具有: 在所述一对振动臂部的所述第2方向上的外侧分别以沿着所述第I方向的方式延伸的一对支撑臂部;和 将所述基部和所述支撑臂部连结的连结部， 在所述一对支撑臂部，形成有对于外部电连接的装配电极。6.如权利要求1至4的任一项所述的压电振动片，其特征在于， 具有在所述一对振动臂部之间以沿着所述第I方向的方式延伸的支撑臂部， 在所述支撑臂部，形成有对于外部电连接的装配电极。7.如权利要求1至4的任一项所述的压电振动片，其特征在于，在所述基部，形成有对于外部电连接的装配电极。8.一种压电振动器，其特征在于，具备: 如权利要求1至7的任一项所述的压电振动片;和 封装件，具有互相接合的基底基板和盖基板，在形成于两个基板之间的空腔容纳所述压电振动片。
【文档编号】H03H9/15GK105827212SQ201610050286
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年1月26日
【发明人】市村直也
【申请人】精工电子水晶科技股份有限公司