专利名称：一种等离子淋浴器的灯丝引线机构的制作方法
技术领域：
本发明是一种等离子淋浴器的灯丝引线结构，用于等离子淋浴器的灯丝引线。属于半导体设备领域。
背景技术：
在100nm或更高水平的离子注入工艺中，通常都应用等离子淋浴技术，消除晶片表面的静电积累，提高注入工艺性能。等离子淋浴用的等离子淋浴灯丝通过的电流大，需定期更换灯丝，因此灯丝引线结构应具有电流流通能力强，拆装方便的特点。本发明具有了以上特点，完全适应等离子淋浴灯丝的使用要求。
发明内容
本发明等离子淋浴器引线机构采用一公一母的快插式连接结构，装拆便捷，且能导通大电流。灯丝连接端设计柔性连接件，适应能力强。
该机构由以下部件构成灯丝装夹机构1，两个铜连接条2，两导线条3，两螺母4，两绝缘套5，公水冷引线端子6，母引线头7，公引线头8，母水冷引线端子9，四个压片10。如图1所示。
所述的灯丝装夹机构1上装夹灯丝。
所述的铜连接条2分别用螺钉连接在导线条3上，其中一节弯成圆弧状，能增大连接弹性，使连接更可靠。
所述的导线条3一端与铜连接条2相连，另一端卡在公水冷引线端子6和母水冷引线端子9的槽内，起中间导电作用。
所述的螺母4与公水冷引线端子6和母水冷引线端子9螺纹端连接，和两压片10一块把导线条3锁紧在公水冷引线端子6和母水冷引线端子9的槽内。
所述的绝缘套5套在公水冷引线端子6和母水冷引线端子9外，起绝缘作用。
所述的公水冷引线端子6与母引线头7对接配合，所述的母引线头7内孔卡装公水冷引线端子6；所述的公引线头8与母水冷引线端子9配装。
所述的压片10分别压在导线条3上下，与螺母接触，防止拧螺母时带动导线条3转动而使其方向错位，压紧导线条3。
图1为等离子淋浴器灯丝引线机构的结构示意图。
图2为等离子淋浴器灯丝引线机构的三维造型图。
图1中，灯丝装夹机构1，两个铜连接条2，两导线条3，两螺母4，两绝缘套5，公水冷引线端子6，母引线头7，公引线头8，母水冷引线端子9，四个压片10。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明作进一步介绍，但不作为对发明的限定。
如图1和图2，一种新型的等离子淋浴器的灯丝引线机构，由灯丝装夹机构1，两个铜连接条2，两导线条3，两螺母4，两绝缘套5，公水冷引线端子6，母引线头7，公引线头8，母水冷引线端子9，四个压片10组成。
灯丝装夹机构1上装灯丝，两个铜连接条2一段做成圆弧型，增大连接柔性，导线条3采用卡入式螺母锁紧连接，使连接更可靠，绝缘套5用有机玻璃材质，既有好的绝缘性，又能观察调节位置。母引线头7和公水冷引线端子6以及公引线头8和母水冷引线端子9都设计成一公一母快插入式，使装拆方便，所用材料为锡青铜，既耐磨导电能力又强。
权利要求
1.一种等离子淋浴器的灯丝引线机构，其特征在于，该机构由下列部件构成灯丝装夹机构(1)，两个铜连接条(2)，两导线条(3)，两螺母(4)，两绝缘套(5)，公水冷引线端子(6)，母引线头(7)，公引线头(8)，母水冷引线端子(9)，四个压片(10)；所述的灯丝装夹机构(1)上装夹灯丝；所述的铜连接条(2)分别用螺钉连接在导线条(3)上，其中一节弯成圆弧状；所述的导线条(3)一端与铜连接条(2)相连，另一端卡在公水冷引线端子(6)和母水冷引线端子(9)的槽内，起中间导电作用；所述的螺母(4)与公水冷引线端子(6)和母水冷引线端子(9)螺纹端连接，和压片(10)一块把导线条(3)锁紧在公水冷引线端子(6)和母水冷引线端子(9)的槽内；所述的绝缘套(5)套在公水冷引线端子(6)和母水冷引线端子(9)外，起绝缘作用；所述的公水冷引线端子(6)与母引线头(7)对接配合，所述的公引线头(8)与母水冷引线端子(9)配装；所述的压片(10)分别压在导线条(3)上下。
全文摘要
本发明等离子淋浴器灯丝引线机构，采用一公一母的快插式连接结构，装拆便捷，并且导通电流大，灯丝连接端设计柔性连接件，适应能力强。
文档编号H05F3/04GK101043785SQ20061006558
公开日2007年9月26日 申请日期2006年3月22日 优先权日2006年3月22日
发明者唐景庭, 彭立波, 王迪平 申请人:北京中科信电子装备有限公司