专利名称：X射线源的制作方法
技术领域：
本发明尤其涉及一种用作微焦(micro-focus)X射线源的X射线源。
背景技术：
以往，作为上述技术领域的技术公知的有，在非专利文献1中记载的微焦X射线源(浜松光子学株式会社，产品型号L9181S)。该微焦X射线源是如下类型的X射线源，即，其具有使来自电子枪的电子撞击靶、使产生的X射线经由照射窗向外部照射的X射线管。该微焦X射线源用于，基于由透过检查对象物的X射线而形成的透过图像来发现检查对象物的异常的X射线非破坏检查装置。
非专利文献1微焦X射线源系列，浜松光子学株式会社，平成16(2004)年4月，p.1发明内容但是，这种微焦X射线源的输出越大，运转时的来自X射线管的发热也越大。当X射线管成为高温，则输出会随之下降，因此，如果要稳定地实现是X射线源的高输出，就必须高效地对X射线管进行冷却。在上述X射线源中，利用使收容X射线管的X射线管包围部露出于容纳控制基板等的箱体的结构，使来自X射线管的热量容易散热。而且，作为进一步提高冷却效率的方法之一，在运转中，利用附加的冷却扇向露出的X射线管包围部吹送冷却风，由此冷却X射线管。
但是，在此情况下，来自冷却扇的冷却风扩散，冷却风难以集中地与X射线管包围部相接触，因此，不能充分实现X射线管的冷却。而且，由于在X射线管的冷却中发生不均匀，因此，容易导致输出不稳定和输出下降，难以实现该X射线源的稳定的高输出。
在X射线源的输出低时，X射线的照射量小，因此，在X射线非破坏检查装置的情况下，不能得到清晰的透过图像，难以进行高精度的检查。尤其是，高速地在传送带上流通的检查对象物进行透视检查的情况下，由于必须将照射X射线的时间设定得尽可能短，因此，在X射线源的输出低的情况下不能得到清晰的透过图像。
因而，本发明的课题是提供一种实现稳定高输出的X射线源。
为了解决上述课题，本发明的X射线源，其特征在于，具有由绝缘材料模制的高压电源部；利用来自该高压电源部的电力发生X射线并向外部照射的X射线管；从高压电源部突出地设置，包围X射线管的至少一部分的X射线管包围部；容纳高压电源部和X射线管包围部的箱体；和使冷却风在箱体内部的X射线管包围部的周围流动的冷却扇。
在该X射线源中，由于由冷却扇发生的冷却风在箱体内流动，因此，可以使该冷却风在X射线管包围部的周围高效、均匀地流动。利用该冷却风从X射线管包围部除去热量。
另外，箱体优选具有具有将由X射线管发生的X射线向箱体外部照射的照射窗的第1壁；相对于该第1壁在大致垂直方向上延伸并且设置有冷却扇的第2壁；与上述第1壁和第2壁相交并连结两者的倾斜壁。在此情况下，通过使连结第1壁和第2壁的壁成为倾斜壁，使倾斜壁具有对由冷却扇生成的气流进行引导的功能。
另外，优选还具有设置在X射线包围部的外周上的散热片。利用散热片，使X射线管包围部和在其周围流动的冷却风的传热面积增大，增加传热量。
在箱体内还可以具有分隔壁，分隔收容对X射线产生部进行控制的控制部，和至少具有高压电源部、X射线管和X射线管包围部的X射线产生部以及冷却扇所处的空间。由此，抑制对高压电源部和X射线管包围部进行冷却并成为热风的空气向控制部周围流动。
该分隔壁优选具有，设置在X射线管包围部和控制部之间，对划分的空间进行连通的通风口。在此情况下，可抑制热风的流入，并使由冷却扇导入空气的一部分向控制部周围流通。或者，分隔壁还可以隔断划分的空间之间的连通。在此情况下，收容有X射线产生部的空间与控制部周围的空间隔绝，并隔断了相互间的气流流通。
还可以具有，配置在箱体的配置有控制部的空间侧的第2冷却扇。该第2冷却扇主要具有对控制部进行冷却的功能。
根据本发明，通过利用冷却风高效地对X射线管包围部进行冷却，使由X射线管发生的热量通过X射线管包围部而高效地除去。也就是，由于可以高效地对X射线管进行冷却，因此可以实现X射线源的稳定的高输出。
当在箱体上设置倾斜壁时，可以利用该倾斜壁在箱体内生成平稳的冷却风，作为其结果，可以高效地对X射线管包围部进行冷却。
当在X射线管包围部的外围设置散热片时，则可以增大从X射线管包围部向冷却风的传热量，可以高效地对X射线管包围部进行冷却。
通过在箱体内部如上所述地设置分隔壁，则可以利用该分隔壁抑制在冷却X射线产生部后成为高温的冷却风(热风)向控制部方向流动，因此，可以抑制控制部的温度上升。作为其结果，可以使控制部的动作稳定。
当在分隔壁上设置如上所述的通风口时，可以抑制在冷却X射线管包围部后成为高温的冷却风直接流入控制部，同时，可以使由冷却扇发生的冷却风的一部分通过通风口导入控制部，因此，有助于控制部的冷却，可以进一步使控制部的动作稳定。
另一方面，在利用分隔壁隔绝X射线产生部和控制部时，可以使冷却风集中地在X射线产生部的周围流动，可以集中地进行冷却。
当在控制部侧设置第2冷却扇时，可以利用第2冷却扇集中地对控制部进行冷却。
图1是表示本发明的X射线源的第1实施方式的立体图。
图2是图1所示的X射线源的主视图。
图3是图1所示的X射线源的X射线产生部的剖面图。
图4是图1所示的X射线源的控制部的剖面图。
图5是表示本发明的X射线源的第2实施方式的主视图。
图6是表示本发明的X射线源的第3实施方式的立体图。
符号说明
1、71、91 X射线源 17 高压电源部3、73 箱体 27 X射线管3c 上壁(第1壁) 29a散热片3b 侧壁(第2壁) 29 金属筒(X射线管包围部)3d 倾斜壁55a、77a 冷却扇3j 开口(照射部) 59 通风口5 X射线产生部 75 分隔壁7 控制部R1 X射线产生部收容空间15 分隔壁R2 控制部收容空间具体实施方式
下面，参照附图对本发明的优选实施方式进行详细说明。为了使说明容易理解，在各附图中对相同构成要素尽可能添加相同的符号，并省略重复说明。
第1实施方式图1是本发明的X射线源的第1实施方式的立体图，图2是其主视图。如图1和图2所示，X射线源1为具有如下X射线管形式的X射线源，即，使来自电子枪的电子撞击靶，并使发生的X射线通过照射窗向外部照射，例如，可以用作X射线非破坏检查装置的X射线源。在该X射线源1的箱体3内部，容纳有产生并照射X射线的X射线产生部5，和对该X射线产生部5进行控制的控制部7。箱体3的内部空间，由收容X射线产生部5的X射线产生部收容空间R1，和容纳控制部7的控制部收容空间R2构成，在X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2之间，设置有从箱体3的上部内壁向下方延伸的分隔壁15。也就是，利用该分隔壁15划分X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2。
X射线产生部5，如它的剖面3所示，具有固定在箱体3的底板3a上的高压电源部17；从该高压电源部17接受电力供给并照射X射线的X射线管27；包围该X射线管27的一部分的金属筒(X射线管包围部)29。该高压电源部17具有发生并得到高电压的高压变压器19；倍增由高压变压器19发生的高电压并供给至X射线管27的高压供给电路23；电连接高压变压器19和高压供给电路23的导线25a；电连接高压供给电路23和X射线管27的导线25b。而且，高压供给电路23和各导线25a、25b成型在由电绝缘材料(例如，环氧树脂)构成的绝缘块21中，高压变压器19在绝缘块21的侧面被设置为向控制部7侧突出。利用如上高压电源部17的结构，防止从施加高电压的高压供给电路23、导线25a、25b向外部放电。
位于该高压电源部17上方的X射线管27是反射型靶类型的X射线管，具有将棒状的阳极27b保持在绝缘状态，并将其收容的真空管部27a；容纳设置在棒状阳极27b的端部的靶27c的靶收容部27d；收容向靶27c的反射面射出电子线的电子枪27k的电子枪部27e。
该真空管部27a和靶收容部27d配置在同轴上，电子枪部27e的轴线相对于该轴线大致垂直。另外，棒状阳极27b的基端部作为高电压施加部27g从真空管部27a的下部向下方突出。
在该高电压施加部27g的下部连接有插座33，插座33通过高压电源部17的导线25b与高压供给电路23电连接。利用如上结构，通过导线25b从高压供给电路23向X射线管27供给高电压。而且，在X射线管27接受高电压供给的状态下，如果电子枪部27e内的电子枪27k向靶27c出射电子，则会从靶27c产生X射线，该X射线从设置在靶收容部27d的开口部上的X射线照射窗27h出射。
而且，X射线管27为密封型，使其内部真空封闭。例如，在X射线管27上设置有未图示的排气管，通过该排气管将真空管部27a、靶收容部27d以及电子枪部27e的内部抽成真空后，将排气管封闭，从而实现密封状态。
金属筒29被设置为从高压电源部17的上面向上方突出，并且被形成为包围X射线管27的圆筒形。为了高效地对从X射线管27发生的热量进行散热，金属筒29由放热性优异的金属(例如，铝)形成，并且在其周围设置有在水平方向上延伸的多个散热片(cooling fin)29a。散热片29a被设置为在金属筒29的表面上向圆周方向延伸的凸条部，是用来使金属筒29的表面积扩大的部分，可以高效地对由X射线管27发生的热量进行散热。
在该金属筒29的前端面上形成有开口29j，从该开口29j插入X射线管27的真空管部27a。在金属筒29的内部空间中注入有液态的电绝缘物质，即绝缘油31。而且，在X射线管27的真空管部27a和靶收容部27d之间形成有联接法兰盘27f；利用该联接法兰盘27f将X射线管27固定在金属筒29的前端面上；真空管部27a浸渍在绝缘油31中。通过利用该绝缘油31，X射线管27的真空管部27a被绝缘油31所包围，从而防止从X射线管27向外部放电。
下面，对控制部7进行说明。图4为该控制部7的剖面图。如图1和图4所示，控制部7设置在控制部收容空间R2内，具有第1电路基板35、第2电路基板37和驱动电源部39。该第1电路基板35对由高压电源部17所产生并得到的电压，从高电压(例如160kV)到低电压(例如0V)进行控制。而且，第1电路基板35还进行对电子枪部27e中的电子放出的时间、管电压、管电流等的控制。第2电路基板37根据来自外部的控制信号对第1电路基板35的动作进行控制。驱动电源39是对从外部供给的电力进行AC/DC变换(或者DC/DC变换)的变换器，向上述第1电路基板35和第2电路基板37供给驱动电力的同时，向X射线产生部5的高压变压器19供给用于发生高电压的电力。而且，上述第1电路基板35、第2电路基板37、驱动电源部39以及X射线产生部5优选由未图示的导线相互电连接。
至于该控制部7而言，优选第1电路基板35、第2电路基板37和驱动电源部39紧凑地收容于控制部收容空间R2内，并且被确实地固定。因此，在控制部7中，在控制部收容空间R2内设置有由热传导性金属(例如，铝)构成的电路基板固定器49，形成为将第1电路基板35、第2电路基板37和驱动电源部39支撑在该电路基板固定器49上的结构。
电路基板固定器49由如下部件构成，即，由热传导性金属构成的第1平板(第1部件)45和第2平板(第2部件)47构成。第1平板45具有相对于底板3a倾斜地设置的第1平板部46，第2平板47具有相对于底板3a大致垂直地设置的第2平板部48。该第1平板45和第2平板47，其下端利用螺栓49a分别固定在底板3a上，平板45、47的上端在重叠的状态下利用螺栓49b(结合方法的一例)连结。
而且，第1平板部46具有用于安装第1电路基板35的第1安装面45a，第2平板部48具有用于安装第2电路基板37的第2安装面47b和作为第2安装面47b的背面的第3安装面47c。如上，电路基板固定器49通过形成为山形结构，可维持电路基板固定器49本身的机械强度，并且可使安装在电路基板固定器49上的电路基板35、37相对于底板3a确实地固定。
另外，第2平板47的下部弯曲成L字型，以接近箱体3的侧壁3f，高压电源部17的高压变压器19位于第2平板47和第1平板45之间。
第1电路基板35是通过垫片51沿着第1平板45的第1安装面45a安装的。同样，第2电路基板37是通过垫片51沿着第2平板47的第2安装面47b安装的；驱动电源部39是通过垫片51沿着第2平板47的第3安装面47c安装的。
由于该电路基板固定器49的第1安装面45a相对于底板3a倾斜地设置，因此，可以将第1电路基板35以保持其倾斜的状态下容纳到控制部收容空间R2中，有助于减小X射线源1的高度。另外，电路基板固定器49由第1平板45和第2平板47两个部件构成，因此，在第1～第3安装面45a、47b、47c上安装电路基板35、37和驱动电源部39以后，将第1平板45和第2平板47利用螺合连结，由此，将驱动电源部39配置在第1平板45和第2平板47之间，从而完成电路基板固定器49，因此，提高了控制部7的组装操作性。
如上的X射线源1在运转中由于X射线管27发热，X射线管27和金属筒29容易成为高温。在X射线照射的输出越高X射线管27越成为高温，该X射线管27成为高温的话会对其他部件带来不良影响，同时导致X射线管27的输出降低，因而，为了高效地对X射线管27进行冷却，必须高效地对金属筒29进行冷却。
因此，在X射线源1中，如图1所示，将包括金属筒29的X射线产生部5容纳到箱体3的内部，在相对于箱体3的底板3a垂直的方向上竖起的侧壁(第2壁)3b上设置冷却扇单元55，并通过使冷却风在箱体3内流动，而对金属筒29进行冷却。
如图1和图4所示，该箱体3具有上壁(第1壁)3c，该上壁3c与底板3a平行地延伸，并且，设置有用于向外部照射来自X射线管27的X射线的开口(照射部)3j。该开口3j设置在与X射线管27的照射窗27h相对应的位置上，并将照射窗27h向外部露出。另外，在箱体3中，将连结上壁3c和侧壁3b的壁形成为倾斜壁3d。而且，同样地，将连结与侧壁3b相向的侧壁3f和上壁3c的壁形成为倾斜壁3e。与上壁3c相对的倾斜壁3d和倾斜壁3e的倾斜程度可以相互不同，也可以相同。
冷却扇单元55如上所述设置在箱体3的侧壁3b上，具有以垂直于侧壁3b的轴线为中心进行旋转的冷却扇55a。通过使冷却扇55a旋转，使空气从箱体3外部向内部流动。冷却扇55a位于X射线产生部5的附近，并使冷却风直接接触于X射线产生部5。
利用该冷却扇55a向箱体3内部吸入的空气，作为冷却风在X射线产生部收容空间R1中流动，与金属筒29均匀地接触，且在金属筒29的周围通过，并向侧壁3f的方向流动。而且，在金属筒29的周围通过的冷却风，被冷却扇29所引导平滑地在水平方向上流动，并以充分的导热面积与金属筒29接触，高效地从金属筒29除去热量。其结果是，可以高效地对金属筒29进行冷却，并可以高效地对被金属筒29所包围的X射线管27进行冷却。而且，由于金属筒29均匀地与冷却风相接触并被冷却，因此，可以抑制X射线管27由于温度不均所产生的输出变动和输出降低。其后，从金属筒29接受热量并且温度得到上升的冷却风通过设置在倾斜壁3e上的排气口3k被排出到外部。
此时，由于连结上壁3c和侧壁3b的壁形成倾斜壁3d，因此，可以抑制冷却风的停滞，并且可以在箱体3内实现平稳的冷却风的流动。其结果是，冷却风在金属筒29的周围均匀地流动，可以高效地对金属筒29进行冷却。而且，连结箱体3的上壁3c和侧壁3f的壁也同样形成为倾斜壁3e，因此，也有助于冷却风的平稳流动。如上所述，在X射线源1中，通过高效地对金属筒29进行冷却，可以高效地对X射线管27进行冷却，因此可以实现X射线源的高输出。
而且，X射线源1，在控制部收容空间R2侧的侧壁3b的一部分上，具有与个人计算机等相连接的连接部(未图示)，X射线源1通过该连接部进行与来自个人计算机等的有关控制信息等的信号的输入输出。在除去底板3a的箱体3中，冷却扇单元55和连接部(未图示)具有与控制部7等的配线连接，因此，如果与箱体3的其他部位为另外的部件，则在X射线源1的保养等方面上为优选。在本实施方式中，冷却扇单元55和连接部(未图示)被固定在底板3a上，并与控制部7配线连接。
而且，在X射线源1的箱体3中形成有倾斜壁3d和倾斜壁3e，由此可以得到以下的效果。在不形成该倾斜壁3d、3e的情况下，在上壁3c和侧壁3b、3f之间形成角部。在此，利用上述X射线源取得在使检查对象物倾斜状态下的透视图像的情况下，由于倾斜的检查对象物接触角部，使照射窗27h和检查对象物不能充分接近。相比之下，如果利用X射线源1，由于不存在角部，可以使检查对象物进一步接近照射窗27h。因此，可以得到放大率更大的检查对象物的透视图像。
另外，作为如上的X射线源1，在控制部7的第1、第2电路基板35、37以及驱动电源部39上安装有各种电子部件。为了使各部件的动作特性稳定，必须对这些部件进行冷却。尤其是驱动电源部39，由于在进行AC/DC变换(或者DC/DC变换)时发生大量的热，因此必须高效地进行冷却。
因而，箱体3中的分隔壁15，并不全完隔绝X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2，对金属筒29和控制部7之间进行分隔，并在分隔壁15的下方，设置有连通X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2的通风口59。如此，利用分隔壁15将金属筒29和控制部7之间分隔，因此，可以抑制在冷却金属筒29后成为高温的冷却风直接流入控制部收容空间R2。另外，由金属筒29产生的辐射热也被分隔壁15遮挡，可以抑制其直接传播到控制部7。其结果是，可以抑制控制部7的温度上升，并可以使控制部7的各电路基板35、37的动作稳定。与此同时，由于利用通风口59将X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2连通，因此，使由冷却扇55a导入的冷却风的一部分通过通风口59流入到控制部收容空间R2，从而可以利用该冷却风对控制部7进行冷却。
此时，由于电路基板固定器49为如上结构，如图4所示，在控制部收容空间R2中，形成由第1平板45、第2平板47和底板3a所包围的通道部R2a。该通道部R2a在冷却风通过通风口59而流入进来的方向(垂直于图4的纸面方向)上延伸，因此，发挥作为冷却风的通风路的功能。所以，发生向通道部R2a集中的平稳的冷却风的流动。而且，由于在通道部R2a内存在驱动电源部39，因此，可以利用冷却风高效地除去由驱动电源部39发生的热量，可以集中且高效地对驱动电源部39进行冷却。其结果是，可以使驱动电源部39的动作特性稳定。
另外，高压变压器19被设置为朝向控制部17的方向从绝缘块21突出，其位于通道部R2a内，因此，高压变压器19也与在该通道部R2a中流动的冷却风相接触(参照图2)。因此，利用该冷却风也对成为高温的高压变压器19进行冷却。而且，从驱动电源部39和高压变压器19接受热量从而其温度得到上升的冷却风，通过设置在箱体3的侧壁3g上的排气口3h(参照图1和图2)被排出到外部。
另外，此时，通过通风口59流入到控制部收容空间R2的冷却风，其中一部分流入电路基板固定器49的外侧的空间R2b，由于在由该外侧空间R2b构成的通风路内，存在第1电路基板35和第2电路基板37，因此，利用在空间R2b中流动的冷却风对电路基板35、37进行冷却。
如上，对第1电路基板35和第2电路基板37进行冷却的冷却风，和对驱动电源部39和高压变压器19进行冷却的冷却风，分别在不同的通风路中流动，由此，利用电路基板固定器49抑制上述冷却风的混合。从而，不但可以高效地对产生大量热量的驱动电源部39和高压变压器19进行冷却，而且，可以抑制因驱动电源部39和高压变压器19的冷却而温度得到上升的冷却风流入通道部R2a，反而使第1电路基板35和第2电路基板37的温度上升的情况的发生。其结果是，可以使第1电路基板35和第2电路基板37的各部件的动作特性稳定。
而且，上述第1电路基板35、第2电路基板37和驱动电源部39，是通过垫片51以从各安装面45a、47b、47c浮起的状态被安装的，由此，冷却风与第1电路基板35、第2电路基板37和驱动电源部39的正反两面相接触。因此，上述安装方法也有助于第1电路基板35、第2电路基板37和驱动电源部39的高效冷却。
另外，在第1电路基板35的部件中，由于功率晶体管61(参照图2)发生相对较大的热量，因此，与第1电路基板35分离，密闭设置在设置于高压电源部17和冷却扇单元55之间的金属制散热器(heatsink)63中。此时，功率晶体管61以未图示的导线与第1电路基板35电连接，从而发挥作为第1电路基板35的一个部件的功能。根据如上配置，散热器63接受来自冷却扇55a的冷却风从而被冷却，并间接地冷却密闭在散热器63中的功率晶体管61。如此，通过将产生特别大热量的部件远离电路基板本体侧单独地进行冷却，从而可以有效抑制控制部7的温度上升。
第2实施方式如图5所示其主视图，本发明的第2实施方式的X射线源71具有箱体73。在该箱体73中，分隔X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2的分隔壁75，是从箱体73的内壁延伸地形成的。即，箱体73的内部空间被分隔壁75分割为X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2，两空间之间被隔绝为使冷却风互相不流入或流出。根据如上所述X射线源71的结构，利用冷却扇55a使冷却风在X射线产生部收容空间R1内流动，可以集中地对包含金属筒29的X射线产生部5进行冷却，同时，可以确实地抑制成为高温的冷却风流入控制部收容空间R2。
另外，X射线源71，在箱体73的控制部收容空间R2侧，具有不同于冷却扇单元55的第2冷却扇单元77。该冷却扇单元77和另一冷却扇单元55并列设置，在第1电路基板35的附近配置冷却扇77a，以使由冷却扇77a发生的冷却风直接与第1电路基板35接触。根据如上结构，可以利用冷却扇55a使冷却风在X射线产生部收容空间R1内流动，在集中地对X射线产生部5进行冷却的同时，利用冷却扇77a使冷却风在控制部收容空间R2内流动，集中地对控制部7进行冷却。如此，通过分别对X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2单独地进行冷却，可以高效地对包含金属筒29的X射线产生部5和包含驱动电源部39的控制部7进行冷却。而且，在此情况下，如果功率晶体管61和用于对功率晶体管61进行冷却的金属制散热器63配置在控制部收容空间R2的冷却扇77a的附近，则会提高冷却效率，因此优选。
如上所述，根据X射线源71，通过高效地对金属筒29进行冷却，可以高效地对X射线管27进行冷却，使X射线源的高输出成为可能，并通过高效地对控制部7的驱动电源部39进行冷却，可以使驱动电源部39的各部件的动作特性稳定。
第3实施方式在图6中，如所示立体图，本发明的第3实施方式的X射线源91中的控制部7形成如下结构，即，通过由相互独立的平板81、83构成的电路基板固定器85将电路基板35、37固定在底板3a上。根据如上X射线源91，也是利用在平板81和平板83之间的空间流动的冷却风，高效地对驱动电源部39进行冷却。而且，该平板81、83延伸到上壁3c，并也可以与上壁3c相接触。
而且，本发明不限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，作为冷却扇55a、77a，使用从箱体外部向内部送入空气的吸气式冷却扇，但是，冷却扇55a、77a也可以是从箱体的内部向外部送出空气的排气式的。在此情况下，冷却扇55a、77a优选配置在热源附近。
另外，冷却扇55a的配置并不限定于侧壁3b上，只要是在箱体3的内部使冷却风在金属筒29的周围流动的位置，也可以设置在其他部位。例如也可以是，在箱体3上设置通风口，并在其通风口的附近且在箱体3的内部设置冷却扇，从而使冷却风在金属筒29的周围流动。
另外，也可以在X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2中分别设置多个冷却扇。在此情况下，可以将吸气式冷却扇和排气式冷却扇组合设置。例如，除X射线产生部收容空间R1的、侧壁3b上的冷却扇55a以外，还可以在与其大致相对侧的壁(尤其是倾斜壁3e)上设置排气式冷却扇。另外，例如，除控制部收容空间R2的、侧壁3b上的冷却扇77a以外，也可以在与其大致相对侧的壁(尤其是侧壁3f)或侧壁3g上设置排气式冷却扇。
另外，在不划分X射线产生部收容空间R1和控制部收容空间R2的情况下，也可以在X射线产生部收容空间R1侧设置吸气式冷却扇，在控制部收容空间R2侧设置排气式冷却扇；还可以在X射线产生部收容空间R1侧设置排气式冷却扇，在控制部收容空间R2侧设置吸气式冷却扇。例如，当除X射线产生部收容空间R1侧的吸气式冷却扇55a以外，还在控制部收容空间R2中设置冷却扇的情况下，还可以在侧壁3g上配置排气式冷却扇，以使具有驱动电源部39的通道部R2a的空气平稳地向箱体外送出。
另外，X射线管27可以不是反射型靶形式的而是透射型靶形式的。而且，X射线管27可以是全体被收容在金属筒29中，在此情况下，为了使来自X射线管的X射线向外部照射，可以在金属筒29上设置X射线透射率高的部位。另外，X射线管27的一部分可以从金属筒29突出，且也可以进一步从筐体3突出。在包围X射线管27的金属筒29上可以不设置散热片29a。
另外，电路基板固定器49并不限定为螺合，也可以利用焊接或粘合而固定在底板3a上。另外，电路基板固定器49也可以固定在箱体3的底板3a以外的部分上，也可以固定在已固定于箱体3的部件上。另外，第1平板45和第2平板47也不限定为螺合，也可以利用焊接或粘合而连结。电路基板固定器49，并不限定为是由1个部件构成的、或由第1平板45和第2平板47的2个部件构成的固定器，也可以是由多个部件组合而形成的。在此情况下，对由平板构成的多个部件进行组合而形成电路基板固定器，从而可以省略弯曲加工。另外，电路基板固定器49不限定为导热性的金属，也可以是树脂制的。
另外，以上所述的各结构可以在不偏离本发明要旨的范围内相互组合。
产业上利用的可能性本发明的X射线源适于用作，例如，在X射线非破坏检查装置中所使用的微焦型X射线源。
权利要求
1.一种X射线源，其特征在于，包括由绝缘材料模制的高压电源部；利用来自所述高压电源部的电力发生X射线并向外部照射的X射线管；从所述高压电源部突出地设置，并包围所述X射线管的至少一部分的X射线管包围部；容纳所述高压电源部和所述X射线管包围部的箱体；和使冷却风在所述箱体内部的所述X射线管包围部的周围流动的冷却扇。
2.如权利要求1所述的X射线源，其特征在于，所述箱体具有具有使由所述X射线管发生的X射线向外部照射的照射窗的第1壁；相对于所述第1壁大致垂直的方向上延伸，并且配置有所述冷却扇的第2壁；和与所述第1壁和所述第2壁相交并连结两者的倾斜壁。
3.如权利要求1或2所述的X射线源，其特征在于还具有设置在所述X射线管包围部的外周上的散热片。
4.如权利要求1～3中任何一项所述的X射线源，其特征在于在所述箱体内还具有分隔壁，分隔收容对所述X射线发生部进行控制的控制部的控制部所处空间，与至少具有所述高压电源部、所述X射线管和所述X射线管包围部的X射线发生部以及所述冷却扇所处空间。
5.如权利要求4所述的X射线源，其特征在于，所述分隔壁配置在所述X射线管包围部和所述控制部之间，具有连通所划分的空间的通风口。
6.如权利要求4所述的X射线源，其特征在于所述分隔壁隔断所划分的空间之间的连通。
7.如权利要求4～6中任何一项所述的X射线源，其特征在于，还具有，配置在所述箱体的配置有所述控制部的空间侧的第2冷却扇。
全文摘要
X射线源(1)具有高压电源部(17)；X射线管(27)；从高压电源部(17)突出地设置并包围X射线管(27)的金属筒(29)；和容纳该高压电源部(17)和金属筒(29)的箱体(3)。在箱体(3)中设置有冷却扇(55a)，通过在箱体(3)的内部使冷却风在金属筒(29)的周围流动，可以高效地对收容成为高温的X射线管(27)的金属筒(29)进行冷却。
文档编号H05G1/02GK1994027SQ200580025968
公开日2007年7月4日 申请日期2005年8月29日 优先权日2004年9月2日
发明者伊藤通浩, 铃木一隆 申请人:浜松光子学株式会社