一种晶体提升装置的制作方法

文档序号:8022636阅读:183来源:国知局
专利名称:一种晶体提升装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种晶体提升装置,尤其涉及一种单晶炉用的晶体提升装置。
背景技术
在制造单晶硅时,晶体提升装置用于提升在单晶炉中的籽晶,以实现单晶硅的生长。在该过程中,籽晶必须边提升边旋转,其提升的速度和旋转速度必须严格控制,才能达到预期的生产目的。同时在实际应用中,晶体提升装置必须满足提升速度稳定及钢丝绳的对中性好的要求。现有的晶体提升装置都是采用卷丝轮旋转缠绕钢丝绳实现籽晶的上下移动,在卷丝轮旋转缠绕钢丝绳的过程中,钢丝绳容易偏移和堆压,影响提升过程中速度的稳定性和钢丝绳的对中性。中国专利申请00805352.9公开了一种“生长处理中控制晶体直径的方法与装置”,在该申请的装置中,电动机的轴与鼓之间的机械联结,缆索绕接在鼓上并经过滑轮接籽晶。该申请没有公开详细的晶体提升装置的机构,所属领域的普通技术人员不经过创造性劳动难以实现;同时该申请的装置在使用时,鼓上的线索容易堆压,从而影响滑轮的转速,影响了籽晶的提升速度稳定。欧洲专利公开号GB2183212 A公开了一种“装载装置(Apparatus for handling loads)”,在该申请中,绕鼓在电机的带动下旋转时,通过其底部的牵引装置使绕鼓所在的底座产生位移,从而使挂有重物的线缆的左右位置保持稳定。但该装置因为绕鼓、底座及在底座下端的牵引装置是上下结构关系导致体积较大;同时绕鼓与牵引轴通过链条齿轮连接,链条与齿轮的联动过程中,往往有间隙,从而影响了在控制提拉速度时的精度;另一方面,该装置在使用过程中,绕鼓、底座和电机同时受牵引装置的牵引才能产生位移,所以牵引装置受力很大,导致牵引装置容易磨损,影响了使用寿命。

发明内容
本发明目的在于提供一种结构简单、使用寿命长、对中性好、速度稳定性好和控制精度高的晶体提升装置。
实现本发明目的的技术方案是本发明的晶体提升装置,包括一个由卷丝轮,卷绕在所述卷丝轮上的牵引钢丝绳,与所述卷丝轮同轴连接并可转动地支承在一个支撑体上的传动轴,以及驱动所述传动轴及所述卷丝轮转动的动力机构组成的起重组件;其特征在于一个牵引轮与所述卷丝轮固定连接在一起,并一起套接在所述传动轴上;所述传动轴至少与所述牵引轮及所述卷丝轮之一通过花键可沿所述传动轴的轴向滑动地连接;一个牵引套固定在所述支撑体上;所述牵引轮与所述牵引套螺纹连接;所述牵引轮与所述牵引套之间的螺纹的螺距确定所述牵引轮转动一周所产生的轴向位移与所述钢丝绳牵引端相对于卷丝轮产生的轴向位移在相反的方向上相等。
上述技术方案中,还具有牵引限位机构,所述牵引限位机构包括至少在固定连接在一起的所述牵引轮及所述卷丝轮之一上设置有拨叉轮;与所述拨叉轮配合连接的一个拨盘;与所述拨盘配合设置的一个导杆;在所述导杆上与所述拨盘间隔一定距离设置的磁性块;以及在所述支撑体上对应于所述磁性块的位移区域相间设置的第一限位开关和第二限位开关。
上述技术方案中,所述磁性块在导杆上的位置及所述第一限位开关和第二限位开关的相间距离可以调整。
上述技术方案中,所述磁性块在一个有机玻璃套构成的滑道内,在所述导杆的带动下往复滑动。
上述技术方案中,还具有钢丝绳稳定机构,所述钢丝绳稳定机构包括在所述支撑体上与所述钢丝绳的牵引端对应的位置上设置的具有一端封闭腔体的弹簧座,所述腔体的开口端对着所述钢丝绳的牵引端;在所述弹簧座的所述封闭腔体内设置一个可沿所述腔体滑动的滑动部件和对所述滑动部件施加朝向所述封闭腔体开口端的作用力的偏压件;所述滑动部件使对应位置的所述钢丝绳紧靠在所述卷丝轮上。
上述技术方案中,所述滑动部件靠近所述卷丝轮的一端成型有一个铅垂方向的凹槽,在所述铅垂方向的凹槽内设置一个压紧轮,所述压紧轮的转轴设置在沿水平方向成型在所述铅垂方向的凹槽的两侧壁上的滑槽内。
上述技术方案中,在所述压紧轮与其转轴之间设置有轴承。
上述技术方案中,在所述卷丝轮外圆上设置有导引所述钢丝绳排布的螺纹槽,所述螺纹槽的螺距与所述牵引轮与所述牵引套之间的螺纹的螺距相等。
本发明具有积极的效果(1)本发明的牵引轮与所述卷丝轮固定连接在一起,并一起套接在所述传动轴上,在实现了卷丝轮的水平随动中,保证了钢丝绳左右位置的稳定,提高了提升过程中速度的稳定性和钢丝绳的对中性的同时,简化了所述晶体提升装置的结构。同时在传动轴、牵引套和牵引轮的联动时,受力较小,确保了使用寿命。(2)本发明通过调整磁性块与开关的相对位置而限定卷丝轮的左右移动位置,使本发明的晶体提升装置适用于不的同晶体成型条件。(3)通过偏压件紧压钢丝绳和卷丝轮,进一步确保了钢丝绳提升速度的稳定性和对中性。


图1为本发明的晶体提升装置的结构示意图。
图2为图1中的A-A剖面视图。
具体实施例方式
参见图1和图2,实现本发明的晶体提升装置具有起重组件、左端盖1、传动轴2、牵引套3、牵引轮4、支撑体5、限位滑轮6、钢丝绳7、卷丝轮8、右端盖10、重物15、拨盘16、拨叉轮17、导杆18、磁性块20、有机玻璃套21、第一限位开关22、第二限位开关23、压紧轮24、轴承25、滑动块26、弹簧27和弹簧座28。
起重组件包括连轴器12、减速机13和电动机14,电动机14与减速机13连接,与所述卷丝轮8同轴连接并可转动地支承在一个支撑体5上的传动轴2与减速机13通过轴器12连接。
支撑体5上侧具有监视窗9,支撑体5的底部为底板19。
钢丝绳7的一端卷绕在所述卷丝轮8上,另一端与重物15连接。
牵引轮4与卷丝轮8成型为一体(在其它实施例中,比如说为加工或组装的需要,牵引轮4和卷丝轮8可以是两个固定连接在一起的独立的部件),并一起套接在传动轴2上;传动轴2与牵引轮4通过花键可沿所述传动轴2的轴向滑动地连接(在其它实施例中,显然也可以采用传动轴2与卷丝轮8通过花键可沿所述传动轴2的轴向滑动地连接的方式)。
在卷丝轮8外圆上设置有导引钢丝绳7排布的螺纹槽,螺纹槽的螺距与牵引轮4与牵引套3之间的螺纹的螺距相等。
牵引套3固定在支撑体5上;牵引轮4与牵引套3螺纹连接;牵引轮4与牵引套3之间的螺纹的螺距确定牵引轮4转动一周所产生的轴向位移与钢丝绳7牵引端相对于卷丝轮8产生的轴向位移在相反的方向上相等。
所述牵引限位机构包括牵引轮4上设置有拨叉轮17(其它实施例中,也可以是卷丝轮8上设置拨叉轮17);与拨叉轮17配合连接的一个拨盘16;与拨盘16配合设置的一个导杆18;在导杆18上与拨盘16间隔一定距离设置的磁性块20;以及在支撑体5上对应于磁性块20的位移区域相间设置的第一限位开关22和第二限位开关23。
限位滑轮6设置在卷丝轮8的左端。
磁性块20在导杆18上的位置及第一限位开关22和第二限位开关23的相间距离可以调整。
磁性块20在一个有机玻璃套21构成的滑道内,在导杆18的带动下往复滑动。
钢丝绳稳定机构包括,在支撑体5上与钢丝绳7的牵引端对应的位置上设置的具有一端封闭腔体的弹簧座28,腔体的开口端对着钢丝绳7的牵引端;滑动块26和弹簧27设置在弹簧座28内,在压紧轮24与其转轴之间设置有轴承25,压紧轮24的轴孔穿过轴承25,弹簧27压动滑动块26,同时滑动块26压紧压紧轮24使压紧轮24紧压钢丝绳7和卷丝轮8。
左端盖1固定设置在支撑体5的左端,右端盖10固定设置在支撑体5的右端,密封盖11固定设置在右端盖10的右端,有机玻璃套21固定设置在左端盖1的左端。
权利要求
1.一种晶体提升装置,包括一个由卷丝轮(8),卷绕在所述卷丝轮(8)上的牵引钢丝绳(7),与所述卷丝轮(8)同轴连接并可转动地支承在一个支撑体(5)上的传动轴(2),以及驱动所述传动轴(2)及所述卷丝轮(8)转动的动力机构组成的起重组件;其特征在于一个牵引轮(4)与所述卷丝轮(8)固定连接在一起,并一起套接在所述传动轴(2)上;所述传动轴(2)至少与所述牵引轮(4)及所述卷丝轮(8)之一通过花键可沿所述传动轴(2)的轴向滑动地连接;一个牵引套(3)固定在所述支撑体(5)上;所述牵引轮(4)与所述牵引套(3)螺纹连接;所述牵引轮(4)与所述牵引套(3)之间的螺纹的螺距确定所述牵引轮(4)转动一周所产生的轴向位移与所述钢丝绳(7)牵引端相对于卷丝轮(8)产生的轴向位移在相反的方向上相等。
2.根据权利要求1所述的晶体提升装置,其特征在于还具有牵引限位机构,所述牵引限位机构包括至少在固定连接在一起的所述牵引轮(4)及所述卷丝轮(8)之一上设置有拨叉轮(17);与所述拨叉轮(17)配合连接的一个拨盘(16);与所述拨盘(16)配合设置的一个导杆(18);在所述导杆(18)上与所述拨盘(16)间隔一定距离设置的磁性块(20);以及在所述支撑体(5)上对应于所述磁性块(20)的位移区域相间设置的第一限位开关(22)和第二限位开关(23)。
3.根据权利要求2所述的晶体提升装置,其特征在于所述磁性块(20)在导杆(18)上的位置及所述第一限位开关(22)和第二限位开关(23)的相间距离可以调整。
4.根据权利要求2所述的晶体提升装置,其特征在于所述磁性块(20)在一个有机玻璃套(21)构成的滑道内,在所述导杆(18)的带动下往复滑动。
5.根据权利要求1所述的晶体提升装置,其特征在于还具有钢丝绳稳定机构,所述钢丝绳稳定机构包括在所述支撑体(5)上与所述钢丝绳(7)的牵引端对应的位置上设置的具有一端封闭腔体的弹簧座(28),所述腔体的开口端对着所述钢丝绳(7)的牵引端;在所述弹簧座(28)的所述封闭腔体内设置一个可沿所述腔体滑动的滑动部件和对所述滑动部件施加朝向所述封闭腔体开口端的作用力的偏压件;所述滑动部件使对应位置的所述钢丝绳(7)紧靠在所述卷丝轮(8)上。
6.根据权利要求5所述的晶体提升装置,其特征在于所述滑动部件靠近所述卷丝轮(8)的一端成型有一个铅垂方向的凹槽,在所述铅垂方向的凹槽内设置一个压紧轮(24),所述压紧轮(24)的转轴设置在沿水平方向成型在所述铅垂方向的凹槽的两侧壁上的滑槽内。
7.根据权利要求6所述的晶体提升装置,其特征在于在所述压紧轮(24)与其转轴之间设置有轴承(25)。
8.根据权利要求1所述的晶体提升机构,其特征在于在所述卷丝轮(8)外圆上设置有导引所述钢丝绳(7)排布的螺纹槽,所述螺纹槽的螺距与所述牵引轮(4)与所述牵引套(3)之间的螺纹的螺距相等。
全文摘要
本发明涉及一种晶体提升装置。该装置包括由卷丝轮,卷绕在卷丝轮上的牵引钢丝绳,与卷丝轮同轴连接并可转动地支承在支撑体上的传动轴,以及驱动传动轴及卷丝轮转动的动力机构组成的起重组件;牵引轮与卷丝轮固定连接在一起,并一起套接在传动轴上;传动轴至少与牵引轮及卷丝轮之一通过花键可沿传动轴的轴向滑动地连接;牵引套固定在支撑体上;牵引轮与牵引套螺纹连接;牵引轮与牵引套之间的螺纹的螺距确定牵引轮转动一周所产生的轴向位移与钢丝绳牵引端相对于卷丝轮产生的轴向位移在相反的方向上相等。本发明的装置实现了卷丝轮的水平随动,保证了钢丝绳左右位置的稳定,提高了提升过程中速度的稳定性和钢丝绳的对中性,使用寿命长。
文档编号C30B15/30GK1840744SQ20051005932
公开日2006年10月4日 申请日期2005年3月28日 优先权日2005年3月28日
发明者荀建华 申请人:荀建华
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