专利名称：带有源放大器的catv用光接收模块的制作方法
技术领域：
本发明提供一种光接收模块，应用于CATV的光接收机，作为光接收机的前端部件，将输入的光信号转换成电信号，并进行线性放大后输出。
背景技术：
目前用于CATV的光接收模块是直接利用InGaAsPIN光电二极管(InGaAsPIN-PD)的光电转换功能，将输入的光信号转换成电信号直接输出，未加有源放大器，无增益。如山东淄博星海电子设备有限公司生产的BGE887BO/FC光接收模块(见www.sdxinghai.com)，就未加有源放大器，无增益。因而在一定的接收光功率状态下，接收模块输出的电信号很小，这就增加了光接收机设计的复杂性和制作工艺的复杂性，对光接收机的使用甚感不便。对于光接收机研制人员，希望使用带有源放大器、具有内部增益功能的光接收模块，以简化设计和制作工艺，便于使用，提高技术性能。
发明内容
本发明的任务是针对目前CATV用光接收模块不具备有源放大器，无增益功能的不足之处，提供一种带有源放大器的CATV用光接收模块。模块由InGaAsPIN-PD光电探测器、阻抗匹配电路、偏置电路组成，其特征在于在模块的InGaAsPIN-PD光电探测器后接一有源放大器，使模块具有大的增益功能。有源放大器由GaAsFET构成，也可以由GaAsHEMT构成，还可以由HBT构成。其解决的办法和采用的技术方案是采用薄膜混合集成电路工艺，将InGaAsPIN-PD芯片、GaAsFET芯片、片式电容等集成在一Al2O3陶瓷基片电路上，使之构成光接收模块。将该种光接收模块用于CATV光接收机，与现有的未加有源放大器的光接收模块相比，可大大简化光接收机的结构和制作工艺，提高光接收机的性能等技术指标，特别适合于光工作站使用。
附图1为本发明的原理框图附图2为本发明的制作工艺流程1中InGaAsPIN-PD为光电转换器件，将光信号转换成电信号；有源放大器是将微弱的电信号进行线性放大；阻抗匹配电路是使模块有最佳的放大性能和阻抗要求；偏置电路是提供光电转换器件合适的工作电压。
具体实施例方式
模块内的各元器件采用薄膜混合集成电路工艺制作，在Al2O3陶瓷基片上采用蒸发、光刻工艺制作薄膜电路的金导带和铬电阻。InGaAsPIN-PD芯片、FET芯片、贴片电容等采用导电胶粘贴于薄膜电路上，芯片之间互连和引线焊接采用热压焊和金丝球焊实现。整个薄膜电路基片安装于镀金可伐14线双列直插式管壳内，光纤与光电探测器采用水平金属化耦合，盖板采用平行缝焊与管壳焊接封装。
下面结合附图2本发明的工艺流程图对发明作进一步说明并介绍一实施例1、Al2O3基片磨抛将Al2O3切割成所需大小，研磨至厚度为0.4mm，再进行表面抛光，先粗抛，后细抛，直至表面光亮如镜，无划痕，无踏边。
2、蒸铬层在真空镀膜设备中，采用蒸发工艺在Al2O3表面蒸镀一层铬膜，使其方块电阻为50Ω。
3、制作电阻在已蒸镀铬层的Al2O3上，采用光刻的方法制作电阻，根据需要的电阻值，用激光进行适当修正，使其达到所需数值。
4、蒸金层将制作了电阻部分掩蔽，在其余部分蒸发一金层，其厚度5μm。
5、粘贴放大器芯片，用导电胶将GaAsFET芯片(或GaAsHEMT芯片以及HBT芯片)粘贴于薄膜电路上，180℃下，烘烤1h。
6、键合实现GaAsFET芯片与薄膜电路间的电连接。
7、粘贴PIN-PD芯片用导电胶将PIN-PD芯片、片式电容粘贴于薄膜电路上，180℃下，烘烤1h。
8、薄膜电路安装将薄膜混合集成电路安装于镀金可伐双列14线直插式管壳内。
9、压焊引线用金丝球焊将薄膜电路与管脚连接。
10、光纤耦合将端面磨斜的光纤与PIN-PD芯片光敏面进行对准耦合并用合金焊料固定。
11、检测按照模块技术指标，对模块进行参数检测，合格后再进行下一工艺。
12、封盖板采用平行缝焊工艺，在氮气保护下将盖板与管壳进行全密封性焊接，模块制作完成。
13、检漏采用氦质谱检漏仪，对模块进行检漏，保证模块的气密性。
权利要求
1.一种CATV用光接收模块，具有InGaAsPIN-PD光电探测器，阻抗匹配电路，偏置电路，其特征在于在模块的InGaAsPIN-PD光电探测器后接有一有源放大器。
2.根据权利要求1所述的光接收模块，其特征在于有源放大器由GaAs FET构成。
3.根据权利要求1所述的光接收模块，其特征在于有源放大器由GaAsHEMT构成。
4.根据权利要求1所述的光接收模块，其特征在于有源放大器由HBT构成。
全文摘要
本发明提供了一种CATV用光接收模块，由InGaAsPIN－PD光电探测器、阻抗匹配电路和偏置电路组成，其特征在于在模块的InGaAsPIN－PD光电探测器后接有一有源放大器。有源放大器可由GaAsFET构成，也可以由GaAsHEMT构成，还可以由HBT构成。该模块用于CATV的光接收机，可简化光接收机的结构及制作工艺，提高光接收机的性能指标，特别适合于光工作站中使用。
文档编号H04B10/06GK1492679SQ02133930
公开日2004年4月28日 申请日期2002年10月21日 优先权日2002年10月21日
发明者钟迪新 申请人:重庆科业光电有限公司