专利名称：一体式精密定位平台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种精密定位平台，特别是一种可实现沿X、Y方向的精密定位及绕Z轴的角度精细调整的一体式精密定位平台。
背景技术：
由于目前精密定位平台的传动大多是采用传统的机械结构，因此，不可避免地存在着间隙、摩擦，定位精度也很难提升到亚微米级；近年来，高精度的三自由度定位平台多采用上下两层平台，可以实现亚微米级定位，但其加工复杂，平台的稳定性也不好。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种能够达到极高的精度且易于加工的一体式精密定位平台，它是单层三自由度精密定位平台，不仅能达到亚微米级的定位精度，而且整个定位平台本体是单层一体式的，可以由一块材料加工而成。
本实用新型是通过下述技术方案实现的本实用新型包括运动平台、基座，运动平台与基座之间通过四个三自由度的柔性铰链连接，四个三自由度的柔性铰链对称分布在运动平台的四角；所述运动平台与基座之间的三个凹槽中嵌放有三个压电致动器，压电致动器的一端固定在基座的凹槽中，另一端与运动平台的凹槽接触。
本实用新型的有益效果(1)本实用新型由于采用了四个对称的柔性铰链，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性，并以对称结构提高运动平台移动的直线度；(2)本实用新型由于采用了三自由度的柔性铰链，不仅使得运动平台能同时提供X、Y方向平移和Z方向旋转，而且使得运动平台和基座都在同一层次上；(3)本实用新型由于采用压电致动器作为致动器，保证了驱动源的高精度运动输出和快的响应速度。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1中三自由度的柔性铰链的结构示意图；图中1-基座2、3、4、5-三自由度的柔性铰链6-运动平台 7、8、9-压电致动器。
具体实施方式
如图1、2所示，本实用新型包括运动平台6、基座1、三自由度的柔性铰链2、3、4、5和压电致动器7、8、9。运动平台6与基座1通过四个三自由度的柔性铰链2、3、4、5连接，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性；四个三自由度的柔性铰链2、3、4、5对称分布在运动平台6的四角，使出力均匀稳定，对输出位移或输出转角控制更加方便容易；压电致动器7、8、9嵌放在运动平台6与基座1之间的三个凹槽中，压电致动器的一端固定在基座1的凹槽中，另一端与运动平台6的凹槽接触，这样通过压电致动器的伸缩就可以推动运动平台产生X、Y方向位移和绕Z轴的转角。
本实用新型的一体式精密定位平台是单层三自由度精密定位平台，它不但能达到亚微米级的定位精度，稳定性好，而且整个定位平台本体是单层一体式的，可以由一块材料加工而成，可应用于精密定位领域。
权利要求1.一种一体式精密定位平台，包括运动平台、基座，其特征在于运动平台与基座之间通过四个三自由度的柔性铰链连接，四个三自由度的柔性铰链对称分布在运动平台的四角；所述运动平台与基座之间的三个凹槽中嵌放有三个压电致动器，压电致动器的一端固定在基座的凹槽中，另一端与运动平台的凹槽接触。
专利摘要本实用新型公开了一种一体式精密定位平台，包括运动平台、基座，运动平台与基座之间通过四个三自由度的柔性铰链连接，四个三自由度的柔性铰链对称分布在运动平台的四角；运动平台与基座之间的三个凹槽中嵌放有三个压电致动器，压电致动器的一端固定在基座的凹槽中，另一端与运动平台的凹槽接触。本实用新型由于采用四个对称的三自由度的柔性铰链，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性，并以对称结构提高运动平台移动的直线度，不仅使得运动平台能同时提供X、Y方向平移和Z方向旋转，而且使得运动平台和基座都在同一层次上。本实用新型整个定位平台本体是单层一体式的，可以由一块材料加工而成，可应用于精密定位领域。
文档编号G12B5/00GK2706835SQ20042004615
公开日2005年6月29日 申请日期2004年5月26日 优先权日2004年5月26日
发明者张宪民, 彭惠青, 欧阳高飞, 王 华 申请人:华南理工大学