一种微型低温等离子微控式喷嘴的制作方法

文档序号:10465864阅读:573来源:国知局
一种微型低温等离子微控式喷嘴的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及等离子体技术领域,具体涉及一种微型低温等离子微控式喷嘴。
【背景技术】
[0002]等离子体在化学工业中的真正应用是在20世纪50年代以后。联邦德国赫斯和赫司特化工厂于50年代成功地从甲烷和其他烃类在氢等离子体中热解制取乙炔。此后,美国、苏联和日本都相应地建造了等离子体制乙炔的实验工厂。此法流程简单,对原料适应性强,但电耗偏高,限制了它的大规模推广。60年代,美国离子弧公司以锆英砂为原料在直流电弧等离子体中一步裂解制备氧化锆。70年代末,中国以硼砂和尿素为原料,在直流电弧等离子体中制备高纯六方氮化硼粉,该法具有产品纯度高、成本低、工艺流程简单等优点。此外,还可利用等离子技术生产二氧化钛。等离子体需要有良好的控制效果,只是采用通管式并不能达到精确控制的效果。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提供一种结构简单,设计合理、使用方便的一种微型低温等离子微控式喷嘴,它采用调节块与卡块的设置能起到调节连接的作用,保证连块与喷嘴之间的连接,具有良好控制效果,且它具有使用方便,操作简单,实用性好,成本低廉等特点。
[0004]为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
[0005]本实用新型所述的一种微型低温等离子微控式喷嘴,包括喷嘴、陶瓷绝缘体和连接管口,所述喷嘴后端连接有陶瓷绝缘体,所述陶瓷绝缘体后端设置有连接管口,所述喷嘴后端设置有调节块和连块,所述调节块与连块卡接在一起,所述调节块与连块设置在陶瓷绝缘体内,所述连接管口卡接有电极,所述电极设置在陶瓷绝缘体内,所述调节块外围包着卡块,所述卡块与喷嘴连接。
[0006]所述调节块内两侧设置有微滤通管,所述卡块中心设置有中滤管,通过侧面的微滤通管与中滤管的设置,交错型结构能够保证卡接过滤,能够通过变化调节块与卡块距离来调节通过量,达到控制效果。
[0007]所述卡块两端设置有弹性块,弹性块的设置能够保证卡块与喷嘴之间的弹性连接,防止硬性连接带来的磨损污染。
[0008]所述电极设置有锥斜面,所述锥斜面设置在电极与连接管口交界处,锥斜面的设置能够保证气体的连通性,防止气体流通过程中形成死体积,保证使用过程中气流的稳定性,保证等离子的稳定性。
[0009]采用上述结构后,本实用新型有益效果为:本实用新型它采用调节块与卡块的设置能起到调节连接的作用,保证连块与喷嘴之间的连接,具有良好控制效果;采用卡块与调节块的交错连接,能够起到交错微滤设置,能够将通过孔隙来保证流量控制;且它具有使用方便,操作简单,实用性好,成本低廉等特点。
【附图说明】
[00?0]图1是本实用新型的结构不意图;
[0011]附图标记说明:
[0012]1、喷嘴;2、调节块;2-1、微滤通管;2-2、卡块;2_3、中滤块;2_4、弹性块;3、连块;4、陶瓷绝缘体;5、电极;6、连接管口; 7、锥斜面。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
[0014]如图1所示,本实用新型所述的一种微型低温等离子微控式喷嘴,包括喷嘴1、陶瓷绝缘体4和连接管口 6,所述喷嘴I后端连接有陶瓷绝缘体4,所述陶瓷绝缘体4后端设置有连接管口 6,所述喷嘴I后端设置有调节块2和连块3,所述调节块2与连块3卡接在一起,所述调节块2与连块3设置在陶瓷绝缘体4内,所述连接管口 6卡接有电极5,所述电极5设置在陶瓷绝缘体4内,所述调节块2外围包着卡块2-2,所述卡块2-2与喷嘴I连接。
[0015]所述调节块2内两侧设置有微滤通管2-1,所述卡块2-2中心设置有中滤管2-3,通过侧面的微滤通管与中滤管的设置,交错型结构能够保证卡接过滤,能够通过变化调节块与卡块距离来调节通过量,达到控制效果。
[0016]所述卡块2-2两端设置有弹性块2-4,弹性块的设置能够保证卡块与喷嘴之间的弹性连接,防止硬性连接带来的磨损污染。
[0017]所述电极5设置有锥斜面7,所述锥斜面7设置在电极5与连接管口6交界处,锥斜面的设置能够保证气体的连通性,防止气体流通过程中形成死体积,保证使用过程中气流的稳定性,保证等离子的稳定性。
[0018]本实用新型它采用调节块与卡块的设置能起到调节连接的作用,保证连块与喷嘴之间的连接,具有良好控制效果;采用卡块与调节块的交错连接,能够起到交错微滤设置,能够将通过孔隙来保证流量控制;且它具有使用方便,操作简单,实用性好,成本低廉等特点。
[0019]以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式,故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均包括于本实用新型专利申请范围内。
【主权项】
1.一种微型低温等离子微控式喷嘴,其特征在于:它包括喷嘴(I)、陶瓷绝缘体(4)和连接管口(6),所述喷嘴(I)后端连接有陶瓷绝缘体(4),所述陶瓷绝缘体(4)后端设置有连接管口(6),所述喷嘴(I)后端设置有调节块(2)和连块(3),所述调节块(2)与连块(3)卡接在一起,所述调节块(2 )与连块(3 )设置在陶瓷绝缘体(4 )内,所述连接管口( 6 )卡接有电极(5),所述电极(5)设置在陶瓷绝缘体(4)内,所述调节块(2)外围包着卡块(2-2),所述卡块(2-2)与喷嘴(I)连接。2.根据权利要求1所述的一种微型低温等离子微控式喷嘴,其特征在于:所述调节块(2 )内两侧设置有微滤通管(2-1 ),所述卡块(2-2 )中心设置有中滤管(2-3 )。3.根据权利要求1所述的一种微型低温等离子微控式喷嘴,其特征在于:所述卡块(2-2)两端设置有弹性块(2-4)。4.根据权利要求1所述的一种微型低温等离子微控式喷嘴,其特征在于:所述电极(5)设置有锥斜面(7),所述锥斜面(7)设置在电极(5)与连接管口(6)交界处。
【专利摘要】本实用新型具体涉及一种微型低温等离子微控式喷嘴,它包括喷嘴、陶瓷绝缘体和连接管口,所述喷嘴后端连接有陶瓷绝缘体,所述陶瓷绝缘体后端设置有连接管口,所述喷嘴后端设置有调节块和连块,所述调节块与连块卡接在一起,所述调节块与连块设置在陶瓷绝缘体内,所述连接管口卡接有电极,所述电极设置在陶瓷绝缘体内,所述调节块外围包着卡块,所述卡块与喷嘴连接。本实用新型它采用调节块与卡块的设置能起到调节连接的作用,保证连块与喷嘴之间的连接,具有良好控制效果,且它具有使用方便,操作简单,实用性好,成本低廉等特点。
【IPC分类】H05H1/26
【公开号】CN205378333
【申请号】CN201620024446
【发明人】李志强, 焦金萍
【申请人】深圳市方瑞科技有限公司
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2016年1月12日
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