精密调谐升降基台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及微波等离子体反应腔内的谐振装置，尤其涉及一种精密调谐升降基台。
【背景技术】
[0002]微波等离子体反应腔通过大小调谐基台进行精密调谐。目前，公知的是大调谐基台与主基台之间通过带法兰盘的大波纹管进行密封。大波纹管两端焊接连接法兰盘，大波纹管一端与大调谐基台一端通过法兰盘密封连接，大波纹管另一端与主基台一端通过橡胶密封圈进行密封。由于大波纹管材质为304不锈钢，且工作时反应腔内部充满气体，密封要求较高，所以大波纹管与法兰盘的焊接要求高，焊接难度大，导致带有大波纹管的装置造价曰虫印贝ο
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是解决上述提出的问题，提供能够在保持密封效能条件下降低成本的一种精密调谐升降基台。
[0004]本实用新型的目的是以如下方式实现的:一种精密调谐升降基台，精密调谐升降基台与反应腔体构成微波等离子反应腔，所述反应腔体底部固定在主基台上，位于所述主基台上套设有同轴间隙配合的大调谐基台和小调谐基台，其中所述小调谐基台位于反应腔体的中轴线上，所述大调谐基台与主基台之间通过O型密封圈和金属密封块进行密封。
[0005]更进一步的优化方案是，上述的精密调谐升降基台，所述O型密封圈固定在大调谐基台外侧面上环状沟槽内，位于大调谐基台和金属密封块之间间隙内。
[0006]更进一步的优化方案是，上述的精密调谐升降基台，所述金属密封块与主基台之间通过橡胶圈密封连接。
[0007]更进一步的优化方案是，上述的精密调谐升降基台，所述大调谐基台底端通过法兰盘与小波纹管密封连接。
[0008]更进一步的优化方案是，上述的精密调谐升降基台，所述小调谐基台底端与小波纹管一端通过法兰盘密封连接。
[0009]更进一步的优化方案是，上述的精密调谐升降基台，所述主基台与反应腔体焊接。
[0010]更进一步的优化方案是，上述的精密调谐升降基台，所述反应腔体端部连接将微波传送到反应腔体内的模式转换器，所述模式转换器横向开口一端连接短路活塞，其横向开口另一端连接销钉调节器。
[0011]本实用新型的优点:本实用新型的升降基台不仅能够精密调谐微波等离子体反应腔，而且大调谐基台与主基台之间通过O型密封圈和金属密封块进行密封；由于O型橡胶圈材质是硅橡胶，硅橡胶具有极好的密封性能，可置高温下加热，不变形，不产生有害物质，良好的抗拉力性能，长期使用不变黄不褪色，耐电晕性，耐电弧性、耐老化性能好、耐高低温，可在-60度?+200度温度范围内长期使用。工作时，反应腔内部气压较低。在低压情况下，O型橡胶圈可以保证微波等离子体反应腔内的密封性，且成本较低，维护方便。
【附图说明】
[0012]为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
[0013]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
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[0014]见图1所示，一种精密调谐升降基台，精密调谐升降基台与反应腔体I构成微波等离子反应腔，所述反应腔体I，底部固定在主基台2上，位于所述主基台2上套设有同轴间隙配合的大调谐基台3和小调谐基台4，其中所述小调谐基台4位于反应腔体I的中轴线上，所述大调谐基台3与主基台2之间通过O型密封圈12和金属密封块13进行密封。所述O型密封圈12固定在大调谐基台3外侧面上环状沟槽内，位于大调谐基台3和金属密封块13之间间隙内。所述金属密封块13与主基台2之间通过橡胶圈14密封连接。所述大调谐基台3底端通过法兰盘与小波纹管6密封连接。所述小调谐基台4底端与小波纹管6 —端通过法兰盘密封连接。所述主基台2与反应腔体I焊接。所述反应腔体I端部连接将微波传送到反应腔体I内的模式转换器7，所述模式转换器7横向开口一端连接短路活塞8，其横向开口另一端连接销钉调节器9。
[0015]在图1所示实施例中，反应腔体I与箱体11通过螺栓固定连接，基片10位于小调谐基台4上，大调谐基台3和小调谐基台4之间采用间隙配合。同时，大调谐基台3的一端和小波纹管6 —端通过法兰盘密封连接，小调谐基台4的一端与小波纹管6的另一端通过法兰盘密封连接。金属密封块13与大调谐基台3之间是间隙配合，O型橡胶圈12固定在大调谐基台3外侧面上环状沟槽内，位于大调谐基台3和金属密封块13之间间隙内，起到密封作用，主基台2与大调谐基台3之间是间隙配合，主基台2与反应腔体I之间焊接连接。工作时，金属密封块13与主基台2通过橡胶圈14进行密封，O型橡胶圈12在金属密封块13的范围内滑动，起到密封大调谐基台3的作用。分别升降大调谐基台3和小调谐基台4，实现对微波等离子体反应腔的精密调谐。
[0016]反应腔体I直径180晕米，尚220晕米，材质是304不镑钢；大调谐基台3和小调谐基台4的直径分别为100毫米和50毫米，高度分别为350毫米和510毫米，大调谐基台3材质是304不锈钢，小调谐基台4材质是304不锈钢；主基台2内径是100毫米，高度为48毫米，材质是304不锈钢；小波纹管6壁厚0.2毫米，型号是KF40FXC100，材质是304不锈钢。
[0017]以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种精密调谐升降基台，其特征在于:精密调谐升降基台与反应腔体(I)构成微波等离子反应腔，所述反应腔体(I)底部固定在主基台(2)上，位于所述主基台(2)上套设有同轴间隙配合的大调谐基台⑶和小调谐基台(4)，其中所述小调谐基台(4)位于反应腔体(I)的中轴线上，所述大调谐基台⑶与主基台⑵之间通过O型密封圈(12)和金属密封块(13)进行密封。
2.根据权利要求1所述的精密调谐升降基台，其特征在于:所述O型密封圈(12)固定在大调谐基台(3)外侧面上环状沟槽内，位于大调谐基台(3)和金属密封块(13)之间间隙内。
3.根据权利要求2所述的精密调谐升降基台，其特征在于:所述金属密封块(13)与主基台(2)之间通过橡胶圈(14)密封连接。
4.根据权利要求3所述的精密调谐升降基台，其特征在于:所述大调谐基台(3)底端通过法兰盘与小波纹管(6)密封连接。
5.根据权利要求2所述的精密调谐升降基台，其特征在于:所述小调谐基台(4)底端与小波纹管(6) —端通过法兰盘密封连接。
6.根据权利要求5所述的精密调谐升降基台，其特征在于:所述主基台(2)与反应腔体⑴焊接。
7.根据权利要求6所述的精密调谐升降基台，其特征在于:所述反应腔体(I)端部连接将微波传送到反应腔体(I)内的模式转换器(7)，所述模式转换器(7)横向开口一端连接短路活塞(8)，其横向开口另一端连接销钉调节器(9)。
【专利摘要】本实用新型公开了一种精密调谐升降基台，不仅能够精密调谐微波等离子体反应腔，而且所述大调谐基台与主基台之间通过O型密封圈和金属密封块进行密封，由于O型橡胶圈材质是硅橡胶，硅橡胶具有极好的密封性能，可置高温下加热，不变形，不产生有害物质，良好的抗拉力性能，长期使用不变黄不褪色，耐电晕性，耐电弧性、耐老化性能好、耐高低温，可在-60度～+200度温度范围内长期使用，工作时，反应腔内部气压较低，在低压情况下，O型橡胶圈可以保证微波等离子体反应腔内的密封性，且成本较低，维护方便。
【IPC分类】H05H1-46
【公开号】CN204291552
【申请号】CN201420752779
【发明人】刘小利, 周学芹, 史玉芬, 赵海栋
【申请人】刘小利
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月5日