专利名称：照明装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种使用介质阻挡放电灯的照明装置。
背景技术：
在对液晶基板等进行干法清洗的光清洗装置中使用介质阻挡放电灯。这样 的光清洗装置是对在石英玻璃管中封入准分子生成气体的准分子灯外加高频 电压，使玻璃管内放电，使准分子生成气体处于准分子状态，并照射波长为 172nm的单一波长的光。通过对大气中照射波长为172nm的紫外线，使大气 中的氧分解，生成活性氧。被切断键的有机化合物与活性氧反应，生成二氧化 碳(C02)和水(H20)等，以此来去除有机化合物。
在以往的光清洗装置中使用管径较大的介质阻挡放电灯，但是为了装置的 小型化，还开发出了使用多个管径较小的介质阻挡放电灯、并通过公共的亮灯 电路对这些放电灯进行亮灯的装置(参照专利文献l)。
专利文献1:日本专利特开2006-134705号公报
在光清洗装置中， 一般来讲通过累计光通量对照射进行管理。在具有多个 灯的结构的光清洗装置中，如果多个灯中的一部分灯由于各种各样的原因不亮 灯(以下称为不亮)，就无法得到需要的累计光通量，所以需要有能检测出灯 不亮的功能。
作为不亮检测功能， 一般来讲有例如使用照度计的方法。但是，考虑到准 分子灯拥有光清洗作用的性质，在灯的附近配置照度计时，会产生照度计老化 的问题。为了减少老化，远离准分子灯配置照度计时，由于准分子光在空气中 容易衰减，故无法正确检测出照度。
作为其他的不亮检测功能，有一种方法是，检测出灯的电流变化，当电流 值在事先设定的基准值以下时判断为错误(不亮)。通常，光清洗装置的灯的 寿命多规定为照度维持率的70%。因为照度和灯电流间存在大致的相关关系，所以一种方法是，将灯电流的基准值设定为初始灯电流70%来检测寿命。
但是，在使用多个灯的光清洗装置中，会发生无法明确判断是由于寿命 的原因使灯电流值位于基准以下、还是由于电灯不亮的原因使灯电流位于基准 值以下的情况。
本发明鉴于上述内容而成，其课题是提供一种使多个灯通过一个亮灯装置 使其亮灯而小型化的同时、更加准确地检测出灯不亮的照明装置。
发明内容
本发明相关的照明装置的特征是，包括外加高频电压的亮灯电路；与此 亮灯电路并联连接的多个介质阻挡放电灯；检测出这些介质阻挡放电灯中流过 的灯电流值的电流检测电路；以及当此电流检测电路检测的灯电流值小于基准 值le时、判断出所述多个介质阻挡放电灯中存在不亮的不亮检测电路，设与所 述亮灯电路并联连接的介质阻挡放电灯的个数为N，当这些N个所有的介质阻 挡放电灯亮灯时的初始灯电流值为ls，这时，所述基准值le被设定为满足下式 条件
(N-l)/N^le/ls
另外，本发明相关的照明装置的特征是，包括外加高频电压的多个亮灯 电路；与这些亮灯电路分别并联连接的N个(N为2以上的整数)介质阻挡放 电灯；为了检测出这些N个介质阻挡放电灯中流过的灯电流值、而对所述多个 亮灯电路分别设置的电流检测电路；以及当这些电流检测电路检测的灯电流值 小于基准值le时、判断出所述多个介质阻挡放电灯中存在不亮的不亮检测电 路，设与所述亮灯电路并联连接的N个介质阻挡放电灯全部都亮灯时的初始灯 电流值为ls，这时，所述基准值le被设定为满足下式条件
(N-l)/N^le/ls
另外，本发明相关的照明装置中的特征是，所述基准值le被设定为对于 所述初始灯电流值ls的与寿命维持率对应的规定比例。
更进一步地，本发明相关的照明装置中的特征是，所述基准值le被设定 为对于所述初始灯电流值ls的70%。
更进一步地，本发明相关的照明装置中的特征是，所述多个介质阻挡放电灯是准分子灯。
在这样的发明中，设备有N个介质阻挡放电灯的所有介质阻挡放电灯亮
灯时的初始灯电流值为ls的时候，设定基准值le满足条件(N-l)/N^le/ls，通过
检测出的灯电流值与基准值le比较，可以更准确地检测出介质阻挡放电灯的不冗。
通过本发明，可以提供一种使多个灯通过i个亮灯装置亮灯而小型化、同 时更加准确地检测出灯不亮的照明装置。
图i是表示一个实施方式下的照明装置结构的概略图。
图2是表示图1的照明装置中设定的错误基准值的说明图。
图3是表示搭载多个图1的照明装置的光清洗装置结构的模式图。
标号说明
1照明装置
2介质阻挡放电灯
3亮灯电路
4灯电流检测部
IO光清洗装置
具体实施例方式
下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
图1是表示本实施方式下的照明装置结构的概略图。图中表示的照明装置 l包括长度大致相等的多个介质阻挡放电灯2、亮灯电路3以及灯电流检测部4。
介质阻挡放电灯2是由两端封闭的石英玻璃管形成的，玻璃管内封入作为 放电媒体的准分子生成气体。玻璃管内沿着中心轴配置了内部电极，内部电极 的两端通过封接部固定。介质阻挡放电灯2的玻璃管的外面形成有外面电极。 通过对内部电极和外面电极外加高频电压，封入的准分子生成气体被激励，产 生紫外线。
亮灯电路3与3个介质阻挡放电灯2并联连接。亮灯电路3备有灯电流检测部4，用于检测连接的3个介质阻挡放电灯2中流过的灯电流值。通过灯电 流检测部4，将3个介质阻挡放电灯2中流过的灯电流值统一检测，从而与分 别检测介质阻挡放电灯的个别灯电流值时相比，可以使装置小型化。
灯电流检测部4中设定了检测介质阻挡放电灯2不亮用的错误基准值le。 当检测出的灯电流值小于错误基准值le时，至少有1个介质阻挡放电灯2不亮， 即可以将其作为错误检测出。
图2是表示错误基准值le和介质阻挡放电灯2的亮灯数的关系图。图中 纵轴表示灯电流值，纵轴上的数字表示灯的个数。另外，图中横轴表示亮灯时 间。标号22表示的错误基准值k是这样设定，即，设介质阻挡放电灯2的全 体数量为N，介质阻挡放电灯2全部亮灯时的初始的电流值为ls，这时，使得 满足(N-l)/N^le/ls的条件，为维持规定寿命的照度维持率的灯电流值。
本实施方式中，由于连接的介质阻挡放电灯2的全体数量N=3，所以 (N-1)/N=2/3H0.67。为了满足上述条件式，规定照度维持率的70%为寿命，设 定错误基准值le=0.7Xls。通过这样规定灯寿命来设定错误基准值le，在灯的 寿命中即使因时效变化而介质阻挡放电灯2的灯电流值下降，也不会发生将其 作为不亮错误进行输出的错误动作。
图2的标号21表示将3个介质阻挡放电灯2亮灯时的初始灯电流值。在 1个介质阻挡放电灯2变成不亮时，由于检测出的灯电流值小于标号22所示的 错误基准值le，所以可以检测出介质阻挡放电灯2变成不亮。另外，即使在介 质阻挡放电灯2全部亮灯的时候，虽然因时效变化而灯电流值会下降，但是在 寿命中不会低于错误基准值le。
这样，通过将基准值le设定为规定寿命的基准值以下，可以明确判断是 由于寿命的原因而使灯电流值小于基准值le，还是由于灯不亮的原因而使灯电 流小于基准值le。
图3是表示光清洗装置结构的模式图。图中表示的光清洗装置10搭载了 多个图1表示的照明装置1，照射区域扩大了。由于为了更正确检测出介质阻 挡放电灯2的不亮，需要设定错误基准值le满足(N-l)/N芸le/ls，因此在亮灯电 路3与多个介质阻挡放电灯2连接的时候，(N-l)/N的值会变大。所以，必须 规定作为寿命的照度维持率(错误基准值le)高于70%。因此，由于搭载了多个照明装置l，而照度维持率不会更变大，可以构成能检测区别出灯不亮与寿 命的光清洗装置10。
所以，本实施方式可以提供一种照明装置1，该照明装置l包括并联连接
的多个(N个)介质阻挡放电灯2，在检测出对于初始的灯电流值ls、小于满 足(N-l)/N^le/ls条件式的错误基准值le的灯电流时，检测出存在不亮的介质 阻挡放电灯2。
另外，随着时效变化而灯电流值降低时，由于变化缓慢，所以灯电流值与 错误基准值le大致相等的时候，也可以判断此时为介质阻挡放电灯2的寿命。
另外，本发明不仅限定于所述实施方式，可以有各种变形。比如，与1 个亮灯电路并联连接的介质阻挡放电灯不仅限于3个，通过调整与照度维持率 的关系，可以由2个以上的任意个数构成。
权利要求
1. 一种照明装置，其特征在于，包括 外加高频电压的亮灯电路；与此亮灯电路并联连接的多个介质阻挡放电灯； 检测出这些介质阻挡放电灯中流过的灯电流值的电流检测电路； 以及当此电流检测电路检测的灯电流值小于基准值le时、判断出所述多个介质阻挡放电灯中存在不亮的不亮检测电路，设与所述亮灯电路并联连接的介质阻挡放电灯的数量为N(N为2以上的整数)，当这些N个所有的介质阻挡放电灯亮灯时的初始灯电流值为ls，这时，所述基准值le被设定为满足下式条件 (N-l)/N芸le/ls。
2. 如权利要求l所述的照明装置，其特征在于，所述基准值le被设定为对于所述初始灯电流值ls的与寿命维持率对应的 规定比例。
3. 如权利要求2所述的照明装置，其特征在于， 所述基准值le被设定为对于所述初始灯电流值ls的70%。
4. 如权利要求2或者3所述的照明装置，其特征在于， 所述多个介质阻挡放电灯是准分子灯。
5. —种照明装置，其特征在于，包括 外加高频电压的多个亮灯电路；与这些亮灯电路分别并联连接的N个(N为2以上的整数)介质阻挡放电灯；为了检测出这些N个介质阻挡放电灯中流过的灯电流值、而对所述多个亮 灯电路分别设置的电流检测电路；以及当这些电流检测电路检测的灯电流值小于基准值le时、判断在所述多 个介质阻挡放电灯中存在不亮的不亮检测电路，设与所述亮灯电路并联连接的N个介质阻挡放电灯全部亮灯时的初始灯 电流值为ls,这时，所述基准值le被设定为满足下式条件(N-l)/N^le/ls。
6. 如权利要求5所述的照明装置，其特征在于，所述基准值le被设定为对于所述初始灯电流值ls的与寿命维持率对应的 规定比例。
7. 如权利要求6所述的照明装置，其特征在于， 所述基准值le被设定为对于所述初始灯电流值ls的70%。
8. 如权利要求6或者7所述的照明装置，其特征在于， 所述多个介质阻挡放电灯是准分子灯。
全文摘要
本发明揭示一种使多个灯通过一个亮灯装置亮灯而小型化、同时更加准确地检测出灯不亮的照明装置。可以提供一种照明装置1，备有并联连接的多个(N个)介质阻挡放电灯2，对于初始的灯电流值ls，设定满足条件式(N-1)/N≤le/ls的错误基准值le，在检测的灯电流小于错误基准值le时，检测出存在不亮的介质阻挡放电灯2。
文档编号H05B41/24GK101312608SQ20081010066
公开日2008年11月26日 申请日期2008年5月20日 优先权日2007年5月21日
发明者八岛诚, 前田祥平 申请人:哈利盛东芝照明株式会社