专利名称：水冷等离子淋浴器的送气系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种送气系统，尤其涉及一种水冷等离子淋浴器的送气系统。
背景技术：
在现代先进的半导体加工工艺的离子注入工艺中，等离子淋浴技术得到应用，改善了离子注入工艺的性能，提高了产品的成品率。当等离子淋浴器工作时，需要有稳定的工作气流供给，维持工作弧流，保持充足的等离子体产生。
发明内容
针对上述情况，本发明提供一种水冷等离子淋浴器的送气系统，能够向等离子淋浴气提供高精密可控的氩(Ar)或氙(Xe)气流，且无污染，很好地满足了等离子淋浴器工作的要求。
本发明通过以下技术方案实现一种水冷等离子淋浴器的送气系统，包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计。其中所述的气瓶是气体容器，装有供等离子淋浴器工作的高压气体；该气瓶连接一个气动阀，该气动阀控制气瓶气体的通断；所述气动阀连接一个压力表，该压力表显示气瓶的气体压力；所述压力表后面连接一个调压阀，该调压阀起调节主气路中的气体压力作用，保证送气量和系统安全；所述压力表和调压阀之间连接一个气动阀，该气动阀装在氮气旁路上，控制旁路上用于清洗管路的氮气开关；所述调压阀后连接一个压力表，该压力表显示经过调压阀后管路中气体的压力；所述压力表后连接一个过滤器，该过滤器对通过的气体过滤，主要滤除气体的杂质颗粒；所述压力表和过滤器之间连接一个气动阀，该气动阀是在主气路与抽真空设备间的阀门，抽真空时，气动阀开；所述过滤器后面连接一个气动阀，该气动阀控制送气气路与离子淋浴枪的通断；所述气动阀后面连接质量流量计，该质量流量计用于精确控制流入离子淋浴器的气流大小。
本发明结构简单，能保证送气气体的气压恒定，采用气动阀控制气路通断，精密质量流量计控制气流，且设置有氮气口和真空接口，可实现对送气管路的净化清洗。各接口采用高洁净的不锈钢金属密封接头，确保所送气体的高纯度，安全可靠性高，安装调试简单。
图1是本发明的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明的限定。
如图1所示，送入等离子淋浴器的气体储存在高压压瓶1中，气体一般采用高纯气体，气体通过气动阀2控制后送入主管路，压力表3显示主管路气体压力，也就是气瓶中剩余气体的压力，间接的反映剩余气体的量，从气瓶1来的气体通过调压阀5后，压力降低至合适压力，压力值通过调压阀5现场设定，并通过压力表6显示，然后经过过滤器8过滤去除杂质颗粒后通过最终控制阀门9，进入质量流量计10，接受流量控制，最后有按控制所需要的气体流量进入离子淋浴枪。气动阀4控制氮气气路与主气路的通断，当需要对管路进行清洗时，配合受气动阀7控制的真空管路工作。整个系统的连接密封均采用不锈钢管16和密封圈11密封，这样确保送入气流的高纯度。
本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.一种水冷等离子淋浴器的送气系统，其特征在于包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计；其中所述的气瓶是气体容器，装有供等离子淋浴器工作的高压气体；该气瓶连接一个气动阀，该气动阀控制气瓶气体的通断；所述气动阀连接一个压力表，该压力表显示气瓶的气体压力；所述压力表后面连接一个调压阀，该调压阀调节主气路中的气体压力；所述压力表和调压阀之间连接一个气动阀，该气动阀装在氮气旁路上，控制旁路上用于清洗管路的氮气开关；所述调压阀后连接一个压力表，该压力表显示经过调压阀后管路中气体的压力；所述压力表后连接一个过滤器，该过滤器对通过的气体过滤；所述压力表和过滤器之间连接一个气动阀，该气动阀是在主气路与抽真空设备间的阀门，抽真空时，气动阀开；所述过滤器后面连接一个气动阀，该气动阀控制送气气路与离子淋浴枪的通断；所述气动阀后面连接质量流量计，该质量流量计控制流入离子淋浴器的气流大小。
全文摘要
本发明公开了一种水冷等离子淋浴器的送气系统，该系统包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计。本发明结构简单，能保证送气气体的气压恒定，采用气动阀控制气路通断，精密质量流量计控制气流，且设置有氮气口和真空接口，可实现对送气管路的净化清洗。各接口采用高洁净的不锈钢金属密封接头，确保所送气体的高纯度，安全可靠性高，安装调试简单。
文档编号H05F3/04GK1873919SQ20061007603
公开日2006年12月6日 申请日期2006年4月24日 优先权日2006年4月24日
发明者彭立波, 文超, 何科峰, 邱小莎 申请人:北京中科信电子装备有限公司